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 点衍射干涉检测技术

李瑶 杨甬英 王晨 陈元恺 陈晓钰

[摘要]本文介绍了点衍射干涉仪不同发展阶段的特点和应用。点衍射干涉仪由波长量级的针孔产生高质量的球面波作为参考波前,能够得到衍射极限性能的分辨率。按照不同的光路特点,点衍射干涉仪可分为点衍射共路干涉和点衍射非...

 PDF全文中国光学 | 2017, 10(04):391

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