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   将选定结果: 

 氧化锌薄膜的准分子激光退火热效应模拟分析

邵景珍 王 玺 胡红涛 方晓东

[摘要]基于热传导方程建立了ZnO薄膜的准分子激光辐照理论模型,模拟分析了KrF准分子激光辐照ZnO薄膜的热效应。计算了薄膜的温度场分布和热流分布,讨论了激光作用过程中的温度随时间的变化关系,分析了激光能量密度对薄膜温...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(06):061401

 激光辐照GaN改善其欧姆特性的研究进展

胡红涛 邵景珍 方晓东

[摘要]GaN材料在高频、高功率、高温、高密度集成电子器件等领域具有广阔的应用前景,是全球半导体领域研究的前沿和热点。近几年,对低接触电阻率的金属/GaN欧姆接触的研究取得了巨大 进步,但金属/GaN欧姆接触仍是制约GaN器件...

 PDF全文量子电子学报 | 2017, 34(06):641

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