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 高Q值表面等离子体传感器研究

孙青云 朱亦鸣 陈麟

[摘要]设计了高Q值表面等离子体传感器,传感器芯片的基底为200 μm厚的石英材料,上层为复合结构金属层。为保证高效传输,它的等离子体波导由共面波导结构(coplanar waveguide,CPW)过渡引出,经由表面等离子体传输线传输至谐振...

 PDF全文光学仪器 | 2017, 39(06):51

 硅基周期槽结构的刻蚀工艺研究

魏玉明 陈长英 陈 麟

[摘要]针对微电子机械系统(MEMS)湿法槽刻蚀技术,基于硅材料各向异性腐蚀特性研究了硅基周期槽的湿法刻蚀工艺,得出了优化的光刻参数。通过对比实验详细分析了搅拌在腐蚀过程中起到的重要作用,实验结果显示,搅拌可以增加腐蚀...

 PDF全文光学仪器 | 2016, 38(03):272

 电化学制备多孔硅的工艺对其形貌的影响

单燕 徐伯庆 陈麟

[摘要]采用电化学腐蚀方法, 将不同比例的乙醇和质量分数为40%的氢氟酸混合, 并以此混合液为腐蚀液, 在光照条件下, 制备了N型轻掺杂的多孔硅。讨论了不同电化学腐蚀条件对多孔硅结构的影响。研究表明, 电流密度、腐蚀时间和...

 PDF全文光学仪器 | 2015, 37(01):9

 太赫兹波的古依相移研究

彭滟 周云燕 陈麟

[摘要]为了测量太赫兹波聚焦点附近不同位置的太赫兹时域信号图对飞秒脉冲强激光在空气中进行聚焦,在形成空气等离子体细丝通道的同时辐射出锥型太赫兹波,并用离轴抛物面金镜收集和聚焦太赫兹波。利用电光采样系统来探测太赫...

 PDF全文光学仪器 | 2014, 36(06):489

 基于平行板波导的双槽谐振腔的特性研究

朱亦鸣 高春梅 陈麟

[摘要]为使在太赫兹横电波模式下基于平行板波导的对称的双矩形谐振腔结构在滤波、传感等方面有更好的应用,在理论上使用有限元方法对该结构在太赫兹横电波模式下进行了理论上的模拟仿真,并使用时域太赫兹波谱系统在实验上对...

 PDF全文光学仪器 | 2014, 36(04):323-327

 铝质亚波长圆孔阵列与牛眼结构的太赫兹波传输特性

陈麟 高春梅 徐嘉明 谢乐 朱亦鸣

[摘要]使用太赫兹时域光谱系统(THz-TDS)对基于超常光学透射现象的铝质亚波长圆孔阵列和牛眼结构进行了实验研究。实验中,使用包含0.1~2.7 THz的入射脉冲,观察到了明显的滤波效应,且滤波峰的中心频率恰好为两种结构所设计的...

 PDF全文光学仪器 | 2013, 35(06):1-6

 太赫兹时域光谱法测定高电子迁移率晶体管的截止工作频率

谢乐 卞金鑫 李洪 杜少卿 陈麟 彭滟 张海英 徐静波 郭天义 付晓君 杨浩 朱亦鸣

[摘要]随着高速半导体器件的发展,高电子迁移率晶体管(HEMT)的工作频率已经达到亚太赫兹波段,所以无法简单地通过传统电学方法进行检测。鉴于此,必须采用超快光学方法测定HEMT器件的截止工作频率。利用持续时间更短的飞...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2012, 49(04):043003

 不同周期数牛眼结构对基于伪表面等离子激发的太赫兹透射的影响

高春梅 陈麟 谢乐 彭滟 陈克坚 蔡斌 朱亦鸣

[摘要]为研究不同周期数的牛眼结构对太赫兹透射的影响, 本文利用微机械加工方法, 在铝板上分别制作5个圆环凹槽和15个圆环凹槽两种牛眼结构, 并利用时域太赫兹波谱系统, 对比了这两种不同周期数的牛眼结构的太赫兹时域信号和...

 PDF全文光子学报 | 2012, 41(10):1156-1160

 飞秒激光脉冲能量对SF6气体环境下硅表面尖峰结构形成的影响

温雅 彭滟 张冬生 陈宏彦 陈麟 朱亦鸣

[摘要]介绍了在SF6气体环境下由不同脉冲能量的飞秒激光在硅表面蚀刻出的尖峰结构的变化。其中,硅表面形成的尖峰高度先是随脉冲能量的升高而增加,然而当脉冲能量增加到一定程度时,脉冲能量的继续升高却会导致尖峰高度的降...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(04):0406001

 飞秒激光功率与脉冲数的比例关系对制备硅表面微结构的影响

彭滟 温雅 张冬生 陈宏彦 罗士达 陈麟 徐公杰 朱亦鸣

[摘要]通过使用两种不同波长的飞秒激光脉冲分别与硅材料相互作用,证明了在相同的激光通量下,激光功率和脉冲数之间的比例将对硅表面微结构的形成起决定性作用。在飞秒激光与硅表面相互作用的过程中,脉冲数表征激光与样品...

 PDF全文中国激光 | 2011, 38(12):1203005

 砷化镓内电子谷间散射引起的增益

倪争技 陈麟 王淑玲 张大伟 何波涌 朱亦鸣

[摘要]运用时域太赫兹波谱法,低温(10 K)高电场下本征砷化镓中受飞秒激光脉冲激发的电子所辐射出的太赫兹波被准确地测量出来。从样品中辐射出的和电子加速度/减速度成正比的太赫兹电磁波,表现出双极特性。通过分析砷化镓中辐...

 PDF全文中国激光 | 2010, 37(03):658-662

 对称金属包覆结构中反射光干涉效应的研究

陈麟 彭滟 袁明辉 朱亦鸣

[摘要]提出了一种可同时达到高对比度和高反射率的对称金属包覆结构。由于导波层的厚度是亚毫米量级,使该结构可容纳一系列共振模。利用四层波导菲涅耳公式,详细分析了耦合金属层的厚度对耦合效率的影响,给出了反射光达到...

 PDF全文中国激光 | 2010, 37(12):3145-3149

 导模共振滤光片表面镀膜对其物理特性的影响

张大伟 袁丽萌 黄元申 倪争技 陈麟 朱亦鸣 庄松林

[摘要]为了研究亚波长光栅表面上薄膜的生长特性,以及镀膜对亚波长光栅物理特性的影响,对亚波长正弦槽形光栅表面上镀的Au膜进行了实验研究和理论分析。实验发现,当光栅槽深为80 nm,Au膜为100 nm时,薄膜的生长是仿形生长,光栅...

 PDF全文中国激光 | 2009, 36(11):3060-3063

 锥形透镜光纤聚焦特性研究

刘旭 陈麟 蔡纯 肖金标 张明德 孙小菡

[摘要]锥形透镜光纤(TLF)是实现光纤与平面光波光路(PLC)芯片高效耦合的核心元件。了解和掌握其聚焦特性是指导平面光波光路尾纤封装技术的关键。给出了表征锥形透镜光纤聚焦特性的两个参量出射光斑直径和远场发散角的理论分...

 PDF全文光学学报 | 2006, 26(08):1182-1186

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