首页 > 论文 > 标签

Hi,您目前在 全部期刊 '颜丽华', 共找到 1个内容。

   将选定结果: 

 利用数字光刻系统制作铬掩模的工艺

颜丽华 徐冉冉 龚勇清

[摘要]提出一种利用基于数字微反射镜装置(DMD)的数字光刻系统制作掩模版的方法。通过制图软件制作出二元光栅、菲涅耳波带片等衍射光学元件的掩模图,将这些图形导入数字光刻机,利用DMD系统的空间光调制特性,经精缩投影曝...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2010, 47(12):120501

首页上一页1下一页尾页