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 光谱共焦位移传感器线性色散物镜设计

马敬 齐月静 卢增雄 苏佳妮 杨光华 齐威 张清洋 陈进新

[摘要]根据光谱共焦位移传感器的工作原理及线性轴向色散条件,选择3种色散物镜用玻璃材料N-KZFS11、N-SF66和N-PK52A,并结合像差理论设计了由3个单透镜和2个双胶合透镜组合成的线性色散物镜初始结构。利用Zemax光学设计软件对...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(07):0704009

 极紫外光刻动态气体锁抑制率的仿真研究

陈进新 王宇 谢婉露

[摘要]以清洁气体种类和流量以及污染气体放气率为变量, 进行了单组分清洁气体的动态气体锁(DGL)流场仿真, 并以混合清洁气体的体积比为变量进行了多组分清洁气体DGL流场仿真。仿真结果表明, DGL抑制率随清洁气体流量和分子量...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(02):023401

 极紫外光刻动态气体锁抑制率的实验研究

陈进新 王 宇 谢婉露

[摘要]开展了动态气体锁抑制率的实验研究,设计了一套极紫外真空动态气体锁实验验证系统;进行了真空抽气系统的详细设计,形成了具有实际可操作性的真空系统的最终布局;指出了该实验验证系统的验证方法;进行了动态气体锁...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(02):0222002

 极紫外光刻动态气体锁抑制率的理论研究

陈进新 王宇 谢婉露

[摘要]从理论上系统性地研究了动态气体锁抑制率,提出了动态气体锁理论分析模型。通过理论分析推导出单组分和多组分清洁气体在等截面或者变截面条件下的动态气体锁抑制率解析表达式,并对单组分清洁气体在等截面和变截面条...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2016, 53(05):053401

 极紫外辐照损伤测试系统光学仿真研究

陈进新 吴晓斌 王宇

[摘要]为了科学地筛选极紫外光刻机所用的材料和工艺,需要建立极紫外辐照损伤测试系统、开展真空极紫外辐照下各种材料的损伤实验。极紫外辐照损伤测试系统主要包括极紫外光源、收集镜腔室和样品腔室。对极紫外辐照损伤测试...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2015, 52(06):062201

 ArF准分子激光光源电极系统设计及电场仿真研究

陈进新 徐向宇 王宇

[摘要]电极系统是ArF准分子激光光源的核心部件。首先通过对ArF准分子激光光源电极系统的初步设计,得到合适的放电区尺寸,提供了电极和预电离电极电压的加载方式,从而形成由阴极、阳极、预电离电极、陶瓷件和工作气体五部...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2014, 51(01):011402

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