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 TFT光刻平面补偿优化

张玉虎 徐海涛 李亚文 罗传文 曹少波 李力

[摘要]TFT线宽或线间距接近光刻机分辨率时,光刻图形容易产生光刻胶残留不良,为改善该问题,本文从光刻图形出发,以最佳光刻图形所在位置为基准,计算出光刻机光刻平面的优化补偿量,从而实现对光刻平面的补偿优化。首先,...

 PDF全文光电工程 | 2019, 46(05):180444

 工艺参数对激光快速成型Fe基合金组织与晶化行为的影响

王刚 刘亚萍 吕云卓 徐海涛 张荣芸 黄仲佳

[摘要]利用激光成型技术制备了Fe基合金样品, 研究了激光扫描速度对成型的Fe基合金组织与晶化行为的影响。结果表明, 在一定激光功率下, 随着扫描速度的增大, 熔化区和热影响区内均发生了大面积的晶化, 熔化区内的析出相的形...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2018, 55(04):041403

 利用叠层一维光子晶体调控半透明有机太阳能电池的性能

梁文跃 钟锦耀 徐海涛 邓海东 王奇生 龙拥兵

[摘要]利用叠层一维光子晶体提高半透明有机太阳能电池的光电转换效率和调控器件的透视颜色.采用传输矩阵法计算了基于叠层一维光子晶体的半透明有机太阳能电池中活性层的吸收光谱和器件的透过率光谱, 进而计算了器件的光电转...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(08):0823003

 视觉测量中轴向热干扰成像问题研究

吴军 王志军 徐海涛 于之靖 邢书剑

[摘要]为研究热源干扰图像成像引发的图像畸变、模糊等失真问题, 利用图像的特征点平均畸变位移、峰值信噪比、均方误差和互相关系数来评价热源轴向位移条件下成像图像的畸变程度、模糊程度以及总相似程度, 得到热干扰成像变...

 PDF全文应用光学 | 2018, 39(02):235

 旋涂法制备氧化锆介质层及其在薄膜晶体管中的应用

钟云肖 周尚雄 姚日晖 蔡炜 朱镇南 魏靖林 徐海涛 宁洪龙 彭俊彪

[摘要]采用旋涂法制备了氧化锆介质层薄膜, 重点讨论了退火温度以及旋涂转速对薄膜性能的影响及作用机制。研究发现高温后退火一方面使得氧化锆水合物脱水形成氧化锆, 另一方面促使氧化锆薄膜结晶。此外, 转速较高时, 其变化...

 PDF全文发光学报 | 2018, 39(02):214

 全固态WO3薄膜电致变色器件研究进展

张巡天 张啸尘 姚日晖 宁洪龙 徐海涛

[摘要]讨论了基本的EC器件结构设计、被广泛应用的阴极氧化物材料(WO3)的结构以及改善其性能的一些方法和新型固体电解质材料。最后, 对EC器件的未来发展做了展望。

 PDF全文光电子技术 | 2018, 38(01):49

 视觉测量中轴向热干扰成像问题研究

吴军 王志军 徐海涛 于之靖 邢书剑

[摘要]为研究热源干扰图像成像引发的图像畸变、模糊等失真问题, 利用图像的特征点平均畸变位移、峰值信噪比、均方误差和互相关系数来评价热源轴向位移条件下成像图像的畸变程度、模糊程度以及总相似程度, 得到热干扰成像变...

 PDF全文应用光学 | 2018, 339(02):235

 垂直扫描白光干涉信号的计算机快速模拟

徐海涛 刘晓军 卢文龙 周莉萍

[摘要]提出一种垂直扫描白光干涉信号的计算机快速模拟方法。该方法考虑到白光光源光谱分布及垂直扫描干涉系统对白光干涉信号的影响, 通过正弦函数多项式拟合的方式减少模拟算法的运算量, 消除了现有方法中数值积分运算量大...

 PDF全文光学技术 | 2013, 39(03):195-199

 HSE方法研究Cd1-xZnxTe合金的性质

徐海涛 徐闰 王林军 朱燕艳

[摘要]采用HSE杂化势计算了Cd1-xZnxTe合金的性质,并获得了较传统GGA更为准确的光学带隙和形成焓.在构建超胞计算合金体系时,采用SQS模型.计算分析得出Cd1-xZnxTe合金的光学带隙下凹参数为0.266 eV,这与已报道实验结果0.2...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2012, 31(05):411-416

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