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 储备池计算硬件实现方案研究进展

李磊 方捻 王陆唐 黄肇明

[摘要]储备池计算是一种适合处理时序信号的简单高效的机器学习算法。相比在传统电子计算机上用软件实现的方式, 储备池计算在光器件上的实现方式将更有利于超高速和超低功耗的信息处理。介绍了储备池计算的基本原理, 从输入...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(08):080005

 光纤布拉格光栅制作中心波长控制技术

唐健峰 季树滨 车雅良 张灵艺 张引发

[摘要]为了解决光纤布拉格光栅制作中波长控制的问题,提高已有方案的精度,提出了一种基于相位掩模法刻写布拉格光栅过程中拉力调节和紫外光补偿的光栅刻写波长两步控制法。在光纤两端悬挂砝码调节其所受拉力,使刻写光栅的...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(07):070604

 基于光纤激光表面改性的不锈钢微细电解加工技术

李小海 薛贝贝 王淑铭 张 霞 黄德臣 史立秋

[摘要]将光纤激光表面改性技术和微细电解加工技术相结合,在不锈钢表面加工复杂微细型腔等微小零件。先利用光纤激光在304不锈钢表面制作掩模图案;再利用掩模的耐腐蚀性,在微细电解加工时实现微细型腔的定域加工。研制了光...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(07):071404

 基于相位掩模法的高阶布拉格波导光栅特性

张爱玲 田红苗 李青青 王 钊

[摘要]对基于相位掩模法的高阶布拉格(Bragg)波导光栅的特性进行了研究, 不同阶数Bragg波导光栅的谐振波长均随饱和系数的增大而增大。综合考虑光栅阶数、相位掩模板衍射效率及饱和系数对Bragg波导光栅折射率调制幅度的影响,...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(01):010603

 多孔掩模对统计独立散斑图像形成的影响分析

徐美芳 丁俊文 胡鹏 王浩全 王冠军

[摘要]基于叠加统计独立散斑图像的散斑抑制原理, 设计了一个具有N个透光孔的掩模板, 将其放置于成像透镜出瞳面上, 理论研究了产生统计独立散斑图像所需的条件。在简化光学系统中, 将散射片与探测面分别置于透镜成像共轭面上...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(01):0101005

 基于离散余弦变换与二维Ushiki混沌的图像加密

谷帆 唐晨 苏永钢 程佳佳 李碧原 雷振坤

[摘要]提出了一种基于离散余弦变换与混沌随机相位掩模的图像加密方法。起密钥作用的两块混沌随机相位掩模由二维Ushiki混沌系统生成, Ushiki混沌系统的初值和控制参数可以替代随机相位掩模作为加解密过程中的密钥, 因此便于...

 PDF全文光学技术 | 2017, 43(第4):319

 基于离散余弦变换与二维Ushiki混沌的图像加密

谷帆 唐晨 苏永钢 程佳佳 李碧原 雷振坤

[摘要]提出了一种基于离散余弦变换与混沌随机相位掩模的图像加密方法。起密钥作用的两块混沌随机相位掩模由二维Ushiki混沌系统生成, Ushiki混沌系统的初值和控制参数可以替代随机相位掩模作为加解密过程中的密钥, 因此便于...

 PDF全文光学技术 | 2017, 43(04):319

 基于多混沌系统的双图像光学加密算法

孙杰

[摘要]为了扩展双图像光学加密算法的密钥空间, 克服双随机相位加密系统中随机相位掩模作为密钥难于存储、传输和重构的问题, 突破传统图像加密的研究思路, 提出了一种基于多混沌系统的双图像加密算法, 构造了光学加密系统。...

 PDF全文光学技术 | 2017, 43(03):279

 微结构窄带滤光片设计及制备工艺研究

潘永强 陈佳

[摘要]为了提升微结构窄带滤光片的光谱透过率, 增大微结构单元的制备精度, 提出一种新的膜系镀制方法和微结构单元的制备方法。基于法布里-珀罗(F-P)多光束干涉仪原理设计了3种不同中心波长的窄带滤光片, 采用光化学掩模分离...

 PDF全文应用光学 | 2017, 38(01):78

 基于变量分离分解法的极紫外光刻三维掩模快速仿真方法

张 恒 李思坤 王向朝

[摘要]提出了一种基于分离变量法的极紫外光刻三维掩模衍射谱快速仿真方法, 在保证一定仿真精度的前提下提高了仿真速度。该方法将三维掩模分解为2个相互垂直的二维掩模, 对2个二维掩模采用严格电磁场方法进行衍射谱仿真并将...

 PDF全文光学学报 | 2017, 37(05):0505001

 准分布式光纤布拉格光栅高温传感器

杜勇 司金海 陈涛 李思佳 崔巍 李存霞 侯洵

[摘要]针对耐高温准分布式光纤布拉格光栅(FBG)传感器的需求,利用飞秒激光相位掩模辐照结合光纤拉伸,研究出制备不同周期的布拉格光栅的方法。通过改变光纤两端施加应力的大小来控制FBG的周期,得到具有不同布拉格波长的...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2016, 53(10):100606

 多算法融合的自适应图像增强方法

巨刚 袁亮 刘小月 何巍

[摘要]提出一种多算法融合的图像增强方法, 用于工程应用中的复杂降质图像的细节特征恢复.该方法汲取了Laplacian变换法、Sobel梯度法、盒状滤波法、非锐化掩蔽法及灰度幂律法等算法的优点, 可对模糊图像进行自适应增强.通过...

 PDF全文光子学报 | 2016, 45(12):1210002

 凸球面网栅激光直写技术

胡内彬 白 剑 墨洪磊 朱蓓蓓 兰 洁 梁宜勇

[摘要]为了满足凹球面光刻所需的曲面网栅掩模的需求,建立了凸球面激光直接写入系统用于制作曲面网栅掩模。该系统目前支持最高±20°的基片倾斜,结合加工时的曝光量修正算法,在口径为50 mm、曲率半径为51.64 mm的...

 PDF全文红外与激光工程 | 2016, 45(01):0120002

 干涉条纹相位变化对平面全息光栅曝光的影响

宋 莹

[摘要]为更好地评价平面全息光栅曝光系统的性能,了解干涉条纹相位变化对光栅制作的影响,基于曝光量表达式,结合光栅掩模槽形二元模型,采用理论分析和数值计算的方法,分析了条纹相位变化对曝光对比度、光栅掩模槽形和曝...

 PDF全文激光技术 | 2016, 40(03):339

 感应耦合等离子体干法刻蚀中光刻胶掩模的异常性

乔辉 刘诗嘉 刘向阳 朱龙源 兰添翼 赵水平 王妮丽 李向阳

[摘要]利用光刻胶作刻蚀掩模对半导体样品进行感应耦合等离子体干法刻蚀时发现光刻胶掩模在刻蚀后表面出现凸起和孔洞等异常现象, 等离子体会透过部分孔洞对样品表面产生刻蚀损伤。利用探针式表面轮廓仪和激光共聚焦显微镜对...

 PDF全文半导体光电 | 2016, 37(01):59

 黑硅的无掩模反应离子刻蚀法制备及光学性能研究

廖乃镘 向鹏飞 李仁豪

[摘要]采用无掩模反应离子刻蚀法制备了黑硅。利用扫描电子显微镜及紫外-可见-近红外分光光度计研究了黑硅的微结构和光学特性。结果表明, 黑硅微结构高度为2.0~3.5μm, 径向尺寸90~400nm, 间距200~610nm。在400~1000nm光谱范...

 PDF全文半导体光电 | 2016, 37(01):41

 基于多染色体遗传算法的像素化光源掩模优化方法

杨朝兴 李思坤 王向朝

[摘要]提出了一种基于多染色体遗传算法(GA)的像素化光源掩模优化(SMO)方法。该方法使用多染色体遗传算法,实现了像素化光源和像素化掩模的联合优化。与采用矩形掩模优化的单染色体GASMO方法相比,多染色体GASMO方法具有更高...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(08):0811001

 基于动态适应度函数的光源掩模优化方法

杨朝兴 李思坤 王向朝

[摘要]提出了一种基于动态适应度函数的光刻机光源掩模优化方法(SMO)。动态适应度函数方法在遗传算法优化过程中采用动态适应度函数模拟真实光刻工艺条件误差对光刻结果的影响,得到对光刻工艺条件误差不敏感的优化光源和优化...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(01):0111006

 编码掩模红外成像的建模与性能分析(英文)

张傲 汪清 杨敬钰 孙懿

[摘要]针对编码掩模红外成像系统提出了一种建模方法。该模型将成像系统视为由两个功能部分组成,一部分为编码掩模与理想聚焦透镜的理想成像,另一部分为实际透镜自身的非理想成像。据此,系统点扩散函数可以由掩模结构的衍...

 PDF全文红外与激光工程 | 2015, 44(10):2891

 2 μm分辨DMD光刻系统镜头设计

郭华 周金运 刘志涛 雷亮

[摘要]针对2 μm分辨力的光刻, 在以数字空间微反射器(DMD)为空间光调制器(SLM)的光刻系统中, 采用一种新的非对称式结构组合, 使用较少的透镜组成了一个高分辨力、大孔径的投影光刻镜头。利用ZEMAX 光学设计软件对其进行了建...

 PDF全文光电工程 | 2015, 42(03):83

 基于粒子群优化算法的光刻机光源优化方法

王磊 李思坤 王向朝 闫观勇 杨朝兴

[摘要]提出了一种基于粒子群优化算法的光刻机光源优化方法.将光源信息编码为粒子,利用图形误差作为评价函数,通过更新粒子的速度与位置信息不断迭代优化光源图形.对周期接触孔阵列和含有交叉门的复杂掩模图形的仿真验证表明...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(04):0422002

 厚胶接近式光刻中掩模优化研究

何骏 刘世杰 王斌 郭猛 王岳亮

[摘要]随着光刻胶厚度的不断增大,制作的光刻图形畸变愈发严重,这极大的影响了微结构器件的性能与应用.针对高深宽比柱状微结构在光刻胶厚度方向上畸变的特点,提出了双面曝光和亮衬线、灰阶掩模相结合的办法,利用遗传算法对失...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2015, 27(07):074104

 多重旋转对称结构光子晶格的实验研究

武一洁 杨立森 王龙飞 李强 施慧渊

[摘要]采用光诱导光子晶格的方法,利用3 孔、4 孔、5 孔、8 孔和12 孔掩模在掺铁铌酸锂晶体中写入多重旋转对称结构的二维光子晶格。基于干涉理论,对多孔掩模干涉图样进行了数值模拟。通过实验成功地观测到了3 孔、4 孔、5...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2014, 51(03):031902

 一种制作凹形聚二甲基硅氧烷微透镜阵列的方法

钟可君 高益庆 李凤 张志敏

[摘要]提出一种制作凹形聚二甲基硅氧烷(PDMS)微透镜阵列的方法。用数字微镜器件(DMD)代替物理掩模,建立数字灰阶无掩模光刻系统,在光刻胶上制作正方形基底凸形微透镜阵列,以此阵列为母板,采用复制方法,制作了高填充因子...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(03):0310002

 基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法

李兆泽 李思坤 王向朝

[摘要]随着集成电路特征尺寸进入2Xnm及以下节点,光源与掩模联合优化(SMO)成为了拓展193 nm ArF浸没式光刻工艺窗口、减小工艺因子的重要分辨率增强技术(RET)之一。提出了一种基于随机并行梯度速降(SPGD)算法的SMO方法,通过...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(09):0911002

 飞秒激光刻写高阶倾斜光纤Bragg光栅

陈超 杨先辉 王闯 于永森

[摘要]报道了一种利用飞秒激光微纳加工技术在非敏化单模光纤中制备的高阶倾斜光纤Bragg光栅(HO-TFBG)。倾斜折射率调制是将聚焦的飞秒激光穿过高阶相位掩模板,并扫描曝光倾斜放置的光纤实现的,其覆盖了全部纤芯和部分包...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(05):0506001

 基于二次规划的光刻机光源优化方法

闫观勇 李思坤 王向朝

[摘要]提出一种基于二次规划的光刻机光源优化方法。采用空间像与目标像的图形误差为目标函数,根据空间像强度与不同位置的点光源之间的线性关系,将光源优化转换成二次规划问题。将掩模图形区域分成限制区域和比较区域,对...

 PDF全文光学学报 | 2014, 34(10):1022004

 光学掩模实现几何超分辨成像的仿真

刘晶丹 许廷发 荀显超 刘子伟 王洪庆 饶志涛

[摘要]将基于实际CCD模型的频谱编码方法引入光电成像系统,以克服CCD对空间分辨率的限制,实现几何超分辨成像。介绍了光学掩模实现几何超分辨成像的工作原理,基于实际的CCD模型在4f成像系统的频谱面上放置光学编码掩模来提...

 PDF全文光学 精密工程 | 2014, 22(08):2026-2031

 点衍射干涉仪小孔掩模技术研究进展

于长淞 向阳

[摘要]在点衍射干涉仪中小孔掩模的主要作用是通过衍射产生接近理想的球面波用于干涉测量,其直径、圆度及三维形貌对测量精度有决定性影响。介绍了小孔掩模的结构与作用原理,对小孔衍射电磁场仿真技术进行了分类比较。对国...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2013, 50(03):030004

 基于相位掩模板的拉丝塔在线制作光纤布拉格光栅方法及装置研究

余华 何伟 郭会勇 李小甫 冯博 喻玄

[摘要]拉丝塔在线制作光纤布拉格光栅(FBG)可以在单根光纤上制作无焊点串接的FBG阵列,有利于构建大规模的传感网络。尝试用相位掩模方法在拉丝塔上在线制作FBG,使用这种方法可以精确地控制所制作FBG的布拉格波长。针对相位...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(05):0505001

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