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 1064 nm分振幅光偏振测量仪的多层介质分束镜的设计和制备

袁文佳 沈伟东 章岳光 郑晓雯 沐 雯 方 波 杨陈楹 刘 旭

[摘要]设计和制备了一种用于1064 nm分振幅光偏振测量仪(DOAP)的具有多层介质薄膜结构的差分相移分束镜。通过理论分析该DOAP系统的仪器矩阵参数, 得到分束镜的最优参数, 并用离子束溅射沉积方法制备了分束镜样品及其背面的减...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(05):0531001

 离子束溅射制备Nb2ONb5、TaNb2ONb5和SiONb2薄膜的光学、力学特性和微结构

袁文佳 沈伟东 郑晓雯 杨陈楹 章岳光 方波 沐雯 陈超楠 刘旭

[摘要]研究了离子束溅射(IBS)制备的Nb2O5、Ta2O5和SiO2薄膜的光学特性、力学特性以及薄膜微结构, 分析了辅助离子源电压对薄膜特性的影响, 并将电子束蒸发、离子辅助沉积和IBS制备的薄膜进行了对比。研究结果表明, IBS制备的...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(12):1231001

 原子层沉积制备铱薄膜的特性研究

叶志杰 沈伟东 章岳光 张兴 袁文佳 李旸晖 刘旭

[摘要]以乙酰丙酮铱[Ir(acac)3]和高纯氧为前驱体,采用原子层沉积(ALD)方法在基板温度为340 ℃的石英玻璃和硅基板上制备了金属铱薄膜。采用反射光谱测试仪、X射线电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(10):1031002

 抗紫外辐射塑料显示面板的减反射膜

武江 沈伟东 袁文佳 章岳光 顾培夫

[摘要]设计制备了一种抗紫外(UV)辐射的塑料显示面板的减反射膜。对常用的聚碳酸酯(PC)塑料面板,在垂直入射时,减反膜紫外波段300~380 nm的平均反射率大于99.5%,可见光波段420~750 nm的残余反射率为0.22%;在45°入射...

 PDF全文光学学报 | 2011, 31(02):0231001

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