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 基于飞秒激光的可运动微结构加工与旋转驱动

袁宏伟 饶生龙 吴 东 李家文 胡衍雷

[摘要]微驱动技术由于驱动方式的多样性和应用的广泛性, 在近年来受到了越来越多的关注。本文提出一种利用飞秒激光同时实现微结构加工和旋转驱动的技术。利用双光子聚合加工直径20~30 μm的微转子结构, 然后结合空间光调制...

 PDF全文光学 精密工程 | 2020, 28(03):584

 基于飞秒激光的可运动微结构加工与旋转驱动

袁宏伟 饶生龙 吴 东 李家文 胡衍雷

[摘要]微驱动技术由于驱动方式的多样性和应用的广泛性, 在近年来受到了越来越多的关注。本文提出一种利用飞秒激光同时实现微结构加工和旋转驱动的技术。利用双光子聚合加工直径20~30 μm的微转子结构, 然后结合空间光调制...

 PDF全文光学 精密工程 | 2020, 28( 第3):584

 基于空间光调制器的能量可控飞秒激光加工

饶生龙 吴培超 张晨初 胡衍雷 杨亮 劳召欣 吴东

[摘要]针对飞秒激光微纳加工技术中激光与加工样品相对运动的控制、聚焦光斑能量的控制中存在的问题, 提出一种基于硅基液晶空间光调制器动态加载计算全息图同时控制焦点位置和能量的新型加工方法。该方法通过加载叠加闪耀光...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(01):0102008

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