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 基于位置敏感探测器的六自由度精密位姿测量系统

高玉娥 刘 伟 吕世猛 张永康 董文博

[摘要]位置敏感探测器(Position Sensitive Detector, PSD) 是一种高精度的二维位移测量传感器, 利用三片二维PSD的组合实现空间六自由度相对运动的位移和角度测量。测量系统主要包括三片PSD传感器(包括PSD光敏面和发光管) 、...

 PDF全文光学 精密工程 | 2018, 26(12):2930

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