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 飞秒激光微加工制备无衬底太赫兹带通滤波器

高炳攀 林炎章 陈盈 陈燕青 王向峰

[摘要]利用时域有限差分法, 仿真设计了三组具有不同中心频率的十字形太赫兹带通滤波器, 并搭建了飞秒激光微加工系统, 在单层铝箔上实现了无衬底太赫兹滤波器的加工。利用时域太赫兹光谱系统, 对所加工的器件进行了透射率测...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2018, 55(02):021415

 800 nm高能量飞秒激光脉冲刻写长周期光纤光栅机理

张亚妮 刘思聪 赵亚 许强 王勇刚

[摘要]基于800 nm飞秒激光脉冲对标准单模光纤采用非载氢技术刻写长周期光纤光栅的机理进行了研究.搭建了水平、垂直双CCD视频监控的飞秒激光脉冲逐点刻蚀长周期光纤光栅系统, 研究了光栅长度、激光脉冲能量和光栅占空比等参...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(01):0106003

 超短脉冲激光诱导周期性表面结构

李 晨 STOIAN Razvan 程光华

[摘要]激光诱导周期性表面结构(Laser-induced periodic surface structures,LIPSS)具有纳米尺度的特征结构和自重复的微观尺度的排列图案, 因此, LIPSS在传感器、太阳能发电、光催化等方面具有广泛的应用前景。本文首先介绍...

 PDF全文中国光学 | 2018, 11(01):1

 基于准分子激光器的压电陶瓷微结构加工

李以贵 蔡金东 黄远 吕曈 颜平 王欢

[摘要]利用波长为248 nm的氟化氪(KrF)准分子激光器加工了掺镧锆钛酸铅压电陶瓷(PZT)、硅(Si)和聚二甲基硅氧烷(PDMS), 研究了准分子激光对这3种材料的加工效果。为了解决传统切割工艺加工PZT膜片时易发生破裂的问题, 研究了...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(09):091403

 基于光纤激光表面改性的不锈钢微细电解加工技术

李小海 薛贝贝 王淑铭 张 霞 黄德臣 史立秋

[摘要]将光纤激光表面改性技术和微细电解加工技术相结合,在不锈钢表面加工复杂微细型腔等微小零件。先利用光纤激光在304不锈钢表面制作掩模图案;再利用掩模的耐腐蚀性,在微细电解加工时实现微细型腔的定域加工。研制了光...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(07):071404

 248 nm准分子激光刻蚀的无裂损石英玻璃表面微通道

杨桂栓 陈涛 陈虹

[摘要]利用248 nm纳秒准分子激光, 采用掩模投影和石英玻璃前表面直写刻蚀的方法, 研究了激光脉冲能量密度、重复频率、扫描次数对微通道裂损的影响规律, 分析了石英玻璃激光刻蚀及裂损的机理。结果表明, 248 nm纳秒准分子激...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(09):0902004

 飞秒激光制备多晶金刚石微结构阵列

黄建衡 梁国文 李 冀 郭宝平

[摘要]飞秒激光加工是一种冷加工技术,能克服热效应的影响,使加工材料的边缘非常整齐和精确,对高熔点和硬脆材料的微细加工具有显著优势。为制备一种由金属靶和金刚石构成的X射线源微结构阵列阳极,提出采用飞秒激光加工技...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(03):0302007

 紫外激光器及其在微加工中的应用

聂世琳 管迎春

[摘要]紫外激光以其波长短、加工精度高、冷加工等特性,在微细制造中具有独特优势,能够有效提高制造品质。近年来,随着现代电子产业的快速发展,其对生产制造的要求不断提高,紫外激光的应用和发展也受到人们的广泛关注。...

 PDF全文光电工程 | 2017, 44(12):1169

 激光微加工技术制备生物医用器械的现状与进展

卢立斌 王海鹏 管迎春 周伟

[摘要]激光微加工具有超快、超精密的特性, 在医疗器械加工中有着独特的优势, 尤其是针对具有良好生物相容性材料的微加工有着不可替代的作用。系统总结了激光微加工制备技术在生物医学领域的若干最新应用, 重点讨论了生物材...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(01):0102005

 皮秒激光对医用钛合金植入物表面微加工及生物相容性的研究

虞宙 张文杰 胡俊

[摘要]钛合金具有优良的综合性能, 作为医用金属植入材料广泛应用于临床医学, 而在钛合金植入物表面进行微造型有助于提高钛合金的生物相容性。采用1064 nm波长的皮秒激光在钛合金(Ti-6Al-4V)表面进行微造型实验, 并验证微造...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(01):0102014

 248 nm准分子激光刻蚀钠钙玻璃微通道低裂损工艺研究

杨桂栓 陈虹 陈涛

[摘要]248 nm准分子激光直接刻蚀钠钙玻璃微通道来制作生物芯片具有较大优势和潜力, 但目前存在易发生碎裂、微通道底面处粗糙度高等问题。采用248 nm准分子激光束以静态刻蚀及扫描直写刻蚀两种方式刻蚀钠钙玻璃来对低裂损工...

 PDF全文应用激光 | 2017, 37(04):586

 一种近方脊滤波器的设计与快速制造

南雪莉 张斌珍 崔建利 杨昕 葛少雷

[摘要]滤波器是信号传输系统中的重要组件.提出一种快速、高精度复制工艺方法, 用于设计和制备WR-10波段矩形波导滤波器.采用多层匀胶单次紫外曝光工艺(硅片上匀SU-8胶), 制备出的滤波器高度误差小于0.03%(3 μm), 陡直度误差...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2017, 36(01):30

 SOI纳米光波导激光熔凝光整加工温度场的数值模拟及分析

闫树斌 陈慧斌 韵力宇 焦国太

[摘要]激光表面熔凝技术可有效降低纳米光波导侧壁粗糙度进而减小光传输的散射损耗。为明确波导侧壁在KrF准分子激光表面熔凝过程的温度场演化规律,考虑材料参数随温度变化和相变潜热的影响,建立了纳米光波导侧壁激光熔凝的...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2017, 29(10):104102

 飞秒激光正交线扫描诱导表面微纳结构

张成云 刘海英 满文庆 刘佐濂

[摘要]通过控制激光偏振与扫描方向,利用飞秒脉冲激光正交线扫描的微加工方式,在硅和不锈钢表面诱导出了规则分布的复合表面微纳结构并分析了激光能量密度对微纳表面结构形成的影响。实验显示:当激光的能量密度接近材料烧...

 PDF全文光学 精密工程 | 2017, 25(12):3063

 CVD金刚石薄膜锥形阵列微孔激光加工实验研究

王鹏 张凤林 刘文广 欧阳承达

[摘要]采用光纤脉冲激光器对化学气相沉积金刚石薄膜进行了锥形微孔阵列加工,研究了激光扫描速度、扫描次数和脉冲宽度等参数对微孔形状和尺寸的影响规律。研究发现,激光扫描速度对微孔尺寸的影响不明显。而激光扫描次数对...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2016, 53(11):111402

 准分布式光纤布拉格光栅高温传感器

杜勇 司金海 陈涛 李思佳 崔巍 李存霞 侯洵

[摘要]针对耐高温准分布式光纤布拉格光栅(FBG)传感器的需求,利用飞秒激光相位掩模辐照结合光纤拉伸,研究出制备不同周期的布拉格光栅的方法。通过改变光纤两端施加应力的大小来控制FBG的周期,得到具有不同布拉格波长的...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2016, 53(10):100606

 闪耀角可调微型可编程光栅的优化设计与仿真模拟

李晓莹 吴焱 虞益挺 刁金帅 闫治晚

[摘要]基于体硅微加工技术,设计了一种闪耀角可调的微型可编程光栅,对该光栅进行优化设计,并理论计算不同闪耀角、入射角条件下相对光强分布,采用COMSOL有限元仿真软件模拟不同入射参量下远场相对光强分布.结果表明:设计...

 PDF全文光子学报 | 2016, 45(04):0405002

 超声波辅助飞秒激光加工光纤材料的工艺探索

刘斌 戴玉堂 殷广林 李涛

[摘要]为了研究超声振动对飞秒激光微加工的影响,设计超声辅助装置,进行石英光纤材料的微结构加工试验。探讨不同功率的超声振动对材料加工表面质量及孔深的影响,明确超声辅助飞秒激光加工的作用机理。引入超声振动后,光...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(03):0303005

 激光大尺度3维动态聚焦扫描加工系统研究

李东华 邓磊敏 段 军 曾晓雁 游欣易

[摘要]为了满足激光3维微加工不断提高的精度要求、不断增大的加工尺寸范围,以及加工效率的上升需求,采用理论分析和计算结合的方法,研制出由动态聚焦镜和2维扫描振镜组合的动态聚焦系统,与高精度X-Y-Z 3维高精度工作台集...

 PDF全文激光技术 | 2016, 40(04):466

 单光束飞秒激光诱导的电子态密度分布对双周期纳米光栅的影响

公民 戴晔 宋娟 马国宏

[摘要]研究了不同脉冲能量下1 kHz飞秒激光脉冲在石英玻璃内部诱导的损伤痕迹、纳米光栅结构及其双折射特性,发现在激光辐照区域顶端形成的微纳结构具有两种周期性:沿光传输方向的周期为ΛK;沿激光偏振方向的周期为ΛE。通...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(05):0514001

 飞秒激光诱导金属钨表面周期性自组织结构的研究

李晨 程光华 Stoian Razvan

[摘要]飞秒激光诱导金属表面周期性自组织微纳米条纹结构,在调控热辐射源、摩擦、超亲水性、超疏水性和打标等方面具有广泛的应用前景。研究了800 nm飞秒激光诱导金属钨表面周期性自组织结构的形成规律和形成机理。采用Sipe...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(05):0532001

 带状注行波管双矩形螺旋线慢波结构高频特性

王学楠 魏彦玉 魏望和

[摘要]针对新型螺旋线慢波结构——双矩形螺旋线慢波结构, 即在金属屏蔽框内平行加载两个具有矩形横截面形状的自由螺旋线慢波结构, 利用三维电磁仿真软件对其高频特性(色散特性和耦合阻抗)进行模拟研究。结果表明: 在相同位...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2016, 28(09):093005

 利用体块PZT制备膜片式压电微泵

李以贵 黄 远 颜 平 王 欢 杉山进

[摘要]利用锆钛酸铅(PZT)的逆压电效应, 设计并制备了膜片式压电微泵。 通过将电能转换为机械能, 实现了液体的微流体控制。微泵由微驱动器与单向微阀两部分组成; 微驱动器主要为液体流动提供驱动力, 单向微阀则用于精确控制...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(05):1072

 双光子聚合外齿轮组微加工

崔联合

[摘要]文章介绍了用自制双光子聚合加工系统对不同曝光时间下的外齿轮组的微加工成型性进行了研究。在photomer3015 材料内实现了外齿轮组的双光子聚合微加工, 通过扫描电镜(SEM)分析了外齿轮组的微观形貌。结果表明,随着曝...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2015, 52(05):051403

 飞秒激光微加工中光斑横向超分辨研究

蔡建文 潘雪涛 张美凤 孟 飞

[摘要]飞秒激光微加工中焦点光斑横向光场的分布直接影响到激光微加工的精度、分辨率和表面粗糙度等。利用激光束空间整形技术对激光束聚焦光斑进行调制,基于横向超衍射理论和优化算法进行了研究和分析,完成了一种0-π结构...

 PDF全文红外与激光工程 | 2015, 44(06):1790

 侧入式导光板的激光微加工技术的验证研究

陈恩果 黄炳乐 徐胜 郭太良

[摘要]从设计、仿真与加工入手研究液晶背光模组中侧入式导光板的激光微加工技术.通过光学软件构建导光板的光学结构并采用蒙特卡洛光线追迹方法进行模拟仿真,结果表明具有渐变密度分布的微结构能够提供高均匀性的光输出.基于...

 PDF全文光子学报 | 2015, 44(11):1122002

 飞秒激光加工对熔覆层侧壁粗糙度的影响

李睿 杨小君 赵卫 贺斌 李明 赵华龙 朱文宇 王宁

[摘要]针对熔覆成型件表面粗糙的难题,提出了在成形过程中对熔覆层侧壁进行飞秒激光精密加工的方法,重点研究了精密加工过程中飞秒激光的能量密度、能量分布、光斑重叠率对熔覆层侧壁粗糙度的影响规律,结果表明:当焦平面...

 PDF全文红外与激光工程 | 2015, 44(11):3244

 高频率皮秒激光微加工石英衬底铝膜效率

金方圆 陈波 鄂书林 王海峰 邢妍

[摘要]采用重复频率100 kHz下,输出功率为3.7 W的532 nm Nd:YAG皮秒激光器对石英衬底微米量级的铝膜进行了烧蚀,研究了脉宽为10 ps的激光单脉冲能量密度对烧蚀效率、光斑耦合率对烧蚀图形以及重复加工次数对加工精度的影响...

 PDF全文红外与激光工程 | 2015, 44(11):3238

 基于激光三角法对透明平板厚度测量光线补偿的研究及应用

杨桂栓 陈涛 张志峰

[摘要]提出了一种基于激光三角法光线折射补偿对透明平板厚度测量的方法,设计了基于单激光位移传感器的透明平板厚度测量装置,并应用于准分子激光投影光刻加工透明材料时的像面校准。首先构建了激光三角法测量情形下偏折光...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(07):0708004

 扑翼微飞行器紫外激光加工技术

张伟 张卫平 柯希俊 邹阳 柴双双 叶以楠

[摘要]为了实现微米尺度扑翼微飞行器的加工, 运用了加工材料范围广的紫外激光切割技术, 以及碳纤维预浸料的真空袋高温高压固化工艺, 通过合理安排工艺流程, 实现了一种适于微米尺度复杂机械结构、可采用材料广泛且可以小批...

 PDF全文半导体光电 | 2015, 36(04):657

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