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 短波红外InGaAs焦平面探测器研究进展

李 雪 邵秀梅 李 淘 程吉凤 黄张成 黄松垒 杨 波 顾 溢 马英杰 龚海梅 方家熊

[摘要]短波红外InGaAs 焦平面探测器具有探测率高、均匀性好等优点, 在航天遥感、微光夜视、医疗诊断等领域具有广泛应用。近十年来, 中国科学院上海技术物理研究所围绕高灵敏度常规波长(0.9~1.7 μm)InGaAs焦平面、延伸波长...

 PDF全文红外与激光工程 | 2020, 49(01):0103006

 集成双热电致冷器超长线列InGaAs组件封装技术

徐勤飞 刘大福 徐 琳 张晶琳 曾智江 范 崔 李 雪 龚海梅

[摘要]为了实现大视场、高空间分辨率、高光谱分辨率的指标要求, 通常采用多模块拼接的技术方案, 实现超长线列的组件。通过两个热电致冷器的拼接实现120 mm长度的大冷面, 通过多个模块拼接实现4 000元长线列InGaAs短波红外探...

 PDF全文红外与激光工程 | 2019, 48(11):1104005

 超高增益低噪声红外焦平面读出电路研究

景松 杨波 黄张成 龚海梅 高海军

[摘要]高增益探测对 InGaAs焦平面探测器在微光夜视条件下成像有重要意义。设计了一款 InGaAs焦平面用的高增益低噪声 64×64元读出电路。读出电路输入级采用 CTIA模式(电容负反馈放大),通过计算发现输入级运算放大器...

 PDF全文红外技术 | 2019, 41(12):1117

 制冷焦平面探测器组件冷平台材料研究进展

余利泉 莫德锋 王镇 龚海梅

[摘要]红外焦平面探测器在航空、航天、军事等多个领域具有广泛应用。我国亟需发展大面阵、轻量化和高可靠性的红外焦平面探测器及其杜瓦组件。介绍了国内外红外探测器组件的冷平台材料选用情况,包括Fe-Ni膨胀合金、低膨胀高...

 PDF全文红外 | 2019, 40(04):1

 短波红外InGaAs焦平面噪声特性

于春蕾 李雪 邵秀梅 黄松垒 龚海梅

[摘要]为研究铟镓砷焦平面的噪声特性,设计了两种不同吸收层掺杂浓度的InGaAs外延材料,采用标准工艺制备了平面型160×128元光敏芯片,并与相同结构的读出电路倒焊耦合形成160×128元焦平面,采用改变积分时间和改...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2019, 38(04):528

 正照射延伸波长In0.8Ga0.2As红外焦平面探测器

邓洪海 杨 波 邵海宝 王志亮 黄 静 李 雪 龚海梅

[摘要]为了研究延伸波长In0.8Ga0.2As PIN 短波红外探测器的温度响应光电特性, 采用闭管扩散的平面型器件工艺, 在金属有机化学气相外延(MOCVD)外延生长的NIN型InAs0.6P0.4/In0.8Ga0.2As/ InAs0.6P0.4 buf./InP材料上制备了正...

 PDF全文红外与激光工程 | 2018, 47(05):0504004

 InGaAs探测器的盲元分析及P电极优化

邓洪海 杨波 夏辉 邵海宝 王强 王志亮 朱友华 黄静 李雪 邵秀梅 龚海梅

[摘要]采用扫描电容显微镜分析了平面型PIN In0.52Al0.48As/In0.53Ga0.47As/ In0.52Al0.48As短波红外探测器盲元产生的原因, 利用半导体器件仿真工具Sentaurus TCAD对探测器中的盲元特性进行了模拟, 并利用制备的Au/P-In0.52...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(03):0304001

 超长线列双波段红外焦平面探测器杜瓦封装技术研究

李 俊 王小坤 孙 闻 林加木 曾智江 沈一璋 范广宇 丁瑞军 龚海梅

[摘要]针对拼接型短/中波的超长线列焦平面探测器与直线脉管集成耦合的要求,分析了超长线列焦平面杜瓦封装的难点。通过对超长冷平台的温度均匀性、超长冷平台支撑结构、大体积组件杜瓦低热负载、超长线列杜瓦真空寿命等封装...

 PDF全文红外与激光工程 | 2018, 47(11):1104003

 增强短波红外InGaAs探测器透过率的纳米光天线研究

姚鹏飞 李淘 李雪 邵秀梅 龚海梅

[摘要]过去几十年中, 短波红外 InGaAs探测器被广泛用于近红外探测系统中, 通过将 InGaAs光电探测器与纳米光天线结合可以增强光吸收并提高量子效率。然而, 这种纳米光天线往往由聚焦离子束或电子束光刻制备而成, 制备成本较...

 PDF全文红外技术 | 2018, 40(09):843

 中心距10 μm截止波长2.6 μm的延伸波长InGaAs焦平面探测器

何玮 李平 邵秀梅 曹高奇 于一榛 张亚光 邓双燕 杨波 李雪 李淘 龚海梅

[摘要]采用ICP(inductively coupled plasma etching)刻蚀与湿法腐蚀相结合的方式, 研制了像元中心距为10 μm、截止波长2.6 μm的p-i-n型10 × 10元延伸波长InGaAs探测器.不同温度下的电流—电压特性研究和激活能分析, ...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2018, 37(06):649

 双波段芯片集成封装组件的低温光谱定量化

徐勤飞 刘大福 龚海梅 吴家荣 蒋梦蝶 张亚妮 季 鹏 王 仍 张 麟

[摘要]在同一组件中多芯片多波段的应用中, 由于芯片的中心距越来越小, 导致某些相邻波段通常被集成制备到一个芯片上。为减小波段串扰, 本文针对一体化双波段芯片集成封装组件的低温光谱定量化展开研究, 通过制备一体化双波...

 PDF全文中国光学 | 2017, 10(06):744

 不同退火处理的台面型In0.83Ga0.17As pin光电二极管暗电流分析

李 平 李 淘 邓双燕 李 雪 邵秀梅 唐恒敬 龚海梅

[摘要]为了研究延伸波长In0.83Ga0.17As pin光电二极管的暗电流机制。采用两种不同工艺制备了台面型延伸波长In0.83Ga0.17As pin光电二极管。第一种工艺(M135L-5)是: 台面刻蚀后进行快速热退火(RTA)。第二种工艺(M135L-3)是:...

 PDF全文红外与激光工程 | 2016, 45(05):0520002

 红外焦平面低温形变测试方法及其误差分析

张海燕 管建安 庄馥隆 汪 洋 陈安森 龚海梅

[摘要]在研制制冷型红外探测器组件的过程中, 降低功能模块的热应力是设计及制造的核心目标之一, 这要求首先能够对焦平面模块的热应力进行测量表征, 工程上一般通过形变等间接量来表征碲镉汞的热应力。基于此研究了激光干涉...

 PDF全文红外与激光工程 | 2016, 45(05):0504001

 不同结构红外光导探测器组件光串分析

汪洋 刘大福 徐勤飞 王妮丽 李雪 龚海梅

[摘要]红外探测器组件作为目标探测和成像系统的核心器件, 其空间分辨能力直接影响着探测系统的成像质量。评估探测器组件空间分辨能力时, 常使用调制传递函数(MTF), 而探测器组件光学串音是影响探测器组件MTF的主要因素。介...

 PDF全文红外与激光工程 | 2016, 45(04):0404001

 高性能短波红外 InGaAs焦平面探测器研究进展

邵秀梅 龚海梅 李雪 方家熊 唐恒敬 李淘 黄松垒 黄张成

[摘要]中科院上海技物所近十年来开展了高性能短波红外InGaAs 焦平面探测器的研究。0.9~1.7 ?m近红外InGaAs 焦平面探测器已实现了256×1、512×1、1024×1 等多种线列规格,以及320×256、640×512、4...

 PDF全文红外技术 | 2016, 38(08):629

 红外探测器组件的光串测试及模拟

汪洋 刘大福 徐勤飞 王妮丽 李雪 龚海梅

[摘要]红外探测器组件作为目标探测和成像系统的核心器件,其空间分辨能力直接影响着探测系统的成像质量。评估探测器组件空间分辨能力时,常使用调制传递函数(MTF),而探测器组件的光学串音是影响MTF 的主要因素。介绍了一套...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(04):0404001

 低维半导体异质结构光电探测材料及器件验证

王文娟 李雪 陆卫 龚海梅 朱海军 丁瑞军 韩勤 王涛

[摘要]面向国家“战略性先进电子材料”的发展目标, 以国家重大战略需求, 如全球气候观测、农林普查、国土资源探测、环境监测、深空探测和天文观测等领域的技术发展中面临的光探测器瓶颈问题为突破口, 瞄准半导体材料及其光...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2016, 35(06):766

 含有超晶格电子势垒的In0.83Ga0.17As探测器暗电流仿真和验证

李庆法 李雪 唐恒敬 邓双燕 曹高奇 邵秀梅 龚海梅

[摘要]为了获得 In0.83Ga0.17As 探测器的暗电流机制, 采用了 TCAD 软件对吸收层中含有和不含有超晶格电子势垒的p-i-n结构探测器暗电流特性进行仿真,并开展了器件验证.结果表明, 超晶格势垒可以调整器件的能带结构, 改变载流...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2016, 35(06):662

 不同结构长波红外探测器组件的MTF分析

汪洋 刘大福 徐勤飞 王妮丽 李雪 龚海梅

[摘要]红外探测器组件作为目标探测和成像系统的核心器件,其空间分辨能力直接影响着探测系统的成像质量.评估探测器组件空间分辨能力时,常使用调制传递函数(MTF),而不同的探测器组件结构与其 MTF直接相关.介绍了一套弥散斑...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2016, 35(03):294

 中波碲镉汞光伏探测器的实时gamma 辐照效应

乔辉 李淘 龚海梅 李向阳

[摘要]对中波碲镉汞光伏探测器进行了实时gamma 辐照效应研究.通过在辐照过程中对器件的电流—电压特性曲线进行测试,得到了器件电学性能随着gamma辐照剂量的变化.研究发现器件在辐照过程中表现出两种典型的辐照效应: 电离效...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2016, 35(02):129

 n-on-p结构深台面延伸波长InGaAs探测器的ICPCVD钝化工艺

石 铭 邵秀梅 唐恒敬 李 淘 黄 星 曹高奇 王 瑞 李 平 李 雪 龚海梅

[摘要]采用ICP刻蚀(inductively coupled plasma etching)工艺制备了深台面n-on-p结构的可响应到2.4 μm的延伸波长8×1元线列InGaAs探测器.器件表面采用ICP源激发的N2等离子体进行处理,然后再使用ICPCVD(inductively co...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2016, 35(01):47

 红外组件可靠性试验的自动保护系统设计

曹岚 龚海梅

[摘要]针对红外组件可靠性试验环境的自动控制及失效保护要求,设计了一种自动化试验环境监控系统。系统采用可编程逻辑控制器(PLC)为控制核心,通过Profibus-DP总线通信对整个监控系统进行高速集中控制,实时监测现场设备状...

 PDF全文红外与激光工程 | 2015, 44(0S):0013

 超长线列红外焦平面杜瓦冷链设计

范广宇 范 崔 李 俊 龚海梅

[摘要]针对采用直线脉管制冷的超长线列红外焦平面器件杜瓦封装的需求,提出了一种弹性冷链的设计方案。介绍了超长线列焦平面器件及直线脉管制冷机的特点以及对冷链的力学、热学要求,针对超长线列焦平面杜瓦冷链的设计思路...

 PDF全文红外与激光工程 | 2015, 44(07):2021

 红外探测器寿命试验自动化真空系统设计

曹 岚 邓若汉 龚海梅

[摘要]针对目前红外组件寿命试验过程中测试参数时必须更换真空腔的问题,设计了一种用于红外组件寿命试验的自动化、多工位真空系统。提出了以杜瓦为试验中心的总体方案,实现寿命试验过程中原位参数测试。通过真空理论计算...

 PDF全文红外与激光工程 | 2015, 44(06):1712

 短波红外In0.53Ga0.47As探测器的实时γ辐照研究

黄星 李雪 李淘 唐恒敬 邵秀梅 龚海梅

[摘要]空间应用短波红外InGaAs探测器的性能不断提高,对辐照损伤越来越敏感。通过实时测试的方法,研究了不同剂量和不同剂量率的γ辐照对晶格匹配In0.53Ga0..47As探测器电流-电压特性的影响。发现在反向偏压下,辐照在器件...

 PDF全文半导体光电 | 2015, 36(06):901

 一种在线测量杜瓦冷损的数值方法

张海燕 管建安 汪洋 陈安森 龚海梅

[摘要]提出了一种在线测量杜瓦辐射漏热、传导漏热及总漏热的数值方法。该方法利用了杜瓦冷头温度变化与辐射漏热、传导漏热之间的函数关系,通过对冷头的温度变化曲线进行数值拟合,逆向导出冷损的表达式。在不破坏原有杜瓦...

 PDF全文半导体光电 | 2015, 36(06):909

 Correction of response spectra of quantum type photodetectors measured by FTIR

张永刚 周立 顾溢 马英杰 陈星佑 邵秀梅 龚海梅 方家熊

[摘要]针对采用FTIR方法测量量子型光电探测器的光电流谱并据此校正获得器件的实际响应光谱问题,提出了两种简便可行的校正方案,即计算仪器函数校正方案和标准探测器传递校正方案;对其可行性、限制因素及注意事项进行了详...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2015, 34(06):0737

 异质结InP/InGaAs探测器欧姆接触温度特性研究

曹高奇 唐恒敬 李淘 邵秀梅 李雪 龚海梅

[摘要]为了研究异质结InP/InGaAs探测器帽层的欧姆接触特性,采用Au/p-InP传输线模型(TLM),对比不同退火温度下的接触特性,在480℃、30 s的退火条件下实现室温比接触电阻为3.84×10-4Ω·cm2,同时,对欧姆接触的温...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2015, 34(06):0721

 可见增强的32×32元平面型InGaAs/In面阵探测器

杨 波 邵秀梅 唐恒敬 邓洪海 李 雪 魏 鹏 王云姬 李 淘 龚海梅

[摘要]为了实现InGaAs探测器响应波段向可见增强, 在传统的外延材料中加入一层InGaAs腐蚀阻挡层, 制备了32×32元平面型InGaAs面阵探测器, 采用机械抛光和化学湿法腐蚀相结合的方法, 去除了InP衬底.结果表明, 探测器的响...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2015, 34(03):286

 红外光导探测器组件的串音研究

汪洋 刘大福 徐勤飞 范广宇 龚海梅

[摘要]作为目标探测与成像系统的核心器件,红外探测器组件的空间分辨能力 会直接影响探测系统的成像质量。通常使用调制传递函数(Modulation Transfer Function, MTF)对该能力进行评估。 而探测器组件的电学串音和光学串音则...

 PDF全文红外 | 2014, 35(07):16-20

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