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 256元InGaAs线列红外焦平面及扫描成像

吕衍秋 韩冰 白云 徐萌 唐恒敬 孔令才 李雪 张永刚 龚海梅

[摘要]报道了用分子束外延(MBE)方法生长掺杂InGaAs的PIN InP/InGaAs/InP外延材料,通过台面制作、硫化处理、ZnS/聚酰亚胺双层钝化、电极生长等工艺,制备了256元正照射台面InGaAs线列探测器,278K时平均峰值探测率为1.33×...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2008, 27(01):7-11

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