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   将选定结果: 

 基于衍射谱分析的全芯片光源掩模联合优化关键图形筛选

廖陆峰 李思坤 王向朝 张利斌 张双 高澎铮 韦亚一 施伟杰

[摘要]提出了一种全芯片光源掩模联合优化的关键图形筛选方法,用图形的主要频率表征图形的特征,用主要频率的位置和轮廓信息描述主要频率在频域上的分布特征。设计了相应的主要频率提取方法、覆盖规则、聚类方法以及关键图形...

 PDF全文光学学报 | 2020, 40(21):2122001

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