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 激光辐照非制冷微测辐射热计的理论研究

周 冰 贺 宣 刘贺雄 李秉璇 张 炎

[摘要]为了研究非制冷微测辐射热计的激光损伤阈值,根据非制冷微测辐射热计的构造和成像原理,分析了像元温度响应机制,推导出了零偏置下和单次偏置时间内像元受到激光辐照的温度增量计算公式;建立了激光辐照非制冷微测辐...

 PDF全文激光技术 | 2020, 44(04):411

 三波长单脉冲纳秒激光损伤CCD实验研究

张鑫 牛春晖 马牧燕 秦绪志 张亚男

[摘要]开展了波长分别为1 064 nm、532 nm和416 nm, 脉宽均为5 ns的单脉冲激光损伤CCD的实验, 观测并比较了不同损伤阶段三种波长激光各自损伤CCD的视频图像、微观形貌、阈值和芯片引脚的电阻阻值, 分析了CCD的损伤机理。在5...

 PDF全文应用激光 | 2020, 40(02):300

 45°高反膜中节瘤缺陷的电场增强效应及损伤特性

潘顺民 卫耀伟 安晨辉 罗振飞 王健

[摘要]研究设计和制备了中心波长为1 064 nm的45°多层膜反射镜,通过数值仿真结合实验,对薄膜中节瘤缺陷引起的电场增强效应及其对薄膜抗激光损伤性能的影响进行了研究。结果表明:当1 064 nm激光从右至左45°斜入...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2020, 32(07):071006-71006

 退火对EBE,IBS和ALD沉积HfO2薄膜的抗激光损伤性能影响

刘浩 马平 蒲云体 赵祖珍

[摘要]结合自身实验条件采用电子束蒸发(EBE)、离子束溅射(IBS)和原子层沉积(ALD)三种工艺制备了HfO2薄膜,对其进行退火实验,采用1 064 nm Nd: YAG激光测定了即时沉积和退火后各HfO2薄膜的抗激光损伤能力。研究发现,...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2020, 32(07):071002-71002

 表面划痕中残余抛光颗粒对材料热损伤特性的影响

郭文华 陶冶 张蓉竹

[摘要]建立了高功率激光辐照下光学表面存在划痕且残存抛光颗粒时的热损伤分析模型,对这种复杂缺陷条件下的光学材料热损伤性能进行了研究。利用有限差分法计算了不同尺度抛光颗粒处于划痕中不同位置时光学材料表面的光场调...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2020, 32(03):031001-31001

 氟化钙晶体深紫外激光辐照损伤特性研究进展

宗慧雯 赵江山 宋兴亮 郭馨 王倩 李慧 周翊

[摘要]半导体光刻技术带动着光源逐步向短波辐射方向发展,以KrF-248 nm、ArF-193 nm光源为代表的准分子激光光刻光源逐步取代了以往基于汞灯的光刻光源,成为当前半导体光刻技术发展的主流光源。目前应用于光刻光源的光学元件...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2019, 56(19):190002

 近红外激光薄膜滤光片的研制

李候俊 徐均琪 王建 李绵 苏俊宏

[摘要]以双抛Si片为基底, 采用离子束辅助热蒸发沉积技术研制了1.2~3 μm波段激光薄膜滤光片.采用长波通滤光片与减反射膜相结合的薄膜样品设计方法, 高、低折射率材料分别选用ZnS和MgF2, 综合考虑光谱特性和电场强度分布, 使...

 PDF全文光子学报 | 2019, 48(09):0931001

 飞秒激光诱导硬质合金YG6表面累积效应

杨奇彪 张弘 周维 陈中培 陶青 刘顿

[摘要]采用波长800 nm的飞秒激光对硬质合金YG6表面进行多脉冲加工, 利用光学显微镜测量微凹坑损伤形貌及损伤直径, 研究了飞秒激光在不同能量密度和脉冲数下硬质合金YG6的损伤阈值和损伤直径的变化规律及其损伤机制.试验结果...

 PDF全文光子学报 | 2019, 48(06):0614002

 飞秒激光作用下金膜的微观特性变化

崔云 张晗宇 赵元安 晋云霞 朱美萍 邵建达

[摘要]用磁控溅射的方法在石英基底上制备了金(Au)膜,研究了Au膜在近激光损伤阈值(LIDT)飞秒脉冲激光辐照下的物相结构和表面形貌。结果表明:所制备的Au膜为(111)面取向生长的薄膜;近LIDT的激光辐照使辐照区的Au膜形成大晶...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(02):0203001

 278 nm全固态激光系统倍频分离膜的研制

付秀华 陈成 胡章贵 熊仕富 张静 王菲 王晨鑫

[摘要]根据278 nm激光系统的技术要求,研制了一种倍频分离膜,用于二倍频激光和四倍频激光的分离。实验以牌号为JGS1的石英玻璃作为基底,结合激光损伤热效应机理及材料的本征吸收,选择金属铪和UV-SiO2作为薄膜材料。利用Macle...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(12):1203002

 CaF2晶体的不同晶面在355 nm脉冲激光辐照下的损伤特性

徐子媛 彭小聪 赵元安 李大伟 刘荣荣 苏良碧 邵建达

[摘要]研究了氟化钙(CaF2)晶体不同晶面在355 nm脉冲激光辐照下的损伤特性。在7.8 ns脉冲激光辐照下,测量(100)、(110)和(111)三种不同晶面样品的损伤阈值和损伤点形貌,并基于表面热透镜技术测量样品表面的光热弱吸收。实验结...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(11):1103001

 减反膜的梯度化与激光损伤阈值之间的关系研究

王 燕 杭凌侠

[摘要]光学减反膜是激光系统的重要组成部分, 也是在激光照射下最容易发生损伤的部分, 如何提高减反膜的激光损伤阈值是研究的热点之一。在保持目标透射光谱要求和膜系总光学厚度不变的前提下, 研究了不同梯度化减反膜与激光...

 PDF全文应用光学 | 2019, 40(01):143

 亚波长光栅偏振片的纳秒脉冲激光损伤特性

史帅凯 焦宏飞 马 彬 程鑫彬 张锦龙

[摘要]偏振片在诸多光学系统中有着重要的应用。亚波长介质光栅可用作正入射偏振片, 在高能激光系统中有着广泛的应用前景。为了探究波长为1 064 nm的纳秒脉冲激光对于亚波长全介质光栅的诱导损伤特性, 使用了粒子群优化算法...

 PDF全文应用光学 | 2019, 40(01):138

 多脉冲激光对CCD探测器的损伤研究

吴迪 吕勇 牛春晖

[摘要]对多脉冲激光损伤CCD探测器进行了实验与仿真研究。采用波长1 064 nm,脉宽100 μs的激光器,在频率1、3和5 Hz工作条件下,对CCD探测器进行激光损伤实验,观察到多脉冲损伤CCD的三个阶段,得出了CCD探测器的损伤阈值。...

 PDF全文应用激光 | 2019, 39(02):333

 飞秒激光在微加工领域的研究进展及其应用

杨涵 于希辰 吴一帆 刘海青 李东亚

[摘要]近年来,为了使加工技术更加精准、无误差,各国研究者投入到了微加工领域的研究。而飞秒激光以其极高的峰值、较小的损伤阈值、高的聚焦力,使其成为国内外在微加工领域的热点研究对象。总结了近年来飞秒激光在微加工...

 PDF全文应用激光 | 2019, 39(02):346

 脉冲激光辐照氮化硅陶瓷损伤阈值的光谱测量

蔡鹏程 李 霜 蔡红星 谭 勇 石 晶 苗馨卉

[摘要]氮化硅陶瓷具有耐高温、 耐腐蚀和耐磨损等优异性能, 可应用于金属材料和高分子材料难以胜任的极端工作环境。 但具备这些优良特性的同时也给其加工带来了不便, 传统的磨削加工方法效率低, 设备损耗严重, 激光辅助加工...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2019, 39(11):3433

 惯性约束聚变激光驱动装置用大尺寸偏振薄膜研究综述

邵建达 朱美萍 李静平 孙建 赵元安 易葵

[摘要]从光谱性能、激光损伤阈值和膜层应力等方面综述了激光偏振薄膜的研究进展。简述了中国科学院上海光学精密机械研究所针对我国惯性约束聚变激光驱动装置对大尺寸偏振薄膜的要求,在镀膜材料选择、膜系设计、薄膜制备等方...

 PDF全文光学学报 | 2019, 39(10):1000001

 离子后处理对TiO2光学薄膜及损伤特性的影响

毛思达 邹永刚 范 杰 兰云萍 王海珠 张家斌 董家宁 马晓辉

[摘要]为了进一步提高TiO2薄膜的光学特性和激光损伤阈值, 采用电子束蒸发技术在K9玻璃上沉积了单层TiO2薄膜, 并用Ar/O混合等离子体对样品进行后处理。通过研究薄膜光谱特性、表面缺陷密度、薄膜表面形貌、薄膜损伤阈值以及...

 PDF全文光学 精密工程 | 2019, 27(07):1451

 不同生长方式和籽晶切向KDP晶体的生长及性能

秦梦飞 许心光 王 波 孙 洵 程文雍

[摘要]磷酸二氢钾(KDP)晶体是一种经典的电光材料, 是目前唯一可用于惯性约束核聚变的非线性光学材料。鉴于籽晶和生长方法对KDP晶体的生长和质量具有重要的影响, 本文采用传统法生长法和点籽晶快速生长法生长KDP晶体, 通过改...

 PDF全文光学 精密工程 | 2019, 27(03):511

 脉冲激光输出参数对光学薄膜损伤阈值的影响

严荣荣 苏俊宏 杨利红

[摘要]激光诱导薄膜损伤阈值的准确测量是判别光学薄膜抗激光损伤能力的重要依据。采用单因素控制变量法, 建立了激光能量误差、聚焦光斑尺寸误差与损伤阈值误差的数值模型, 理论分析了能量误差、聚焦光斑尺寸误差对薄膜损伤...

 PDF全文光学与光电技术 | 2019, 17(02):34

 飞秒脉冲激光对硅基多层膜损伤特性

郑长彬 邵俊峰 李雪雷 王化龙 王春锐 陈 飞 王挺峰 郭 劲

[摘要]为了明确超快激光损伤典型成像探测器膜层结构的物理机制, 对飞秒脉冲激光辐照硅基多层膜的损伤特性, 以及各种损伤效应对应的激光能量通量范围和阈值条件进行研究。利用波长为800 nm、脉冲宽度为100 fs的脉冲激光和金...

 PDF全文中国光学 | 2019, 12(02):371

 γ射线辐照快速生长KDP晶体的性能

谢晓义 朱茂东 王斌 王虎 齐红基 邵建达

[摘要]采用连续过滤快速横向生长技术, 有效增大了磷酸二氢钾(KDP)晶体的Z向长度, 提高了单位晶体II类元件的切片率。使用不同剂量的γ射线辐照II类晶体坯片后, 测试其光学性能与抗激光损伤阈值。研究结果显示, 不同剂量的γ...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(10):1003004

 基于高斯脉冲激光空间分辨测量光学元件表面激光损伤阈值研究

单翀 赵元安 张喜和 胡国行 王岳亮 彭小聪 李成

[摘要]提出一种基于高斯脉冲激光空间分辨测量光学元件表面激光损伤阈值的方法。通过设定激光能量密度差对高斯光斑进行能量密度分区, 统计并分析每个能量密度分区的能量密度以及损伤密度分布, 设定一个零损伤密度所对应的激...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(01):0104002

 脉宽及重频对HgCdTe探测器损伤阈值影响分析

郑业亮 胡以华 赵楠翔 任晓东

[摘要]为了研究脉宽及重频对HgCdTe探测器损伤阈值影响,采用有限元法对HgCdTe红外探测器进行2维建模,以及激光辐照探测器温度场的仿真,得到了波段内外脉宽从10ns~1000ns的单脉冲激光损伤阈值。由于采用实验测定所有脉宽激光损...

 PDF全文激光技术 | 2018, 42(02):265

 S-on-1测量方式下薄膜激光损伤的累积效应

李玉瑶 张婉怡 刘 喆 李美萱 付秀华

[摘要]为了研究薄膜激光损伤机理及影响因素, 基于平顶光束辐照测量的原理, 采用1064nm的Nd∶YAG激光器, 对电子束热蒸发方式镀制的HfO2薄膜在重复频率激光作用下损伤的累积效应进行了理论分析和实验验证。运用损伤阈值的测量...

 PDF全文激光技术 | 2018, 42(01):39

 10.6 μm激光对锑化铟红外探测器的热损伤研究

张 悦 牛春晖 李晓英 张巧云

[摘要]通过介绍锑化铟红外探测器的基本构成及其材料热学相关特征,阐述了激光辐照锑化铟红外探测器造成的损伤机理,采用有限元分析法,分析相关的辐照环境和条件并建立了一种三维仿真模型。仿真模拟了波长为10.6 μm 的CO2...

 PDF全文红外技术 | 2018, 40(06):528

 532 nm激光辐照下ZnSe薄膜光学特性研究

王 建 徐均琪 李候俊 李 绵 苏俊宏

[摘要]采用电子束热蒸发技术制备了ZnSe薄膜, 研究了532 nm波长的不同能量(2.0 mJ、2.5 mJ、3.0 mJ)、不同脉冲数(3、10、15)激光诱导前后, ZnSe薄膜的透射率、折射率、消光系数、损伤阈值(LIDT)的变迁。研究结果显示, 在能量...

 PDF全文应用光学 | 2018, 39(06):929

 节瘤缺陷平坦化提高高反射膜的激光损伤阈值

谢凌云 何 涛 张锦龙 焦宏飞 马 彬 王占山 程鑫彬

[摘要]探究了节瘤缺陷平坦化技术中平坦化层(刻蚀层)厚度和种子源尺寸之间的刻蚀规律,同时解释了平坦化技术提高节瘤缺陷的损伤阈值的机制。在双离子束溅射系统中,使用SiO2微球模拟真实的种子源置于基板上,镀制1064 nm ...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2018, 30(09):092001

 1064 nm和532 nm纳秒激光同时辐照熔石英损伤规律的研究

叶 成 邱 荣 蒋 勇 高 翔 郭德成 周 强 邓承付

[摘要]利用Nd:YAG激光器研究基频(1064 nm)与倍频(532 nm)单独辐照和同时辐照下熔石英的损伤规律,对损伤几率进行了测试,获得损伤几率曲线与典型损伤形貌。研究结果表明:双波长同时辐照下的初始损伤阈值总是小于单波长辐照...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2018, 30(04):041003

 非固定环带随机双面抛光技术研究

何曼泽 周佩璠 黄 颖

[摘要]提出了一种基于平移偏摆运动的非固定环带随机双面抛光的方法, 通过设计平移偏摆装置使得工件运动方式脱离固定环带的限制, 借助随机性运动进行迭代, 解决了行星式双面抛光等固定环带抛光过程中产生的周期性轨迹问题; ...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2018, 30(12):122003

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