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   将选定结果: 

 X光光刻工艺微针阵列的制备、测试和仿真

李以贵 吴文渊 王 欢 蔡金东 吕 曈

[摘要]为了提高透皮给药的效率, 降低传统注射对人体的疼痛感, 需要制备微针阵列结构。本文介绍了一种新的微针阵列结构的制造技术。利用日本立命馆大学的同步辐射光源AURORA进行两次X光移动光刻和一次固定X光光刻技术, 在PM...

 PDF全文光学 精密工程 | 2018, 26(05):1156

 基于准分子激光器的压电陶瓷微结构加工

李以贵 蔡金东 黄远 吕曈 颜平 王欢

[摘要]利用波长为248 nm的氟化氪(KrF)准分子激光器加工了掺镧锆钛酸铅压电陶瓷(PZT)、硅(Si)和聚二甲基硅氧烷(PDMS), 研究了准分子激光对这3种材料的加工效果。为了解决传统切割工艺加工PZT膜片时易发生破裂的问题, 研究了...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(09):091403

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