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   将选定结果: 

 ZnS头罩增透保护膜系制备

宋建全 刘正堂 于忠奇 耿东生 郑修麟

[摘要]利用计算机对不同运动轨迹下ZnS头罩外表面膜厚分布进行了模拟,优化出头罩的最佳运动轨迹,在该轨轨迹下采用射频磁控反应溅射(RRFS)法进行头罩镀膜,能够得到满足使用要求的薄膜厚度均匀性.实验结果表明,头罩外表面薄膜...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2001, 20(03):203-206

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