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 飞秒激光制备高敏感度流量传感器

胡文锦 许兵 史杨 胡衍雷 吴东

[摘要]利用飞秒激光双光子直写技术, 在微流控芯片内部集成了一款三维(3D)弹簧状流量传感器。加工的弹簧状流量传感器可以循环拉伸多次, 且变形可逆。另外, 不同的激光曝光能量能够加工不同厚度的弹簧状流量传感器, 从而可以...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(09):0902001

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