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 光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法

糜小涛 于海利 于宏柱 齐向东 李晓天 万秋华

[摘要]衍射波前质量是衡量刻划光栅性能的重要指标之一, 光栅刻划机若存在阿贝误差, 将直接影响刻线位置精度, 从而影响光栅的波前质量。建立了刻划机阿贝误差与光栅衍射波前质量的物理模型, 并分析了该误差对波前质量的影响...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(09):0904001

 基于傅里叶光学原理的新型凹面光栅衍射效率测量方法

马振予 齐向东 李晓天 巴音贺希格 姚雪峰 吉日嘎兰图 张善文 于海利

[摘要]凹面衍射光栅兼具色散分光与光束聚焦功能, 同时具有像差校正、 低杂散光、 无鬼线和高信噪比等优势而受到光谱仪器领域的广泛关注。 衍射效率作为凹面光栅最重要的技术指标之一, 其测量技术水平逐渐成为光谱仪器行业最...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2017, 37(04):1279

 基于夫琅禾费原理的光栅复制拼接误差精度分析

卢禹先 齐向东 于海利 李晓天 张善文 姜珊 尹禄

[摘要]复制拼接是天文领域目前制作大面积平面衍射光栅的重要方法之一。光栅复制拼接需要相应的拼接系统,从成本控制和光栅研制周期角度考虑,一套常规拼接系统应适用于不同参数光栅及不同检测波长的拼接,并且系统拼接精度...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(05):0508005

 基于波前法的光栅拼接误差检测及计算方法

卢禹先 齐向东 糜小涛 姜珊 于海利 李晓天 尹禄

[摘要]光栅拼接法是目前制作大尺寸平面衍射光栅的重要方法之一,而拼接误差是评价拼接光栅是否能够使用的重要指标之一。实时定量测量拼接误差,能够实现对拼接误差的自动闭环调整,通过实时指导拼接提高光栅拼接的精度。建...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(05):0505001

 大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析

宋楠 冯树龙 于海利 齐向东 巴音贺希格 唐玉国

[摘要]尝试在大型衍射光栅刻划机中使用气浮导轨承载金刚石刻划刀具系统运行。气浮导轨同时承担刀具系统的承重与导向任务,由于使用气体作为润滑剂而接近零摩擦状态,可以避免触点磨损及低速爬行现象。分析了气浮导轨工作过...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(04):0408007

 光栅刻划机衍射波前质量的主动控制校正方法

杨超 于海利 张善文 于宏柱 李晓天 唐玉国

[摘要]衍射波前质量是刻划光栅的重要性能指标之一,对于机械刻划光栅,刻划机的刻线定位精度直接影响光栅的波前质量。建立了刻划机固有存在的刻线位置和转角误差与光栅衍射波前误差间的数学关系,分析了各误差对衍射波前质...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(01):0108002

 宽波段全息-离子束刻蚀光栅的设计及工艺

吴娜 谭鑫 于海利 张方程

[摘要]设计和制作了一种在同一基底上具有多闪耀角的宽波段全息-离子束刻蚀光栅.提出了组合形成宽波段全息-离子束刻蚀光栅的分区设计方法,优化了3种闪耀角混合的宽波段全息光栅设计参数,并利用反应离子束刻蚀装置对该光刻胶...

 PDF全文光学 精密工程 | 2015, 23(07):1978

 大型衍射光栅刻划机拉杆结构的分析与改进

糜小涛 于宏柱 于海利 姚雪峰 宋楠 冯树龙 齐向东

[摘要]由于大型衍射光栅刻划机刻划系统的双拉杆结构不能使其满足精度指标要求,本文设计了一套单拉杆结构.讨论了石英导轨分度方向弯曲误差产生的原因及其减小该误差的方法,分析和比较了两种拉杆结构的鞍型滑块的受力情况.基...

 PDF全文光学 精密工程 | 2015, 23(03):745

 光栅刻划机300 mm行程工作台研制及其自适应控制方法

李晓天 于海利 齐向东 朱继伟 于宏柱 巴音贺希格

[摘要]光栅刻划机工作台性能及其控制算法是直接影响大面积光栅刻划精度的重要原因。为了提高光栅刻划机运行精度,研制了采用压电陶瓷进行微定位控制的300 mm行程宏微两级工作台,建立了微定位工作台数学模型,仿真分析了工...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(06):0608001

 基于单压电执行器的光栅刻线摆角修正

李晓天 齐向东 于海利 高键翔 冯树龙 巴音贺希格

[摘要]考虑机械刻划光栅刻线摆角对平面光栅衍射波前质量的影响,本文根据光栅机械刻划过程的特点,提出了一种单压电执行器调节方法。该方法可通过不断调节微定位工作台位移,实时修正工作台摆角导致的光栅刻线摆角误差。首...

 PDF全文光学 精密工程 | 2014, 22(08):2039-2046

 光栅刻划刀架系统的运行精度对光栅光谱性能的影响

杨超 于海利 冯树龙 李晓天 齐向东 姜珊 唐玉国

[摘要]采用菲涅耳-基尔霍夫衍射理论建立了存在刻线弯曲和刻线位置误差的光栅衍射谱成像数学模型,分析了上述误差对光栅光谱性能的影响。针对刻划刀架系统运行不稳定问题,设计了一套光学测量结构,并提出了刻划刀架系统的机械...

 PDF全文光学 精密工程 | 2014, 22(10):2674

 机械刻划光栅的刻线弯曲与位置误差对平面光栅性能影响及其修正方法

李晓天 巴音贺希格 齐向东 于海利 唐玉国

[摘要]机械刻划法是制作平面光栅的重要方法之一。深入分析了机械刻划光栅的等间距刻线弯曲和刻线位置误差对平面光栅分辨本领和杂散光等光谱性能的影响,对改善光栅质量和提高应用水平有重要的意义。根据费马原理,建立了单...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(03):0308009

 大型衍射光栅刻划机刀架系统的设计

陈科位 于宏柱 张善文 齐向东 于海利 冯树龙

[摘要]设计了一套光栅刻划机刀架系统。该系统将刻划刀具部分安装于能绕鞍形滑块自由转动的安装板上, 利用铰链机构来实现了刀架刻划部分与承重部分的分离, 降低运动中鞍形滑块的变形、偏移等对金刚石刻刀的影响。分析了刀架...

 PDF全文光学 精密工程 | 2013, 21(11):2900-2905

 一种新的CO2探空测量方法

冯林 胡顺星 黄见 苑克娥 邵石生 徐之海 曹开法 孟祥谦 吕炜煜 于海利 张世国

[摘要]介绍了一种新的CO2探空测量方法。其原理是利用比尔歩格朗伯定律,使用非分光红外法,通过选择合适的红外光源和红外探测器,设计了合理的电路,在定标的基础上将测量的光强转换成CO2浓度,制作出可用于探空测量的实验...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2012, 49(10):100103

 合肥上空大气二氧化碳Raman激光雷达探测研究

于海利 胡顺星 苑克娥 吴晓庆 曹开法 孟祥谦 黄见 邵石生 徐之海

[摘要]Raman激光雷达是用于大气成分探测与特性研究的有效工具.介绍了中科院安徽光学精密机械研究所自行研制的一台用于测量低对流层大气CO2时空分布的Raman激光雷达系统, 并进行了一系列观测实验和对比分析.系统选用波长355...

 PDF全文光子学报 | 2012, 41(07):812-817

 拉曼激光雷达探测低对流层大气二氧化碳分布

于海利 胡顺星 吴晓庆 曹开法 孟祥谦 苑克娥 黄见 邵石生 徐之海

[摘要]介绍了中国科学院安徽光学精密机械研究所研制成功的我国第一台测量低对流层大气CO2时空分布的拉曼激光雷达系统,选用波长355 nm的紫外激光作为光源,利用光子计数卡双通道采集大气中N2和CO2的拉曼后向散射信号。详细...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(08):0801003

 刻线误差与面型误差对平面光栅光谱性能影响的二维快速傅里叶变换分析方法

李晓天 巴音贺希格 齐向东 于海利 唐玉国

[摘要]光栅刻线误差与基底面型误差影响平面光栅衍射波前、分辨本领、鬼线、卫线及杂散光等光谱性能,研究光栅性能指标与光栅刻线误差及基底加工误差之间的因果关系,对提高光栅质量极为重要。根据光栅衍射中产生的源于刻线...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(11):1105001

 利用泽尼克系数求取衍射光栅的分辨本领

于海利 齐向东 巴音贺希格 唐玉国

[摘要]光栅分辨本领检测设备的焦距通常达几米甚至十几米, 采用直接测量法难度大、 成本高, 利用衍射波前间接求取光栅分辨本领是解决该问题的有效途径之一。 在光栅光谱成像傅里叶变换理论基础上, 建立了利用泽尼克多项式拟...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2012, 32(01):264-267

 丝杠精度双频激光干涉测量中的阿贝误差实时补偿

齐向东 滕丽华 于海利

[摘要]提出一种利用双频激光干涉仪检测光栅刻划机分度丝杠的新型光路结构,推导出用于阿贝误差补偿的快速修正计算式,实现了丝杠测试过程中阿贝误差的实时修正,通过修正使不满足阿贝原则的测量系统获得了较高的测量精度。...

 PDF全文中国光学 | 2010, 3(03):279-284

 平面反射光栅衍射效率自动测试仪的设计与分析

王芳 齐向东 于宏柱 于海利

[摘要]设计了一种快速自动测试平面反射光栅相对衍射效率的新型系统。它采用连续光源照明,运用双联光栅光谱仪的结构型式,以N沟道增强型场效应管阵列(线阵NMOS)作为光电接收器件。运用光栅光谱仪的相关原理,对系统的测试原理...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2009, 29(02):556-560

 紫外平面刻划光栅杂散光数值分析及测试

巴音贺希格 李燕 吴娜 于海利 张善文 齐向东

[摘要]杂散光是光栅的重要技术指标,它直接影响光栅的信噪比,紫外波段的杂散光对光谱分析尤为不利。为了考察平面刻划光栅用于光谱仪器时产生的杂散光,采用标量衍射理论数值分析了杂散光产生的原因。数值模拟结果表明,紫外平...

 PDF全文光学 精密工程 | 2009, 17(08):1783-1789

 60Coγ射线对高免卵黄液中霉形体杀灭作用的研究

韩克光 马海利 柴桂珍 郑明学

[摘要]用60Coγ射线处理高免卵黄液,研究了不同剂量、剂量率对霉形体的灭活效果和对卵黄抗体的影响.结果表明,60Coγ射线可以完全杀灭高免卵黄液中的霉形体,霉形体在卵黄液中的灭活剂量为6.0 kGy;10.0 kGy以下的辐照剂量不影...

 PDF全文激光生物学报 | 2005, 14(02):125-128

 60Coγ射线对高免卵黄液中EDS-76病毒灭活的研究

古少鹏 郑明学 韩克光 柴桂珍 马海利

[摘要]用不同剂量、剂量率的60Coγ射线对卵黄液中的EDS-76病毒进行辐照,研究了其对病毒的灭活效果和对卵黄抗体(IgY)的影响.结果表明,60Coγ射线辐照,可以灭活高免卵黄液中的EDS-76病毒,且随辐照剂量、剂量率的增大,灭活率也...

 PDF全文激光生物学报 | 2004, 13(02):111-115

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