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 短波红外InGaAs焦平面探测器研究进展

李 雪 邵秀梅 李 淘 程吉凤 黄张成 黄松垒 杨 波 顾 溢 马英杰 龚海梅 方家熊

[摘要]短波红外InGaAs 焦平面探测器具有探测率高、均匀性好等优点, 在航天遥感、微光夜视、医疗诊断等领域具有广泛应用。近十年来, 中国科学院上海技术物理研究所围绕高灵敏度常规波长(0.9~1.7 μm)InGaAs焦平面、延伸波长...

 PDF全文红外与激光工程 | 2020, 49(01):0103006

 短波红外InGaAs焦平面噪声特性

于春蕾 李雪 邵秀梅 黄松垒 龚海梅

[摘要]为研究铟镓砷焦平面的噪声特性,设计了两种不同吸收层掺杂浓度的InGaAs外延材料,采用标准工艺制备了平面型160×128元光敏芯片,并与相同结构的读出电路倒焊耦合形成160×128元焦平面,采用改变积分时间和改...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2019, 38(04):528

 集成线性渐变滤光片和InGaAs焦平面的微型光谱模组及其波长定标

王绪泉 黄松垒 于月华 叶捷敏 邵秀梅 方家熊

[摘要]提出一种集成线性渐变滤光片和InGaAs焦平面的微型近红外光谱模组.作为核心分光元件, 线性渐变滤光片被紧密耦合在光敏芯片表面.相比于光栅分光方式, 模组具有紧凑的光学结构和稳定的光学特性.对此光谱模组进行波长定标...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(05):0530001

 InGaAs探测器的盲元分析及P电极优化

邓洪海 杨波 夏辉 邵海宝 王强 王志亮 朱友华 黄静 李雪 邵秀梅 龚海梅

[摘要]采用扫描电容显微镜分析了平面型PIN In0.52Al0.48As/In0.53Ga0.47As/ In0.52Al0.48As短波红外探测器盲元产生的原因, 利用半导体器件仿真工具Sentaurus TCAD对探测器中的盲元特性进行了模拟, 并利用制备的Au/P-In0.52...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(03):0304001

 增强短波红外InGaAs探测器透过率的纳米光天线研究

姚鹏飞 李淘 李雪 邵秀梅 龚海梅

[摘要]过去几十年中, 短波红外 InGaAs探测器被广泛用于近红外探测系统中, 通过将 InGaAs光电探测器与纳米光天线结合可以增强光吸收并提高量子效率。然而, 这种纳米光天线往往由聚焦离子束或电子束光刻制备而成, 制备成本较...

 PDF全文红外技术 | 2018, 40(09):843

 中心距10 μm截止波长2.6 μm的延伸波长InGaAs焦平面探测器

何玮 李平 邵秀梅 曹高奇 于一榛 张亚光 邓双燕 杨波 李雪 李淘 龚海梅

[摘要]采用ICP(inductively coupled plasma etching)刻蚀与湿法腐蚀相结合的方式, 研制了像元中心距为10 μm、截止波长2.6 μm的p-i-n型10 × 10元延伸波长InGaAs探测器.不同温度下的电流—电压特性研究和激活能分析, ...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2018, 37(06):649

 微型长波近红外物联网节点及实验研究

王绪泉 黄松垒 于月华 叶捷敏 邵秀梅 方家熊

[摘要]研制基于线性渐变滤光片和InGaAs焦平面的微型化物联网节点,实现长波近红外光谱数据的采集和无线传输,针对节点的波长范围、分辨率、波长准确性和波长稳定性等参数指标开展性能研究实验.实验结果表明,节点的波长范围...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2018, 37(01):42

 一种新型单片集成光谱传感器的波长定标方法

张亚光 庄新港 王绪泉 刘俊良 方家熊 邵秀梅 王丽丽

[摘要]新型短波红外单片集成光谱传感器(MCSS)是光谱传感物联网的核心感知部件.提出了一种MCSS的波长定标方法, 根据相对光谱响应度和波长分配原则把相邻像素组成一个定标通道.分别采用MCSS和两款商用光谱仪测量标准物质的光...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2017, 36(01):15

 不同退火处理的台面型In0.83Ga0.17As pin光电二极管暗电流分析

李 平 李 淘 邓双燕 李 雪 邵秀梅 唐恒敬 龚海梅

[摘要]为了研究延伸波长In0.83Ga0.17As pin光电二极管的暗电流机制。采用两种不同工艺制备了台面型延伸波长In0.83Ga0.17As pin光电二极管。第一种工艺(M135L-5)是: 台面刻蚀后进行快速热退火(RTA)。第二种工艺(M135L-3)是:...

 PDF全文红外与激光工程 | 2016, 45(05):0520002

 高性能短波红外 InGaAs焦平面探测器研究进展

邵秀梅 龚海梅 李雪 方家熊 唐恒敬 李淘 黄松垒 黄张成

[摘要]中科院上海技物所近十年来开展了高性能短波红外InGaAs 焦平面探测器的研究。0.9~1.7 ?m近红外InGaAs 焦平面探测器已实现了256×1、512×1、1024×1 等多种线列规格,以及320×256、640×512、4...

 PDF全文红外技术 | 2016, 38(08):629

 含有超晶格电子势垒的In0.83Ga0.17As探测器暗电流仿真和验证

李庆法 李雪 唐恒敬 邓双燕 曹高奇 邵秀梅 龚海梅

[摘要]为了获得 In0.83Ga0.17As 探测器的暗电流机制, 采用了 TCAD 软件对吸收层中含有和不含有超晶格电子势垒的p-i-n结构探测器暗电流特性进行仿真,并开展了器件验证.结果表明, 超晶格势垒可以调整器件的能带结构, 改变载流...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2016, 35(06):662

 n-on-p结构深台面延伸波长InGaAs探测器的ICPCVD钝化工艺

石 铭 邵秀梅 唐恒敬 李 淘 黄 星 曹高奇 王 瑞 李 平 李 雪 龚海梅

[摘要]采用ICP刻蚀(inductively coupled plasma etching)工艺制备了深台面n-on-p结构的可响应到2.4 μm的延伸波长8×1元线列InGaAs探测器.器件表面采用ICP源激发的N2等离子体进行处理,然后再使用ICPCVD(inductively co...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2016, 35(01):47

 短波红外In0.53Ga0.47As探测器的实时γ辐照研究

黄星 李雪 李淘 唐恒敬 邵秀梅 龚海梅

[摘要]空间应用短波红外InGaAs探测器的性能不断提高,对辐照损伤越来越敏感。通过实时测试的方法,研究了不同剂量和不同剂量率的γ辐照对晶格匹配In0.53Ga0..47As探测器电流-电压特性的影响。发现在反向偏压下,辐照在器件...

 PDF全文半导体光电 | 2015, 36(06):901

 Correction of response spectra of quantum type photodetectors measured by FTIR

张永刚 周立 顾溢 马英杰 陈星佑 邵秀梅 龚海梅 方家熊

[摘要]针对采用FTIR方法测量量子型光电探测器的光电流谱并据此校正获得器件的实际响应光谱问题,提出了两种简便可行的校正方案,即计算仪器函数校正方案和标准探测器传递校正方案;对其可行性、限制因素及注意事项进行了详...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2015, 34(06):0737

 异质结InP/InGaAs探测器欧姆接触温度特性研究

曹高奇 唐恒敬 李淘 邵秀梅 李雪 龚海梅

[摘要]为了研究异质结InP/InGaAs探测器帽层的欧姆接触特性,采用Au/p-InP传输线模型(TLM),对比不同退火温度下的接触特性,在480℃、30 s的退火条件下实现室温比接触电阻为3.84×10-4Ω·cm2,同时,对欧姆接触的温...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2015, 34(06):0721

 可见增强的32×32元平面型InGaAs/In面阵探测器

杨 波 邵秀梅 唐恒敬 邓洪海 李 雪 魏 鹏 王云姬 李 淘 龚海梅

[摘要]为了实现InGaAs探测器响应波段向可见增强, 在传统的外延材料中加入一层InGaAs腐蚀阻挡层, 制备了32×32元平面型InGaAs面阵探测器, 采用机械抛光和化学湿法腐蚀相结合的方法, 去除了InP衬底.结果表明, 探测器的响...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2015, 34(03):286

 不同扩散掩膜方式对InGaAs平面探测器性能影响研究

王云姬 唐恒敬 李雪 邵秀梅 杨波 邓双燕 龚海梅

[摘要]测量了不同扩散掩膜生长方式的截止波长为1.70μm的InGaAs平面探测器的电学性能.其中,SiNx薄膜作为扩散掩膜,分别采用等离子体化学气相沉积(PECVD)和低温诱导耦合等离子体化学气相沉积(ICP-CVD)生长.探测器焊接在杜瓦...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2014, 33(04):333-336

 平面型大光敏元InGaAs线列探测器及其应用

邵秀梅 李淘 李雪 邓洪海 程吉凤 徐勤飞 肖功海 汪洋 陆华杰

[摘要]采用晶格匹配的平面型InP/In0.53Ga0.47As/InP外延材料,设计了一种大光敏元、带有保护环的InGaAs线列探测器。通过I-V测试、扫描电容显微技术(SCM)测试,研究并确定了线列器件的盲元与保护环结构之间的关系。通过设计改...

 PDF全文光学与光电技术 | 2014, 12(01):75-79

 基于LabVIEW的短波红外焦平面相对响应光谱测试系统

陈郁 贺香荣 邵秀梅 方家熊

[摘要]搭建了一套适用于短波红外焦平面的相对响应光谱自动测试系统。系统测试程序在LabVIEW虚拟仪器开发环境下完成,具备光栅单色仪的控制、数据采集处理与存储等功能。系统采用单光路标准代替法实现了相对响应光谱的校准。...

 PDF全文光学与光电技术 | 2013, 11(06):25-28

 基于N-on-P结构的背照射延伸波长640×1线列InGaAs探测器

朱耀明 李永富 李雪 唐恒敬 邵秀梅 陈郁 邓洪海 魏鹏 张永刚 龚海梅

[摘要]在N-on-P型In0.78Al0.22As/In0.78Ga0.22As外延材料上,采用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀技术制备了背照射640×1线列InGaAs探测器芯片,研究了探测器光电性能.结果表明,室温下单元器件响应截止波长和峰值波长分别为...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2012, 31(01):11-15

 基于弛豫铁电单晶的热释电焦平面研究

邵秀梅 马学亮 于月华 方家熊

[摘要]PMN-PT 是一种综合性能优异的新型热释电材料。本文以PMN-PT 单晶作为热释电探测器材料,开展了8×1线列探测器的芯片结构设计及器件关键工艺研究,获得了8 元热释电探测器芯片,电压响应率约280 V/W。同时,实现了...

 PDF全文光电工程 | 2011, 38(02):46-50

 平面型 24元 InGaAs短波红外探测器

邵秀梅 李淘 邓洪海 程吉凤 陈郁 唐恒敬 李雪

[摘要]设计了带有保护环结构的平面型 24×1 InGaAs线列短波红外探测器,利用 n-i-n+型 InP/In0.53Ga0.47As/InP外延材料闭管扩散制备了平面型探测器。LBIC测试显示光敏元没有明显扩大,保护环起到了有效的隔离效果;I-...

 PDF全文红外技术 | 2011, 33(09):501-504

 1024×1元近红外InGaAs线列焦平面组件

李雪 龚海梅 唐恒敬 刘大福 邵秀梅 危峻 方家熊

[摘要]利用分子束外延方法生长的InP/InGaAs/InP双异质结材料,通过台面成型、有效钝化和欧姆接触电极制备等工艺,制作了512×1元的背照射InGaAs光敏芯片,光敏芯片响应波段为0.95~1.7 μm,平均峰值响应率约为0.97 A/W...

 PDF全文光学学报 | 2011, 31(s1):s100305

 近红外256×1元InGaAs焦平面探测器无效像元研究

李雪 邵秀梅 唐恒敬 汪洋 陈郁 龚海梅

[摘要]采用分子束外延方法生长的PIN型InP/InGaAs/InP双异质结材料制备了正照射256×1元近红外探测器,并与128×1奇偶两路读出电路互连,制备了近红外256×1元焦平面探测器.针对近红外InGaAs焦平面探测器中的无...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2011, 30(05):409-413

 一种紫外焦平面探测器电流响应率测试方法

邵秀梅 丁洁莹 陈新禹 张燕 方家熊

[摘要]电流响应率是紫外探测器的重要特性参数, 光敏芯片与读出电路芯片耦合成焦平面组件后, 不能通过测试焦平面组件直接得到电流响应率参数。对128×1 电容反馈互阻抗放大器(CTIA)读出电路芯片进行了系统的测试, 得到了...

 PDF全文光学学报 | 2009, 29(s1):242-246

 GaN基512×1元紫外长线列焦平面探测器组件

张燕 储开慧 邵秀梅 袁永刚 刘大福 陈新禹 李向阳

[摘要]介绍了GaN基512×1元紫外长线列焦平面探测器组件的研制过程,并给出了器件的性能。利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法生长的多层AlGaN外延材料,通过刻蚀、钝化、欧姆接触电极制备等工艺,制作了256×1的背照...

 PDF全文光学学报 | 2009, 29(12):3515-3518

 GaN基紫外探测器的电子辐照效应

白云 邵秀梅 陈亮 张燕 李向阳 龚海梅

[摘要]用能量为0.8 MeV的电子对非故意掺杂的GaN材料进行了辐照,光致发光谱(PL谱)表明,辐照使PL谱的强度随电子注量依次降低,且主发光峰蓝移,在注量较高时,在3.36 eV附近,出现新的发光峰.制备了SiN/GaN的MIS结构,并对其进行电...

 PDF全文红外与激光工程 | 2008, 37(02):270-273

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