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   将选定结果: 

 点衍射干涉检测技术

李瑶 杨甬英 王晨 陈元恺 陈晓钰

[摘要]本文介绍了点衍射干涉仪不同发展阶段的特点和应用。点衍射干涉仪由波长量级的针孔产生高质量的球面波作为参考波前,能够得到衍射极限性能的分辨率。按照不同的光路特点,点衍射干涉仪可分为点衍射共路干涉和点衍射非...

 PDF全文中国光学 | 2017, 10(04):391

 点衍射干涉系统光学结构参数优化研究

邵卫红 杨甬英 陈晓钰 刘东 沈亦兵

[摘要]采用时域有限差分方法,在分析点衍射波前误差的前提下,讨论了点衍射干涉系统中物镜数值孔径、针孔尺寸、检测的数值孔径对衍射光强的影响;逐步优化光学结构参数,得到不同光学结构参数之间的匹配数值表;通过比较点...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2014, 26(05):051001

 大口径光学元件表面灰尘与麻点自动判别

李璐 杨甬英 曹频 严路 王世通 陈晓钰 沈亦兵 刘东

[摘要]在大口径光学元件表面疵病初检时,灰尘和麻点由于形态类似,不易区分。针对该问题,提出了一种基于模式识别理论的灰尘麻点判别方法。该判别方法以既有的疵病检测系统为基础,根据灰尘麻点的暗场成像特点,选取了合适...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2014, 26(01):012001

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