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 InGaAs探测器的盲元分析及P电极优化

邓洪海 杨波 夏辉 邵海宝 王强 王志亮 朱友华 黄静 李雪 邵秀梅 龚海梅

[摘要]采用扫描电容显微镜分析了平面型PIN In0.52Al0.48As/In0.53Ga0.47As/ In0.52Al0.48As短波红外探测器盲元产生的原因, 利用半导体器件仿真工具Sentaurus TCAD对探测器中的盲元特性进行了模拟, 并利用制备的Au/P-In0.52...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(03):0304001

 双波段芯片集成封装组件的低温光谱定量化

徐勤飞 刘大福 龚海梅 吴家荣 蒋梦蝶 张亚妮 季 鹏 王 仍 张 麟

[摘要]在同一组件中多芯片多波段的应用中, 由于芯片的中心距越来越小, 导致某些相邻波段通常被集成制备到一个芯片上。为减小波段串扰, 本文针对一体化双波段芯片集成封装组件的低温光谱定量化展开研究, 通过制备一体化双波...

 PDF全文中国光学 | 2017, 10(06):744

 不同退火处理的台面型In0.83Ga0.17As pin光电二极管暗电流分析

李 平 李 淘 邓双燕 李 雪 邵秀梅 唐恒敬 龚海梅

[摘要]为了研究延伸波长In0.83Ga0.17As pin光电二极管的暗电流机制。采用两种不同工艺制备了台面型延伸波长In0.83Ga0.17As pin光电二极管。第一种工艺(M135L-5)是: 台面刻蚀后进行快速热退火(RTA)。第二种工艺(M135L-3)是:...

 PDF全文红外与激光工程 | 2016, 45(05):0520002

 红外焦平面低温形变测试方法及其误差分析

张海燕 管建安 庄馥隆 汪 洋 陈安森 龚海梅

[摘要]在研制制冷型红外探测器组件的过程中, 降低功能模块的热应力是设计及制造的核心目标之一, 这要求首先能够对焦平面模块的热应力进行测量表征, 工程上一般通过形变等间接量来表征碲镉汞的热应力。基于此研究了激光干涉...

 PDF全文红外与激光工程 | 2016, 45(05):0504001

 不同结构红外光导探测器组件光串分析

汪洋 刘大福 徐勤飞 王妮丽 李雪 龚海梅

[摘要]红外探测器组件作为目标探测和成像系统的核心器件, 其空间分辨能力直接影响着探测系统的成像质量。评估探测器组件空间分辨能力时, 常使用调制传递函数(MTF), 而探测器组件光学串音是影响探测器组件MTF的主要因素。介...

 PDF全文红外与激光工程 | 2016, 45(04):0404001

 高性能短波红外 InGaAs焦平面探测器研究进展

邵秀梅 龚海梅 李雪 方家熊 唐恒敬 李淘 黄松垒 黄张成

[摘要]中科院上海技物所近十年来开展了高性能短波红外InGaAs 焦平面探测器的研究。0.9~1.7 ?m近红外InGaAs 焦平面探测器已实现了256×1、512×1、1024×1 等多种线列规格,以及320×256、640×512、4...

 PDF全文红外技术 | 2016, 38(08):629

 红外探测器组件的光串测试及模拟

汪洋 刘大福 徐勤飞 王妮丽 李雪 龚海梅

[摘要]红外探测器组件作为目标探测和成像系统的核心器件,其空间分辨能力直接影响着探测系统的成像质量。评估探测器组件空间分辨能力时,常使用调制传递函数(MTF),而探测器组件的光学串音是影响MTF 的主要因素。介绍了一套...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(04):0404001

 低维半导体异质结构光电探测材料及器件验证

王文娟 李雪 陆卫 龚海梅 朱海军 丁瑞军 韩勤 王涛

[摘要]面向国家“战略性先进电子材料”的发展目标, 以国家重大战略需求, 如全球气候观测、农林普查、国土资源探测、环境监测、深空探测和天文观测等领域的技术发展中面临的光探测器瓶颈问题为突破口, 瞄准半导体材料及其光...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2016, 35(06):766

 含有超晶格电子势垒的In0.83Ga0.17As探测器暗电流仿真和验证

李庆法 李雪 唐恒敬 邓双燕 曹高奇 邵秀梅 龚海梅

[摘要]为了获得 In0.83Ga0.17As 探测器的暗电流机制, 采用了 TCAD 软件对吸收层中含有和不含有超晶格电子势垒的p-i-n结构探测器暗电流特性进行仿真,并开展了器件验证.结果表明, 超晶格势垒可以调整器件的能带结构, 改变载流...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2016, 35(06):662

 不同结构长波红外探测器组件的MTF分析

汪洋 刘大福 徐勤飞 王妮丽 李雪 龚海梅

[摘要]红外探测器组件作为目标探测和成像系统的核心器件,其空间分辨能力直接影响着探测系统的成像质量.评估探测器组件空间分辨能力时,常使用调制传递函数(MTF),而不同的探测器组件结构与其 MTF直接相关.介绍了一套弥散斑...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2016, 35(03):294

 中波碲镉汞光伏探测器的实时gamma 辐照效应

乔辉 李淘 龚海梅 李向阳

[摘要]对中波碲镉汞光伏探测器进行了实时gamma 辐照效应研究.通过在辐照过程中对器件的电流—电压特性曲线进行测试,得到了器件电学性能随着gamma辐照剂量的变化.研究发现器件在辐照过程中表现出两种典型的辐照效应: 电离效...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2016, 35(02):129

 n-on-p结构深台面延伸波长InGaAs探测器的ICPCVD钝化工艺

石 铭 邵秀梅 唐恒敬 李 淘 黄 星 曹高奇 王 瑞 李 平 李 雪 龚海梅

[摘要]采用ICP刻蚀(inductively coupled plasma etching)工艺制备了深台面n-on-p结构的可响应到2.4 μm的延伸波长8×1元线列InGaAs探测器.器件表面采用ICP源激发的N2等离子体进行处理,然后再使用ICPCVD(inductively co...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2016, 35(01):47

 红外组件可靠性试验的自动保护系统设计

曹岚 龚海梅

[摘要]针对红外组件可靠性试验环境的自动控制及失效保护要求,设计了一种自动化试验环境监控系统。系统采用可编程逻辑控制器(PLC)为控制核心,通过Profibus-DP总线通信对整个监控系统进行高速集中控制,实时监测现场设备状...

 PDF全文红外与激光工程 | 2015, 44(0S):0013

 超长线列红外焦平面杜瓦冷链设计

范广宇 范 崔 李 俊 龚海梅

[摘要]针对采用直线脉管制冷的超长线列红外焦平面器件杜瓦封装的需求,提出了一种弹性冷链的设计方案。介绍了超长线列焦平面器件及直线脉管制冷机的特点以及对冷链的力学、热学要求,针对超长线列焦平面杜瓦冷链的设计思路...

 PDF全文红外与激光工程 | 2015, 44(07):2021

 红外探测器寿命试验自动化真空系统设计

曹 岚 邓若汉 龚海梅

[摘要]针对目前红外组件寿命试验过程中测试参数时必须更换真空腔的问题,设计了一种用于红外组件寿命试验的自动化、多工位真空系统。提出了以杜瓦为试验中心的总体方案,实现寿命试验过程中原位参数测试。通过真空理论计算...

 PDF全文红外与激光工程 | 2015, 44(06):1712

 短波红外In0.53Ga0.47As探测器的实时γ辐照研究

黄星 李雪 李淘 唐恒敬 邵秀梅 龚海梅

[摘要]空间应用短波红外InGaAs探测器的性能不断提高,对辐照损伤越来越敏感。通过实时测试的方法,研究了不同剂量和不同剂量率的γ辐照对晶格匹配In0.53Ga0..47As探测器电流-电压特性的影响。发现在反向偏压下,辐照在器件...

 PDF全文半导体光电 | 2015, 36(06):901

 一种在线测量杜瓦冷损的数值方法

张海燕 管建安 汪洋 陈安森 龚海梅

[摘要]提出了一种在线测量杜瓦辐射漏热、传导漏热及总漏热的数值方法。该方法利用了杜瓦冷头温度变化与辐射漏热、传导漏热之间的函数关系,通过对冷头的温度变化曲线进行数值拟合,逆向导出冷损的表达式。在不破坏原有杜瓦...

 PDF全文半导体光电 | 2015, 36(06):909

 Correction of response spectra of quantum type photodetectors measured by FTIR

张永刚 周立 顾溢 马英杰 陈星佑 邵秀梅 龚海梅 方家熊

[摘要]针对采用FTIR方法测量量子型光电探测器的光电流谱并据此校正获得器件的实际响应光谱问题,提出了两种简便可行的校正方案,即计算仪器函数校正方案和标准探测器传递校正方案;对其可行性、限制因素及注意事项进行了详...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2015, 34(06):0737

 异质结InP/InGaAs探测器欧姆接触温度特性研究

曹高奇 唐恒敬 李淘 邵秀梅 李雪 龚海梅

[摘要]为了研究异质结InP/InGaAs探测器帽层的欧姆接触特性,采用Au/p-InP传输线模型(TLM),对比不同退火温度下的接触特性,在480℃、30 s的退火条件下实现室温比接触电阻为3.84×10-4Ω·cm2,同时,对欧姆接触的温...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2015, 34(06):0721

 可见增强的32×32元平面型InGaAs/In面阵探测器

杨 波 邵秀梅 唐恒敬 邓洪海 李 雪 魏 鹏 王云姬 李 淘 龚海梅

[摘要]为了实现InGaAs探测器响应波段向可见增强, 在传统的外延材料中加入一层InGaAs腐蚀阻挡层, 制备了32×32元平面型InGaAs面阵探测器, 采用机械抛光和化学湿法腐蚀相结合的方法, 去除了InP衬底.结果表明, 探测器的响...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2015, 34(03):286

 红外光导探测器组件的串音研究

汪洋 刘大福 徐勤飞 范广宇 龚海梅

[摘要]作为目标探测与成像系统的核心器件,红外探测器组件的空间分辨能力 会直接影响探测系统的成像质量。通常使用调制传递函数(Modulation Transfer Function, MTF)对该能力进行评估。 而探测器组件的电学串音和光学串音则...

 PDF全文红外 | 2014, 35(07):16-20

 航天InGaAs短波红外探测器步进应力加速寿命试验研究

朱宪亮 张海燕 龚海梅

[摘要]随着航天应用InGaAs短波红外探测器的迅速发展, 其可靠性问题日益突出。选择温度为加速应力, 通过步进应力加速寿命试验方法对800×2双波段集成的InGaAs焦平面探测器进行了研究, 获得了InGaAs焦平面模块失效机理保...

 PDF全文半导体光电 | 2014, 35(06):1008

 不同扩散掩膜方式对InGaAs平面探测器性能影响研究

王云姬 唐恒敬 李雪 邵秀梅 杨波 邓双燕 龚海梅

[摘要]测量了不同扩散掩膜生长方式的截止波长为1.70μm的InGaAs平面探测器的电学性能.其中,SiNx薄膜作为扩散掩膜,分别采用等离子体化学气相沉积(PECVD)和低温诱导耦合等离子体化学气相沉积(ICP-CVD)生长.探测器焊接在杜瓦...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2014, 33(04):333-336

 背照射波长延伸InGaAs面阵焦平面探测器

魏鹏 黄松垒 李雪 邓洪海 朱耀明 张永刚 龚海梅

[摘要]在MBE外延生长的In0.8Al0.2As/In0.8Ga0.2As材料上,采用台面成型方法制备了背照射32×32元InGaAs探测器,其中心距为30 μm,并详细分析了探测器及其焦平面光电性能.结果表明,温度高于220 K时吸收层材料热激活能...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2013, 32(03):214-219

 InGaAs探测器片上集成滤光膜的微结构与性能

王云姬 唐恒敬 李雪 段微波 刘定权 龚海梅

[摘要]为了适应未来红外焦平面探测器系统小型化、集成化和高精度的发展要求,采用了热蒸发方法分别在InP衬底和InGaAs探测器上实现了中心波长为1.38 μm滤光膜的片上集成。利用偏光显微镜、原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(05):0507002

 基于N-on-P结构的背照射延伸波长640×1线列InGaAs探测器

朱耀明 李永富 李雪 唐恒敬 邵秀梅 陈郁 邓洪海 魏鹏 张永刚 龚海梅

[摘要]在N-on-P型In0.78Al0.22As/In0.78Ga0.22As外延材料上,采用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀技术制备了背照射640×1线列InGaAs探测器芯片,研究了探测器光电性能.结果表明,室温下单元器件响应截止波长和峰值波长分别为...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2012, 31(01):11-15

 InGaAs探测器偏振响应特性的实验研究

唐恒敬 李永富 李雪 龚海梅

[摘要]分析了光电探测器偏振响应产生的原因,定义了探测器偏振敏感度的公式,制备了测试用InGaAs探测器。为了测试器件的偏振敏感度,搭建了测试系统,并对器件的偏振敏感特性进行了测试。结果表明,测试系统具有较好的稳定...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2011, 48(04):040401

 1024×1元近红外InGaAs线列焦平面组件

李雪 龚海梅 唐恒敬 刘大福 邵秀梅 危峻 方家熊

[摘要]利用分子束外延方法生长的InP/InGaAs/InP双异质结材料,通过台面成型、有效钝化和欧姆接触电极制备等工艺,制作了512×1元的背照射InGaAs光敏芯片,光敏芯片响应波段为0.95~1.7 μm,平均峰值响应率约为0.97 A/W...

 PDF全文光学学报 | 2011, 31(s1):s100305

 近红外256×1元InGaAs焦平面探测器无效像元研究

李雪 邵秀梅 唐恒敬 汪洋 陈郁 龚海梅

[摘要]采用分子束外延方法生长的PIN型InP/InGaAs/InP双异质结材料制备了正照射256×1元近红外探测器,并与128×1奇偶两路读出电路互连,制备了近红外256×1元焦平面探测器.针对近红外InGaAs焦平面探测器中的无...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2011, 30(05):409-413

 AFM/SCM及LBIC技术在平面型保护环结构InGaAs探测器设计中的应用

李永富 唐恒敬 朱耀明 李淘 殷豪 李天信 李雪 龚海梅

[摘要]为研究保护环结构对平面型正照射式InP/InGaAs探测器光敏元扩大现象的抑制作用, 设计并研制了带有不同保护环-光敏元间距的InGaAs探测器.通过原子力显微镜(AFM)及扫描电容显微镜(SCM)获得了保护环与光敏元之间的实际距...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2010, 29(06):401-405

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