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 光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法

糜小涛 于海利 于宏柱 齐向东 李晓天 万秋华

[摘要]衍射波前质量是衡量刻划光栅性能的重要指标之一, 光栅刻划机若存在阿贝误差, 将直接影响刻线位置精度, 从而影响光栅的波前质量。建立了刻划机阿贝误差与光栅衍射波前质量的物理模型, 并分析了该误差对波前质量的影响...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(09):0904001

 大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析

宋楠 冯树龙 于海利 齐向东 巴音贺希格 唐玉国

[摘要]尝试在大型衍射光栅刻划机中使用气浮导轨承载金刚石刻划刀具系统运行。气浮导轨同时承担刀具系统的承重与导向任务,由于使用气体作为润滑剂而接近零摩擦状态,可以避免触点磨损及低速爬行现象。分析了气浮导轨工作过...

 PDF全文中国激光 | 2015, 42(04):0408007

 大型衍射光栅刻划机拉杆结构的分析与改进

糜小涛 于宏柱 于海利 姚雪峰 宋楠 冯树龙 齐向东

[摘要]由于大型衍射光栅刻划机刻划系统的双拉杆结构不能使其满足精度指标要求,本文设计了一套单拉杆结构.讨论了石英导轨分度方向弯曲误差产生的原因及其减小该误差的方法,分析和比较了两种拉杆结构的鞍型滑块的受力情况.基...

 PDF全文光学 精密工程 | 2015, 23(03):745

 光栅刻划机300 mm行程工作台研制及其自适应控制方法

李晓天 于海利 齐向东 朱继伟 于宏柱 巴音贺希格

[摘要]光栅刻划机工作台性能及其控制算法是直接影响大面积光栅刻划精度的重要原因。为了提高光栅刻划机运行精度,研制了采用压电陶瓷进行微定位控制的300 mm行程宏微两级工作台,建立了微定位工作台数学模型,仿真分析了工...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(06):0608001

 大型衍射光栅刻划机刀架系统的设计

陈科位 于宏柱 张善文 齐向东 于海利 冯树龙

[摘要]设计了一套光栅刻划机刀架系统。该系统将刻划刀具部分安装于能绕鞍形滑块自由转动的安装板上, 利用铰链机构来实现了刀架刻划部分与承重部分的分离, 降低运动中鞍形滑块的变形、偏移等对金刚石刻刀的影响。分析了刀架...

 PDF全文光学 精密工程 | 2013, 21(11):2900-2905

 衍射光栅刻划机的闭环控制系统

蔡锦达 王英 颜廷萌 秦绪祥 王亮

[摘要]以S3C2440A为控制核心,设计了衍射光栅刻划机的高精度运动控制系统,实现了现场显示、实时控制等功能。用S3C2440A微控制器控制伺服电机和步进电机完成光栅刻划的分度运动和刻划运动,通过SiGNUMTM RELM直线光栅尺反馈...

 PDF全文光学 精密工程 | 2012, 20(11):2416-2423

 丝杠精度双频激光干涉测量中的阿贝误差实时补偿

齐向东 滕丽华 于海利

[摘要]提出一种利用双频激光干涉仪检测光栅刻划机分度丝杠的新型光路结构,推导出用于阿贝误差补偿的快速修正计算式,实现了丝杠测试过程中阿贝误差的实时修正,通过修正使不满足阿贝原则的测量系统获得了较高的测量精度。...

 PDF全文中国光学 | 2010, 3(03):279-284

 高精度控制光电光栅刻划机的光栅外差干涉仪

王芳 齐向东

[摘要]为提高光电式光栅刻划机的控制精度,设计了一种自准直式激光光栅外差干涉仪的新型测量系统。以光栅衍射和偏振光学为理论基础,结合电子学的相关知识对系统进行了理论分析,设计了基准光栅,并进行了大量的实验研究。...

 PDF全文激光技术 | 2008, 32(05):0474-476

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