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 宽光谱大面积多阶梯光场 光谱感光仪

李超洋 黄元申 盛斌 庄松林

[摘要]研制了一种新型光谱感光仪,其特点是宽光谱 (340 nm~900 nm),大曝光面 (202 mm×90.5 mm),且面上具有多阶梯光强;制备具有 18级光密度值的高精密阶梯光楔板,每个台阶的光密度值误差不大于 0.01;根据光源的光...

 PDF全文光电工程 | 2019, 46(02):180365

 绝对平面检测方法的研究进展

黄元申 吕昊宇 曾 媛 韩 森 盛 斌

[摘要]光学平面的干涉检测发展至今,检测精度已经大大提高,而高精度的平面检测很大程度上受限于参考平面的精度,针对参考平面面形对检测结果的影响,利用绝对平面检测方法,通过多次测量以达到消除参考平面偏差的目的。从测量方...

 PDF全文光学仪器 | 2018, 40(01):72

 光栅刻划机直线度误差补偿的研究

黄元申 董成成 黄运柏 盛 斌 周红艳 孙 乐 杨海马 张大伟

[摘要]中阶梯光栅是一种特殊的衍射光栅, 它以高的衍射级次和大的衍射角来工作, 具有高分辨率、 全波闪耀等特性。 已广泛应用于高端光谱仪器之中, 极大地促进了航天航空、 天文、 医疗、 军事、 环境等尖端科技的发展。 但是...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2017, 37(03):946

 闪耀透射光栅衍射规律的分析和验证

黄元申 过军军 盛 斌

[摘要]基于标量理论研究了不同槽形角,不同刻线密度的透射式闪耀光栅对使用波段的影响,推导了闪耀透射光栅的衍射光能量分布规律。分析证明了透射闪耀光栅在衍射能量最强方向上衍射光的衍射角与入射光的入射角之间的关系满...

 PDF全文光学 精密工程 | 2017, 25(12):3012

 感光材料光谱灵敏度测定曝光系统的设计

孙 乐 黄元申 盛 斌 董成成 周红艳 张大伟

[摘要]为了测定感光材料的光谱灵敏度,通过Code V、SolidWorks 软件优化设计了一套感光材料光谱灵敏度测定曝光系统。分析比较了在不同入射角、不同光栅线数情况下系统光路结构的差异,确定入射角25°、光栅线数为350 L...

 PDF全文光电工程 | 2016, 43(12):72

 楔形导模共振滤波片的光谱分析

周红艳 盛斌 倪争技 黄元申 张大伟

[摘要]针对通信波段设计并制作了楔形波导层的导模共振滤波片(GMRF),分析并研究了其光谱特性。采用三角掩模板的方法进行离子束刻蚀,刻蚀一定次数后获得楔形波导层。光栅线条方向分为平行于和垂直于楔形波导层变化的方向...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(10):1011001

 线性渐变滤光片的制备方法研究

陈鹏 罗露雯 盛斌 黄元申

[摘要]提出了一种离子束刻蚀制备线性渐变滤光片(LVOF)的方法。离子束刻蚀过程中,通过在样片和离子束出射窗口之间加入开有三角形透射窗口的挡板以及样片水平方向多次来回运动完成楔形谐振腔层制备,配合离子束辅助反应电子束...

 PDF全文光学仪器 | 2016, 38(04):308

 基于马赫曾德调制器产生24 GHz波段超宽带信号毫米波

汪东 戴博 任栎亲 盛斌 王琦 张大伟

[摘要]采用双驱动马赫曾德调制技术生成24GHz波段的超宽带毫米波信号, 建立了基于双驱动马赫曾德调制器的超宽带毫米波信号理论模型, 并利用理论模型进行实际运算模拟产生了带宽达5.8 GHz的超宽带毫米波信号.研究了毫米波信号...

 PDF全文光子学报 | 2015, 44(09):0906001

 入射角调谐的三基色导模共振滤光片

杨赛 盛斌 张大伟 钱林勇 陈鹏 黄元申

[摘要]介绍一种入射角调谐红绿蓝三基色导模共振滤光片(GMRF)的实现方法。利用严格耦合波理论(RCWA)分析入射角对导模共振滤光片反射光谱的影响,用TM 偏振波在斜入射下得到两个不同位置的共振峰,通过调节入射角,使两个共振...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(04):0416002

 高分辨力凹面光栅光谱仪的优化设计

黄元申 苏仰庆 盛 斌 杨海马 黄运柏 李柏承

[摘要]本文从凹面光栅的理论分辨力和像差、狭缝的宽度和高度、光栅基片的尺寸大小等角度出发,推导了系统分辨力的计算公式,得出系统优化设计的新方法。得出以下结论:系统不能通过无限增加光栅刻线数来提高分辨力;狭缝宽...

 PDF全文光电工程 | 2015, 42(12):0001

 光栅刻划机进给导轨直线度误差对光栅衍射波前及杂散光的影响

黄元申 黄运柏 杨海马 李柏承 苏仰庆 盛斌

[摘要]对光栅刻划机的进给导轨直线度误差做了系统的研究,推导了直线度误差对光栅衍射波面和杂散光的影响的计算公式,并且定义了干涉仪测量轴线到刻线始端这段距离为定位臂。得出以下结论:定位臂会放大进给导轨的直线度误...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(05):0506005

 用于三维重建的点云单应性迭代最近点配准算法

韦盛斌 王少卿 周常河 刘昆 范鑫

[摘要]点云配准是光学三维(3D)轮廓测量术的关键技术之一。无标志点的点云配准大多由迭代最近点(ICP)算法实现。为提高ICP 算法的性能,提出了一种基于点云单应性的迭代最近点配准算法。描述了该算法中单应性点对的建立方法,...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(05):0515003

 提高多层介质膜脉宽压缩光栅阈值的清洗方法

陈上碧 盛斌 邱克强 刘正坤 徐向东 刘颖 洪义麟 付绍军

[摘要]采用HPM溶液(盐酸、双氧水和去离子水的混合液)结合氧等离子体对多层介质膜脉宽压缩光栅进行清洗研究。用X射线光电子能谱检测光栅表面的元素成分及其原子含量的变化。实验结果表明, 氧等离子体处理能有效去除光栅表面...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2012, 24(11):2631-2636

 大尺寸衍射光学元件的扫描离子束刻蚀

邱克强 周小为 刘颖 徐向东 刘正坤 盛斌 洪义麟 付绍军

[摘要]总结了大尺寸衍射光学元件离子束刻蚀技术的研究进展。针对自行研制的KZ-400离子束刻蚀装置,提出了组合石墨束阑结构和多位置分步刻蚀策略来提高离子束刻蚀深度的均匀性,目前在450 mm尺寸内的刻蚀深度均匀性最高可达...

 PDF全文光学 精密工程 | 2012, 20(08):1676-1683

 HfO2顶层多层介质膜脉宽压缩光栅的Piranha溶液清洗

陈上碧 盛斌 邱克强 刘正坤 徐向东 刘颖 洪义麟 付绍军

[摘要]为了提高HfO2顶层多层介质膜脉宽压缩光栅(PCG)的抗激光损伤性能,使用Piranha溶液(浓硫酸和双氧水的混合液)清洗PCG去除其制作工艺和使用过程中残留在表面的污染物,包括CHF3作为工作气体对HfO2进行反应离子束刻蚀...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2011, 23(08):2106-2110

 真空紫外硅闪耀光栅的制作

盛斌 徐向东 刘颖 洪义麟 付绍军

[摘要]利用单晶硅在KOH溶液中的各向异性刻蚀特性,在相对Si(111)面切偏角为5°的单晶片上制作了1 200 gr/mm的真空紫外闪耀光栅。结合全息干涉曝光以及光刻胶灰化技术,在单晶硅表面得到了小占宽比的高质量光刻胶掩模,...

 PDF全文光学 精密工程 | 2010, 18(01):94-99

 离子束溅射沉积Ir膜真空紫外反射特性研究

干蜀毅 刘正坤 盛斌 徐向东 洪义麟 刘颍 周洪军 霍同林 付绍军

[摘要]根据吸收材料基底上单层金属膜数学计算模型,对不同基片上各种厚度的Ir膜真空紫外反射率进行了优化计算.采用离子束溅射沉积技术,在石英、K9玻璃和Si基片上沉积了不同厚度的Ir膜,研究了基片、表面厚度、离子束能量及...

 PDF全文光子学报 | 2009, 38(05):1207-1211

 电子束蒸发沉积Ir膜真空紫外反射特性

干蜀毅 刘正坤 盛斌 徐向东 洪义麟 刘颍 周洪军 霍同林 付绍军

[摘要]Ir是一种重要的真空紫外反射材料,在太阳物理、宇宙物理、生命科学、大气物理、同步辐射等方面有着十分重要的应用。对电子束蒸发沉积Ir膜在真空紫外波段的反射特性进行了系统的理论和实验研究。根据吸收材料基底上单层...

 PDF全文光学学报 | 2008, 28(10):2036-2040

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