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   将选定结果: 

 超高精度面形干涉检测技术进展

侯溪 张帅 胡小川 全海洋 吴高峰 贾辛 何一苇 陈强 伍凡

[摘要]深紫外、极紫外光刻、先进光源等现代光学工程牵引驱动超精密光学技术持续发展, 超精密光学制造要求与之精度相匹配的超高精度检测技术。作为核心技术指标之一的面形精度通常要求达到纳米、深亚纳米甚至几十皮米量级, ...

 PDF全文光电工程 | 2020, 47(08):200209

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