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 用吸收材料构造多层膜

Juan I. Larruquert Manuela Vidal-Dasilva Sergio García-Cortés Mónica Fernández-Perea José A. Méndez and José A. Aznárez

[摘要]某些材料对约50 nm以上的极紫外(EUV)波段的强吸收阻碍了高效率薄膜的研究和发展。本单位致力于开发在此波段具有更好性能的新型薄膜。对于在此波段吸收率适中的材料，如一些镧系元素，进行了大量研究。新开发了在50-9...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(s1):159