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 太赫兹时域光谱法测定高电子迁移率晶体管的截止工作频率

谢乐 卞金鑫 李洪 杜少卿 陈麟 彭滟 张海英 徐静波 郭天义 付晓君 杨浩 朱亦鸣

[摘要]随着高速半导体器件的发展,高电子迁移率晶体管(HEMT)的工作频率已经达到亚太赫兹波段,所以无法简单地通过传统电学方法进行检测。鉴于此,必须采用超快光学方法测定HEMT器件的截止工作频率。利用持续时间更短的飞...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2012, 49(04):043003

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