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 可调谐VCSEL的低应力MEMS悬臂结构设计

裴丽娜 石琳琳 王小龙 范 杰 王海珠

[摘要]针对GaAs基和InP基材料的波长可调谐垂直腔面发射激光器(VCSEL)中微机电系统(MEMS)应力集中引起结构损坏的问题开展研究。设计了蝴蝶结状MEMS悬臂结构, 在保证最大位移不变的情况下, 降低了悬臂固定端所受的米塞斯应力...

 PDF全文红外与激光工程 | 2019, 48(04):0420002

 宽范围可调谐内腔液晶垂直腔面发射激光器设计与研究

李保志 邹永刚 王小龙 裴丽娜 石琳琳 李鹏涛 关宝璐

[摘要]为增加可调谐激光器的波长调谐范围, 提高系统的可靠性和稳定性, 基于液晶的电控双折射特性, 设计了一种中心波长为852 nm的内腔液晶可调谐垂直腔面发射激光器结构。分析了该结构获得宽范围波长调谐和单偏振稳定输出的...

 PDF全文发光学报 | 2018, 39(11):1621

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