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 248 nm准分子激光刻蚀的无裂损石英玻璃表面微通道

杨桂栓 陈涛 陈虹

[摘要]利用248 nm纳秒准分子激光, 采用掩模投影和石英玻璃前表面直写刻蚀的方法, 研究了激光脉冲能量密度、重复频率、扫描次数对微通道裂损的影响规律, 分析了石英玻璃激光刻蚀及裂损的机理。结果表明, 248 nm纳秒准分子激...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(09):0902004

 飞秒激光制备多晶金刚石微结构阵列

黄建衡 梁国文 李 冀 郭宝平

[摘要]飞秒激光加工是一种冷加工技术,能克服热效应的影响,使加工材料的边缘非常整齐和精确,对高熔点和硬脆材料的微细加工具有显著优势。为制备一种由金属靶和金刚石构成的X射线源微结构阵列阳极,提出采用飞秒激光加工技...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(03):0302007

 激光微加工技术制备生物医用器械的现状与进展

卢立斌 王海鹏 管迎春 周伟

[摘要]激光微加工具有超快、超精密的特性, 在医疗器械加工中有着独特的优势, 尤其是针对具有良好生物相容性材料的微加工有着不可替代的作用。系统总结了激光微加工制备技术在生物医学领域的若干最新应用, 重点讨论了生物材...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(01):0102005

 一种近方脊滤波器的设计与快速制造

南雪莉 张斌珍 崔建利 杨昕 葛少雷

[摘要]滤波器是信号传输系统中的重要组件.提出一种快速、高精度复制工艺方法, 用于设计和制备WR-10波段矩形波导滤波器.采用多层匀胶单次紫外曝光工艺(硅片上匀SU-8胶), 制备出的滤波器高度误差小于0.03%(3 μm), 陡直度误差...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2017, 36(01):30

 准分布式光纤布拉格光栅高温传感器

杜勇 司金海 陈涛 李思佳 崔巍 李存霞 侯洵

[摘要]针对耐高温准分布式光纤布拉格光栅(FBG)传感器的需求,利用飞秒激光相位掩模辐照结合光纤拉伸,研究出制备不同周期的布拉格光栅的方法。通过改变光纤两端施加应力的大小来控制FBG的周期,得到具有不同布拉格波长的...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2016, 53(10):100606

 闪耀角可调微型可编程光栅的优化设计与仿真模拟

李晓莹 吴焱 虞益挺 刁金帅 闫治晚

[摘要]基于体硅微加工技术,设计了一种闪耀角可调的微型可编程光栅,对该光栅进行优化设计,并理论计算不同闪耀角、入射角条件下相对光强分布,采用COMSOL有限元仿真软件模拟不同入射参量下远场相对光强分布.结果表明:设计...

 PDF全文光子学报 | 2016, 45(04):0405002

 超声波辅助飞秒激光加工光纤材料的工艺探索

刘斌 戴玉堂 殷广林 李涛

[摘要]为了研究超声振动对飞秒激光微加工的影响,设计超声辅助装置,进行石英光纤材料的微结构加工试验。探讨不同功率的超声振动对材料加工表面质量及孔深的影响,明确超声辅助飞秒激光加工的作用机理。引入超声振动后,光...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(03):0303005

 激光大尺度3维动态聚焦扫描加工系统研究

李东华 邓磊敏 段 军 曾晓雁 游欣易

[摘要]为了满足激光3维微加工不断提高的精度要求、不断增大的加工尺寸范围,以及加工效率的上升需求,采用理论分析和计算结合的方法,研制出由动态聚焦镜和2维扫描振镜组合的动态聚焦系统,与高精度X-Y-Z 3维高精度工作台集...

 PDF全文激光技术 | 2016, 40(04):466

 单光束飞秒激光诱导的电子态密度分布对双周期纳米光栅的影响

公民 戴晔 宋娟 马国宏

[摘要]研究了不同脉冲能量下1 kHz飞秒激光脉冲在石英玻璃内部诱导的损伤痕迹、纳米光栅结构及其双折射特性,发现在激光辐照区域顶端形成的微纳结构具有两种周期性:沿光传输方向的周期为ΛK;沿激光偏振方向的周期为ΛE。通...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(05):0514001

 飞秒激光诱导金属钨表面周期性自组织结构的研究

李晨 程光华 Stoian Razvan

[摘要]飞秒激光诱导金属表面周期性自组织微纳米条纹结构,在调控热辐射源、摩擦、超亲水性、超疏水性和打标等方面具有广泛的应用前景。研究了800 nm飞秒激光诱导金属钨表面周期性自组织结构的形成规律和形成机理。采用Sipe...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(05):0532001

 利用体块PZT制备膜片式压电微泵

李以贵 黄 远 颜 平 王 欢 杉山进

[摘要]利用锆钛酸铅(PZT)的逆压电效应, 设计并制备了膜片式压电微泵。 通过将电能转换为机械能, 实现了液体的微流体控制。微泵由微驱动器与单向微阀两部分组成; 微驱动器主要为液体流动提供驱动力, 单向微阀则用于精确控制...

 PDF全文光学 精密工程 | 2016, 24(05):1072

 飞秒激光微加工中光斑横向超分辨研究

蔡建文 潘雪涛 张美凤 孟 飞

[摘要]飞秒激光微加工中焦点光斑横向光场的分布直接影响到激光微加工的精度、分辨率和表面粗糙度等。利用激光束空间整形技术对激光束聚焦光斑进行调制,基于横向超衍射理论和优化算法进行了研究和分析,完成了一种0-π结构...

 PDF全文红外与激光工程 | 2015, 44(06):1790

 飞秒激光加工对熔覆层侧壁粗糙度的影响

李睿 杨小君 赵卫 贺斌 李明 赵华龙 朱文宇 王宁

[摘要]针对熔覆成型件表面粗糙的难题,提出了在成形过程中对熔覆层侧壁进行飞秒激光精密加工的方法,重点研究了精密加工过程中飞秒激光的能量密度、能量分布、光斑重叠率对熔覆层侧壁粗糙度的影响规律,结果表明:当焦平面...

 PDF全文红外与激光工程 | 2015, 44(11):3244

 高频率皮秒激光微加工石英衬底铝膜效率

金方圆 陈波 鄂书林 王海峰 邢妍

[摘要]采用重复频率100 kHz下,输出功率为3.7 W的532 nm Nd:YAG皮秒激光器对石英衬底微米量级的铝膜进行了烧蚀,研究了脉宽为10 ps的激光单脉冲能量密度对烧蚀效率、光斑耦合率对烧蚀图形以及重复加工次数对加工精度的影响...

 PDF全文红外与激光工程 | 2015, 44(11):3238

 基于激光三角法对透明平板厚度测量光线补偿的研究及应用

杨桂栓 陈涛 张志峰

[摘要]提出了一种基于激光三角法光线折射补偿对透明平板厚度测量的方法,设计了基于单激光位移传感器的透明平板厚度测量装置,并应用于准分子激光投影光刻加工透明材料时的像面校准。首先构建了激光三角法测量情形下偏折光...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(07):0708004

 扑翼微飞行器紫外激光加工技术

张伟 张卫平 柯希俊 邹阳 柴双双 叶以楠

[摘要]为了实现微米尺度扑翼微飞行器的加工, 运用了加工材料范围广的紫外激光切割技术, 以及碳纤维预浸料的真空袋高温高压固化工艺, 通过合理安排工艺流程, 实现了一种适于微米尺度复杂机械结构、可采用材料广泛且可以小批...

 PDF全文半导体光电 | 2015, 36(04):657

 基于LabVIEW可编程电化学脉冲湿法刻蚀系统设计

苗凤娟 李倩倩 陶佰睿 赵柯洋 张嘉 高玉峰

[摘要]针对电化学湿法刻蚀硅微加工需求, 基于LabVIEW软件开发平台, 利用上位机、可编程直流稳压电源PSM-6003、低温控制和LED光辐照等设备搭建了一种新型可编程电化学湿法刻蚀装置。其中基于LabVIEW的PSM-6003上位机控制软件...

 PDF全文半导体光电 | 2015, 36(01):71

 含荧光材料微三维阵列的制备及特性研究

胡雪芳 何如双 陶卫东 董建峰

[摘要]通过将罗丹明6G 掺入用光引发剂2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉苯基)丁酮和季戊四醇三丙烯酸酯混合而成的光刻胶中,基于飞秒激光双光子微加工技术制备出高为39 μm,底面边长为20 μm,周期为60 μm的3×3正六棱锥...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(06):0626002

 面向微通道以孔中心为缩放原点的激光微加工掩膜新装置

王凯 吴坚 陈涛

[摘要]在制备薄膜改善微,通道表面粗糙度和疏水性研究中发现,激光固化光斑的直径与微通道宽度的匹配十分重要.针对具有自主知识产权的微通道同轴气吹展技术和光预固化制备NOA61薄膜技术背景,提出了一种掩膜设计思路,即设计分...

 PDF全文应用激光 | 2015, 35(03):369

 激光与熔融石英作用的温度累积研究

严会文 白忠臣 秦水介 陆安江

[摘要]基于傅里叶热传导方程, 利用有限差分法计算了石英在激光作用下的温度场分布。结果表明在连续激光的作用下, 石英的轴向温度变化分为升温过程和降温过程。考虑热累积效应, 辐照0.1、0.5、0.8 s后温度较之前分别升高了约...

 PDF全文应用激光 | 2015, 35(01):44

 140GHz带状注弯折波导SU-8工艺与传输特性研究

谢辅强 丁桂甫 赵小林 程萍

[摘要]本文对140GHz 带状注弯折波导的色散特性和耦合阻抗进行了仿真.CST微波工作室的仿真表明该波导在140GHz时,波导内电磁波的轴向相速度为0.227c,且140GHz频率附近色散特性平坦.波导的耦合阻抗在140GHz时为5欧姆左右.CST粒...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2015, 27(08):083101

 220 GHz折叠波导UV-LIGA微加工工艺

马天军 孙建海 郝保良 李飞 伊福廷 刘濮鲲

[摘要]真空电子器件的频率正向太赫兹频段发展, 折叠波导慢波结构是行波管的核心部件, 由于真空器件的尺寸与波长具有共渡性, 频率越高, 互作用结构的尺度越小, 加工误差的要求越严格。传统的加工方法很难实现如此微小尺寸的...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2015, 27(02):024101

 基于正交超声驻波场的粒子运动建模和控制

吴立群 叶玅宏 王亚星 林志朋 杨贤龙

[摘要]为了获得具有均匀的倒金字塔表面微结构的多晶硅,提出了一种新腐蚀加工方法。通过建立一个相互正交的超声驻波场,来协助硅的化学侵蚀并改善其对光的吸收能力。首先对硅片表面结构进行一些比较,在二维上建立网格状的数学...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2015, 27(02):024111

 基于飞秒激光微加工的介质膜损伤修复研究

林圆圆 姜有恩 韦辉 范薇 李学春

[摘要]针对波长1053 nm, 0° 高反介质膜元件, 采用有限时域差分法, 模拟分析了损伤修复点边缘与法线的夹角对膜层内电场强度分布的影响, 该角度越小, 修复点的损伤阈值越高. 通过优化飞秒激光微加工过程中的焦斑尺寸、脉...

 PDF全文高功率激光及等离子体物理研究论文集(专题) | 2015, 13(01):154207

 飞秒激光高精细加工柴油机喷油嘴倒锥孔法

王锋 罗建军 李明

[摘要]利用飞秒激光加工热效应小、高精细、对材料无选择性等特点,针对柴油发动机高压共轨系统中关键零件——喷油嘴偶件喷油孔的加工需求,设计了一种利用三光楔扫描的飞秒激光加工装置,并进行了喷油嘴倒锥孔加工工艺研究...

 PDF全文光子学报 | 2014, 43(04):0414003

 准贝塞尔光束在激光微加工中的理论分析

吴平辉 黄文华

[摘要]准贝塞尔光束具有能够远距离传输且保持光束宽度不变的特性,可以提供较大的光束纵横比,非常适合材料的激光微加工。研究了由理想轴棱锥和实际轴棱锥产生的准贝塞尔光束的传输特性。研究发现实际轴棱锥形成的准贝塞尔...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(s1):s102002

 基于光纤检测技术的扭转敏感微机电系统加速度传感器

钟少龙 龙亮 李明 吴亚明

[摘要]为实现微型化、抗电磁干扰、可长时间工作和可远距离传输的加速度传感器,提出了一种基于微机电系统(MEMS)非对称扭镜结构的光纤加速度计设计方案,并利用对角度变化非常敏感的双光纤准直器对扭镜的扭转角度变化进行检...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(03):0305002

 飞秒激光微加工中轴向超分辨相位板的设计及仿真

蔡建文

[摘要]为了提高激光微加工质量,对激光焦斑进行整形,采用菲涅尔衍射公式进行了理论分析,基于遗传算法和设计约束条件通过Matlab设计了两种二元相位元件,0-π结构四环相位板的归一化半径尺寸r1=0.15、r2=0.70、r3=0.81,非...

 PDF全文应用光学 | 2014, 35(05):908

 薄板陶瓷微孔的激光加工工艺研究

肖磊 赵建涛 闫振峰 姚勇

[摘要]主要研究薄板陶瓷微孔的激光精密加工工艺。具体采用CO2、光纤激光器以脉冲打孔和切割技术,通过优化激光器功率、占空比、重复频率、离焦量、辅助气体类型、气压等工艺参数,旨在改善激光加工陶瓷微孔的热影响、锥度和...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(s1):s114012

 基于紫外纳秒脉冲激光的微加工系统设计与实验分析

刘春阳 隋新 杨芳 马伟 薛玉君 李济顺 傅星

[摘要]介绍了紫外纳秒脉冲激光微加工系统的设计, 以及利用该系统对不同材料的样品进行加工实验分析。系统采用355 nm波长的紫外纳秒脉冲激光作为加工光源, 设计了光路机械结构和基于DSP和FPGA的运动控制板, 驱动3D运动平台带...

 PDF全文应用激光 | 2014, 34(02):126-130

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