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[摘要]基于严格耦合波理论设计了一种以液晶为低折射率材料的Si-SiO2复合高对比光栅,该光栅适合用于实现液晶可调谐功能的垂直腔面发射半导体激光器件。当940 nm 的TM偏振光入射时,通过优化参数可得到宽带(Δλ=256 nm)高反射...
PDF全文激光与光电子学进展 | 2020, 57(01):011402
[摘要]针对GaAs基和InP基材料的波长可调谐垂直腔面发射激光器(VCSEL)中微机电系统(MEMS)应力集中引起结构损坏的问题开展研究。设计了蝴蝶结状MEMS悬臂结构, 在保证最大位移不变的情况下, 降低了悬臂固定端所受的米塞斯应力...
PDF全文红外与激光工程 | 2019, 48(04):0420002
[摘要]优化设计了基于金属掩模的全息光刻微纳光栅制备工艺方案,基于GaAs衬底利用全息光刻和感应耦合等离子体(ICP)干法刻蚀技术制备出周期为860 nm的光栅图形。将磁控溅射生长的金属硬掩模作为光栅刻蚀的阻挡层引入到刻蚀工...
PDF全文中国激光 | 2019, 46(12):1203001
[摘要]为了进一步提高TiO2薄膜的光学特性和激光损伤阈值, 采用电子束蒸发技术在K9玻璃上沉积了单层TiO2薄膜, 并用Ar/O混合等离子体对样品进行后处理。通过研究薄膜光谱特性、表面缺陷密度、薄膜表面形貌、薄膜损伤阈值以及...
PDF全文光学 精密工程 | 2019, 27(07):1451
[摘要]本文设计了一种紧凑型端面泵浦电光调Q Nd∶YAG激光器。为实现激光器整体结构紧凑, 以快轴准直后的半导体激光器叠阵(Laser Diode Arrays,LDAs)作为泵浦源。使用焦距分别为40 mm和25 mm的球面镜和柱面镜将泵浦光耦合至...
[摘要]激光诱导损伤阈值是大功率光学系统中重要参数, 其数值大小对激光系统的输出功率与稳定性具有重要影响。为了突破损伤阈值对激光光学系统输出功率的限制, 科研人员主要从制备薄膜工艺、激光特性、薄膜特性以及薄膜后工...
[摘要]分布反馈式(DFB)半导体激光器具有优良的稳定性和单模性, 广泛应用于激光器抽运和光通信等领域。光栅作为DFB激光器的关键部件, 对激光器性能有重要的影响。针对976 nm波段设计制备了DFB激光器的光栅。基于耦合模理论优...
PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(12):120501
[摘要]提出了一种高电光转换效率的新型复合波导半导体激光器结构(Composite Waveguide LD, CWG LD)。该器件结构高的电光转换效率得益于其所采用的Al组分阶梯分布AlxGa1-xAs波导层。通过优化设计波导层电阻率分布及能带分布...
PDF全文红外与激光工程 | 2017, 46(11):1106006
[摘要]近年来, 水平腔面发射半导体激光器具有高功率、高光束质量及易封装集成等优良性能, 已成为激光器领域的研究热点。本文详细阐述了几种水平腔面发射半导体激光器的结构设计、工作原理以及激光输出特性, 并对该激光器国...
[摘要]设计了一种具有波长和偏振模式选择特性的GaAs材料的亚波长抗反射光栅，工作波长为976 nm。采用等效介质理论与薄膜理论对光栅进行初步设计，基于严格耦合波法依次对光栅占空比、脊高和周期进行优化确定，同时分析了各...
PDF全文中国激光 | 2016, 43(09):0901004
