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 高数值孔径自由曲面极紫外光刻物镜光学设计

毛姗姗 李艳秋 刘 克 刘丽辉 郑 猛 闫 旭

[摘要]高分辨率需求牵引极紫外光刻(EUVL)投影物镜向高数值孔径(NA)、自由曲面设计形式发展。传统的非球面EUVL物镜设计难以在高数值孔径下兼顾校正像差的需求, 往往造成遮拦, 破坏成像对比度。提出了一种高NA无遮拦自由曲面...

 PDF全文红外与激光工程 | 2019, 48(08):0814002

 利用球-旋转椭球模型研究上皮组织散射特性

李华贵 李艳秋 郑 猛

[摘要]组织模型在组织成像机理及光学疾病诊断技术的研究和改进中发挥着重要作用。然而上皮组织细胞中不仅包含球形散射体, 往往还包含椭球形散射体。目前对包含椭球散射体的上皮组织模型的研究还鲜有报道。建立了上皮组织的...

 PDF全文红外与激光工程 | 2018, 47(02):0217004

 癌变对上皮组织前后向散射特性影响的对比研究

李华贵 李艳秋 郑猛

[摘要]Mueller矩阵成像法可用于获取生物组织的微观结构信息, 在组织早期癌变的诊断中发挥着重要作用。采用不同的成像方式得到的结果往往具有很大的差异。为了保证Mueller矩阵成像法对组织癌变诊断结果的可靠性, 需要明确成...

 PDF全文光学技术 | 2018, 44(02):211

 Mueller 矩阵成像偏振仪的误差标定和补偿研究

李建慧 郑猛 张雪冰 李艳秋

[摘要]Mueller 矩阵成像偏振仪是测量材料和器件偏振特性的重要仪器,也是测量浸没光刻机偏振像差的检测仪器,该偏振仪由偏振态产生器和偏振态分析器组成。其组成中的λ/4 波片相位延迟量误差及其快轴方位角误差与偏振片透光...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2016, 53(02):021202

 旋转波片法成像斯托克斯偏振仪误差标定和补偿

张雪冰 李艳秋 郑猛 李建慧

[摘要]旋转波片法成像斯托克斯偏振仪由可旋转的1/4 波片、固定的检偏器、成像光学器件和光电探测器构成,1/4波片的快轴方位角误差和相位延迟量误差是旋转波片法成像斯托克斯偏振仪的主要误差源,对其进行误差标定和补偿,可...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(07):0708007

 相移点衍射干涉仪用衍射板结构设计

郑猛 李艳秋 刘克

[摘要]相移点衍射干涉仪(PS/PDI)的检测精度取决于衍射板中针孔衍射产生的参考球面波质量,而针孔的直径是影响参考球面波质量的一个重要因素。基于矢量衍射理论,以会聚光束作为入射光,分析了针孔厚度和直径、加工误差以...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2013, 50(03):031201

 新型计算机X射线激光扫描系统实验与分析

郑猛 冯其波 高瞻 邵双运 丁克勤

[摘要]设计了一种适合于计算机X射线扫描仪的新型激光扫描光学系统。用五角棱镜和聚焦物镜组成扫描臂以取代传统的Fθ镜头,影像板传动机构设计成圆弧形,激发出的荧光通过扫描臂来收集。分析了影响扫描仪空间分辨率和系统性...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(08):800

 CR扫描仪激光扫描光学系统设计及理论分析

郑猛 邵双运 冯其波

[摘要]设计了一种适合于计算机X射线扫描仪的新型激光扫描光学系统,采用五角棱镜和聚焦物镜组成扫描臂以取代传统的f-θ镜头,利用影像板的柔性成圆弧形进片。扫描臂又用做接收器件来收集激发出的荧光,使得系统性能提高,同时结...

 PDF全文光学学报 | 2010, 30(08):2393-2400

 CR扫描仪激光扫描光学系统的设计

郑猛 冯其波 邵双运 丁克勤

[摘要]设计了一种适合于计算机X射线扫描仪的新型激光扫描系统,其空间分辨率为10 lp/mm。针对常用扫描机构的不足,用五角棱镜和聚焦物镜组成扫描臂取代传统的Fθ镜头,利用成像板的柔韧性实现圆弧形进片,扫描臂同时作为接...

 PDF全文光学 精密工程 | 2010, 18(01):21-28

 计算机X 射线激光扫描仪设计及分析

郑猛 邵双运 冯其波 邬代军

[摘要]针对X 射线工业检测,设计了一种适合于计算机X 射线扫描仪的新型激光扫描系统。用五角棱镜和聚焦物镜组成扫描臂以取代Fθ 镜头,利用影像板的柔性成圆弧形进片。同时扫描臂又用做接收器件来收集激发出的荧光,使系统性能...

 PDF全文光电工程 | 2009, 36(11):58-63

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