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 HgCdTe光伏器件多层钝化膜等离子体处理的研究

储开慧 乔辉 汤英文 陈江峰 胡亚春 贾嘉 李向阳 龚海梅

[摘要]在HgCdTe光伏探测器件SiO2+ZnS复合介质膜钝化中,引入O+2清洗和Ar+刻蚀两种等离子体处理工艺,大大提高薄膜附着力,成功制备出优良的光伏器件.对处理前后的样品进行场发射扫描电子显微镜扫描、原子力显微镜扫描和二次离...

 PDF全文光学仪器 | 2006, 28(04):56-59

 GaN紫外探测器的Ti/Al接触的电学特性

李雪 亢勇 陈江峰 靳秀芳 李向阳 龚海梅 方家熊

[摘要]在非故意掺杂的和掺Si的GaN薄膜上蒸镀Ti(24 nm)/Al(nm)薄膜,氮气环境下400~800℃范围内进行退火.实验结果表明,在非故意掺杂的样品上,随退火温度的升高,肖特基势垒高度下降,理想因子升高,表面状况逐渐变差,600℃退火...

 PDF全文红外与激光工程 | 2004, 33(06):662-665

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