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 贫氧靶材直流溅射制备本征氧化锌薄膜及在铜铟镓硒太阳电池中的应用

杨重寅 万冬云 汪宙 黄富强

[摘要]本文创新性地通过改进的双坩埚方法制备了贫氧靶材,采用直流溅射的方法取代传统的射频溅射制备了本征氧化锌薄膜。该直流溅射方法所得到同等厚度的薄膜样品具有比广泛使用的射频溅射所得的薄膜更高的载流子迁移率,可...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2011, 9(10):103102

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