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 一种用于红外光电系统的新型压电陶瓷扫描镜的反馈控制

赵灿兵 周春芬 胡志斌 刘 鹏 王 杰 陈大乾

[摘要]由于高精度位移传感器体积大、价格高,系统传递函数复杂难以辨识等因素,目前对于压电驱动的FSM 大多通过前馈补偿的方法进行开环控制。为了实现对一种新型三支撑三维FSM 的反馈控制,本文基于电阻应变片构建了反馈信...

 PDF全文红外技术 | 2017, 39(12):1083

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