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 离轴非球面在细磨与粗抛阶段的波面再现技术

武中华 袁吕军 朱永田 何丽 康燕 苏志德 孔维斌

[摘要]基于付科法的离轴非球面波面再现检测技术, 通过对付科检测过程的数学分析, 建立了离轴非球面波面再现的数学模型, 提出了波面整合算法, 通过对两幅阴影图灰度值积分、去倾斜及波面整合等数据处理再现出被检离轴非球面...

 PDF全文光子学报 | 2017, 46(03):0322002

 大非球面度快焦比中大口径高次非球面检测

何丽 武中华 康燕 苏志德

[摘要]近年来, 大口径、大非球面度、快焦比、高次非球面光学元件在天文光学、空间光学和地基空间目标探测与识别等领域得到了越来越广泛的应用。目前对此类光学元件的检测一般采用零位补偿法或消回程误差的非零位检测法。其...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2016, 53(12):122201

 菲索干涉仪中精确移相的实现

苏志德 史振广 彭吉 隋永新 杨怀江

[摘要]为了实现移相式菲索干涉仪对光学元件面形的高精度测量,建立了干涉仪同步采集移相系统,并对精确移相方法进行了研究。介绍了移相系统的构成和工作原理,计算了测量过程中移相器的速度。针对PZT移相器在移相过程中会引...

 PDF全文中国光学 | 2013, 6(02):244-250

 基于数值模拟的高精度波长移相干涉仪随机误差分析

文刚 苏东奇 苏志德 隋永新 杨怀江

[摘要]研制波长移相干涉仪时为了选出满足干涉仪设计指标的激光器和CCD相机,采用直接计算法和蒙特卡罗法对干涉仪系统中的主要随机误差进行建模仿真。介绍了菲佐型波长移相干涉仪的基本结构和测量原理,对振动、空气扰动和激...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(10):1008003

 迭代最小二乘法用于非线性移相器的标定

苏志德 隋永新 杨怀江 邵晶

[摘要]针对移相干涉仪中移相器的非线性会影响测量结果准确性的问题,提出了一种基于迭代最小二乘拟合的标定干涉仪移相器的新方法。对移相器加电压并采集若干幅干涉图后,通过在帧间和帧内迭代开展最小二乘拟合可计算出干涉...

 PDF全文应用光学 | 2013, 34(04):624-628

 在随机和倾斜移相下光强归一化的迭代移相算法

苏志德 史振广 苏东奇 隋永新 杨怀江

[摘要]由于存在振动和导向误差,干涉仪移相器在移相过程中产生随机的平移误差和倾斜误差,会给测量结果带来影响。因此高精度测量中对环境的稳定性和移相器的性能要求很苛刻。为了降低此种要求,针对随机和倾斜移相下干涉图...

 PDF全文光学学报 | 2013, 33(01):0112001

 基于动态模糊系统模型的压电陶瓷驱动器控制

李朋志 葛川 苏志德 闫丰 隋永新 杨怀江

[摘要]针对压电陶瓷驱动器(PZT)的迟滞非线性对周期性超精密跟踪精度的影响, 对基于Takagi-Sugeno(T-S)型模糊规则的动态模糊系统( DFS)前馈+PI控制方法进行了研究。介绍了DFS模型前提部分和结论部分的辨识方法; 结合直接逆模...

 PDF全文光学 精密工程 | 2013, 21(02):394-399

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