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 干涉条纹相位锁定系统

鲁 森 杨开明 朱 煜 王磊杰 张 鸣

[摘要]干涉曝光系统中干涉条纹的相位漂移会导致曝光对比度降低, 为了有效抑制相位漂移, 利用声光调制器对干涉光频率进行实时调制。分析了条纹漂移的特点, 指出了主要干扰源是0~5 Hz的空气扰动。应用数值分析法得到了条纹漂...

 PDF全文光学 精密工程 | 2017, 25(01):1

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