首页 > 论文 > 标签

Hi,您目前在 强激光与粒子束 '金伟其', 共找到 1个内容。

   将选定结果: 

 极紫外多层膜残余应力初步研究

向鹏 金春水 张立超 金伟华 刘颖敏 曹健林

[摘要]针对极紫外多层膜在激光等离子体诊断、极紫外光刻等方面的应用,进行了Mo/Si多层膜残余应力的实验研究,讨论了多层膜残余应力的成因.实验结果表明:Mo单层膜表现为张应力, Si单层膜表现为压应力;通过传统方法制备的13.0...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2005, 17(03):377-380

首页上一页1下一页尾页