首页 > 论文 > 标签

Hi,您目前在 全部期刊 '颜平', 共找到 5个内容。

   将选定结果: 

 基于准分子激光器的压电陶瓷微结构加工

李以贵 蔡金东 黄远 吕曈 颜平 王欢

[摘要]利用波长为248 nm的氟化氪(KrF)准分子激光器加工了掺镧锆钛酸铅压电陶瓷(PZT)、硅(Si)和聚二甲基硅氧烷(PDMS), 研究了准分子激光对这3种材料的加工效果。为了解决传统切割工艺加工PZT膜片时易发生破裂的问题, 研究了...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(09):091403

 基于X光移动光刻技术的PMMA微透镜阵列制备

李以贵 颜平 黄远 杉山进

[摘要]微透镜阵列的制备已经成为微光学领域的研究热点。利用两次X光移动光刻技术, 以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为正光刻胶, 在PMMA基板上制造了微透镜阵列, 并对其制作原理进行了详细说明。设计了制备微透镜阵列用的掩膜图形,...

 PDF全文红外与激光工程 | 2016, 45(06):0620001

 共晶键合与减薄技术的压电能量采集器

李以贵 颜 平 黄 远 杉山进

[摘要]采用微硅-锆钛酸铅(Si-PZT)悬臂梁结构并在悬臂梁末端附加镍质量块, 构成可以工作于低频环境(小于1 000 Hz)的微压电能量采集器, 一种利用压电效应将环境振动能转换为电能的器件。利用金薄膜作为中间层的共晶键合技...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2016, 28(06):064112

 利用体块PZT制备膜片式压电微泵

李以贵 黄 远 颜 平 王 欢 杉山进

[摘要]利用锆钛酸铅(PZT)的逆压电效应, 设计并制备了膜片式压电微泵。 通过将电能转换为机械能, 实现了液体的微流体控制。微泵由微驱动器与单向微阀两部分组成; 微驱动器主要为液体流动提供驱动力, 单向微阀则用于精确控制...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(05):1072

 大功率体光栅外腔半导体激光器的输出特性

薄报学 高欣 乔忠良 王玉霞 卢鹏 李辉么 颜平 刘春玲 黄波 曲轶

[摘要]宽条形大功率半导体激光器(LD)存在光谱温漂系数大、光谱宽度宽的缺点,为了改善宽条形大功率半导体激光器的光谱特性,采用一种体光栅(VBG)离轴外腔方法实现了宽条形大功率半导体激光器光谱特性的明显改善和高效率工作。...

 PDF全文中国激光 | 2008, 35(04):501-504

首页上一页1下一页尾页