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   将选定结果: 

 不同功率下激光重熔对Mg-Zn-Y-Zr合金性能的影响研究

刘月洋 高士友 周英才 刘迪 韦亚南

[摘要]由于镁合金耐磨及硬度性能较差,应用激光重熔技术进行表面改性就显得尤为必要,其中激光功率因素所产生的影响十分显著。为了探究激光重熔中功率因素对稀土镁合金的微观组织结构,硬度以及摩擦磨损性能的影响。通过使用3...

 PDF全文光学学报 | 2020, 40(06):0614002

 基于光刻胶三维形貌的光刻多参数联合优化方法

茅言杰 李思坤 王向朝 韦亚一 陈国栋

[摘要]多参数联合优化是光刻分辨率增强技术的发展方向。提出了一种以光刻胶三维形貌差异为评价目标的光刻多参数联合优化方法。以多个深度位置的光刻胶图形误差为目标函数,对光源、掩模、投影物镜波前、离焦量和曝光剂量进行...

 PDF全文光学学报 | 2020, 40(04):0422002

 基于衍射谱分析的全芯片光源掩模联合优化关键图形筛选

廖陆峰 李思坤 王向朝 张利斌 张双 高澎铮 韦亚一 施伟杰

[摘要]提出了一种全芯片光源掩模联合优化的关键图形筛选方法,用图形的主要频率表征图形的特征,用主要频率的位置和轮廓信息描述主要频率在频域上的分布特征。设计了相应的主要频率提取方法、覆盖规则、聚类方法以及关键图形...

 PDF全文光学学报 | 2020, 40(21):2122001

 光学系统像差对极紫外光刻成像特征尺寸的影响

明瑞锋 韦亚一 董立松

[摘要]13.5 nm波长极紫外(EUV)光刻机的分辨率虽然很高,但因波长的减小使其对像差的容忍度降低,有必要研究像差对EUV光刻成像的影响。针对四类典型像差的波前特征,选取对像差最敏感的四种测试图形,研究像差对光刻成像特征尺寸...

 PDF全文光学学报 | 2019, 39(12):1222001

 基于差分进化算法的光刻机匹配方法

茅言杰 李思坤 王向朝 韦亚一

[摘要]提出一种基于差分进化算法和微反射镜阵列(MMA)光源模型的光刻机匹配方法。加入MMA光源模型,利用差分进化算法优化微反射镜光斑分布,以实现光刻机匹配。与通常用于自由照明系统的光刻机匹配方法相比,本方法能直接优化M...

 PDF全文光学学报 | 2019, 39(12):1222002

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