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 光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析

董世则 郭 抗 李显凌 陈华男 张德福

[摘要]设计了一种狭缝柔性结构的光学元件调节机构, 使光学元件在具备较高调节精度的同时, 保持较高的导向精度。采用弹性力学应力函数法分析了狭缝柔性结构的刚度, 以径向刚度与轴向刚度的比值为目标函数, 对狭缝柔性结构尺...

 PDF全文中国光学 | 2017, 10(06):790

 光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计

陈华男 郭抗 张玲花 刘健 尚红波

[摘要]X-Y向柔性调节机构应用于光刻投影物镜中光学元件 X-Y方向偏心位置补偿。基于柔性铰链, 设计柔性二级减速机构, 并将之应用到新型的一体式 X-Y向柔性调节机构上。在对机构原理进行分析的基础上, 对 X-Y向柔性调节机构结...

 PDF全文光电工程 | 2015, 42(06):50

 膜系引入偏振像差对投影光刻物镜设计的影响与改进

尚红波 刘春来 张巍 陈华男

[摘要]为了实现高成像要求,投影光刻物镜在设计时需要考虑膜层偏振效应的影响,并进行相应的分析和评价。首先介绍了基于琼斯矩阵的偏振像差理论,然后以一个数值孔径(NA)为0.75的投影光刻物镜为例,设计了相应膜系,系统...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(01):0122003

 柔性环片结构的光学元件轴向调节机构设计

郭抗 陈华男 倪明阳 李显凌

[摘要]在保证光学元件极高面形精度和极高调节精度的同时,为了实现更大的调节行程,采用柔性环片结构,设计了一种光学元件轴向精密调节机构。建立了调节机构的有限元分析模型,分析了主要设计参数对调节机构的调节行程、应...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(s2):s222001

 超光滑加工技术中光学元件表面材料的均匀去除

陈华男 王君林 刘健

[摘要]超光滑加工通常是在保证光学元件面型精度不劣化前提下提升其中高频精度.均匀去除是保证超光滑加工过程中光学元件面型精度不劣化的重要途径.本文以四轴三联动小磨头超光滑加工机床为基础, 结合Preston假设, 研究了四轴...

 PDF全文光子学报 | 2013, 42(04):417-416

 光学元件双转子抛光技术中类高斯型去除函数建模与逼近

陈华男 王君林 李显凌 王绍治

[摘要]在Preston假设基础上, 研究并推导了光学元件抛光过程中“花瓣”型截面磨头在双转子运动形式下的去除函数.提出了“花瓣”型截面磨头的离散点弧长表达方法, 并讨论了该方法的适用范围; 基于离散点弧长法, 推导了“花瓣...

 PDF全文光子学报 | 2013, 42(03):282-287

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