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 充氧口位置对电子束蒸发沉积HfO2薄膜性质的影响

郑如玺 易葵 范正修 邵建达 涂飞飞

[摘要]充氧口位置直接影响了真空室内的氧气分布,进而对薄膜的光学性能造成重要影响。为了研究充氧口位置对HfO2薄膜性质的影响,在2个典型的充氧口位置采用电子束蒸发技术在石英基底上沉积了HfO2单层膜,并结合紫外-可见光...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(10):1003001

 不同基底上SiO2薄膜红外波段的水吸收特性

李豪 易葵 崔云 范正修

[摘要]研究了SiO2薄膜的微结构与水吸收特性之间的内在联系,分别在Si、Al2O3和JGS3基底应用电子束蒸发沉积SiO2薄膜。实验用原位傅里叶红外漫反射光谱(in-situ DRIFTS)检测薄膜水吸收特性,并结合原子力显微镜(AFM)进行微...

 PDF全文中国激光 | 2014, 41(07):0707001

 飞秒脉冲激光系统中GiresTournois镜的设计

廖春艳 秦君军 邵建达 程光华 范正修 忽满利

[摘要]介绍了GiresTournois镜的基本结构,运用薄膜光学理论计算了GiresTournois镜的色散,分析了各个组成部分对GiresTournois镜性能的影响.结果表明:高反射膜堆的选择影响GiresTournois镜的反射率性能,高反射膜堆...

 PDF全文光子学报 | 2013, 42(08):967-972

 磷酸盐激光玻璃与光学沥青抛光胶的摩擦特性

单海洋 徐学科 贺洪波 张宝安 易葵 邵建达 范正修

[摘要]摩擦系数是表征光学玻璃抛光特性的重要参量,平均摩擦系数决定了抛光速率,摩擦系数的变化范围影响光学玻璃的面形精度和表面粗糙度。通过正交实验,研究了抛光过程中实验因素对磷酸盐激光玻璃和光学沥青抛光胶之间摩...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(04):0406001

 不同工艺条件下TiO2单层膜的吸收和损伤阈值测试

徐俊海 赵元安 邵建达 范正修

[摘要]利用电子束热蒸发技术在不同氧分压和烘烤温度下镀制了一系列TiO2单层膜,采用表面热透镜技术测量了样品在1064 nm处的弱吸收值,并用激光损伤测试平台测量了样品的抗激光损伤阈值(LIDT)特性。实验结果表明较高的氧分压...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(04):0407001

 多晶氧化物薄膜及复合膜系应力模型

李静平 方明 贺洪波 邵建达 范正修 李朝阳

[摘要]基于膜层结构的弛豫现象,建立了一个多晶膜的应力演化模型,并通过线性组合给出了复合膜的生长应力模型。利用双光束基底曲率测量装置实时测量了电子束蒸发氧化铪、氧化硅多晶膜及其复合膜的应力演化过程,并对测量结...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(10):1031004

 多脉冲激光作用下高反膜中本征缺陷和光致缺陷的研究

王营 赵元安 邵建达 范正修

[摘要]本文研究了在多脉冲激光作用下高反膜中光致缺陷和本征缺陷的作用。HfO2 /SiO2 高反膜采用电子束蒸发制备。对样品进行了1-on-1和S-on-1的损伤测试,测试波长为355nm,脉宽为8ns。实验发现,多脉冲阈值要比单脉冲低。分...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2011, 9(09):093102

 离子辅助偏压对HfO2和SiO2单层膜的性能的影响

朱美萍 易葵 范正修 邵建达

[摘要]本文在K9玻璃基底上制备了HfO2和SiO2单层膜,利用莱宝公司的APS源对其进行等离子体辅助。HfO2单层膜采用偏压为70到130V的能量进行辅助,SiO2单层膜采用偏压为70到170V的能量进行辅助。对薄膜的光学、结构、机械性能,...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2011, 9(02):023101

 Cr∶LiSAF飞秒激光器中Gires-Tournois镜的设计

廖春艳 范正修 邵建达

[摘要]飞秒激光脉冲的产生主要依赖于激光腔内净的负群延迟色散.但是在固体激光器中,增益介质和其它光学元件却引入了正色散,因此需引入相应的色散补偿机制.布儒斯特角棱镜对曾是激光腔中色散补偿的主要办法,但是它在进行...

 PDF全文光子学报 | 2011, 40(08):1177-1180

 纳秒激光表面改性对Ta2O5/SiO2介质膜飞秒激光诱导损伤行为的影响

陈顺利 赵元安 高鹏鹏 李大伟 贺洪波 邵建达 范正修

[摘要]利用中心波长1064 nm、脉宽12 ns、重复频率5 Hz的NdYAG激光系统,对800 nm、0° Ta2O5/SiO2高反膜进行三种能量台阶数的激光预处理扫描改性;控制扫描速度使辐照脉冲能量重叠70%的峰值能量,辐照模式1-on-1。利用...

 PDF全文中国激光 | 2011, 38(s1):s103002

 《光学学报》与上海光机所光学薄膜的发展

范正修

[摘要]

 PDF全文光学学报 | 2011, 31(09):0900144

 光学薄膜及其进展

范正修

[摘要]对光学薄膜的性能及制备技术等方面进行了简要的评述,并指出随着科学技术的进步,光学薄膜及相关技术不论从广度还是深度来看都得到了显著发展。

 PDF全文光学学报 | 2011, 31(09):0900131

 光学薄膜中节瘤缺陷研究进展

单永光 刘晓凤 贺洪波 范正修

[摘要]结合本实验室及国内外同行的工作进展,概括性地介绍了光学薄膜中节瘤缺陷的生长特性、结构特征和损伤特性,以及激光预处理和破坏修复技术的研究进展。节瘤种子的尺寸、形状和表面特性决定了节瘤缺陷的尺寸、边界结构...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2011, 23(06):1421-1429

 -1级高衍射效率的浅刻蚀多层介质膜光栅的设计

汪剑鹏 晋云霞 刘世杰 邵建达 范正修

[摘要]本文报道了一种新的浅刻蚀多层介质膜光栅(multilayer dielectric grating MDG)的设计。该光栅在中心波长1064nm近Littrow角入射时,对应的-1级衍射效率接近100%。本文采用了粒子群优化算法优化设计了MDG,采用傅里叶模...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(s1):29

 Ni/C多层膜通过软X射线振荡反射率的结构精细分析

邓淞文 齐鸿基 魏朝阳 易葵 范正修 邵建达

[摘要]X射线小角掠入射反射率曲线是确定多层膜结构的传统方法,但是该曲线对多层膜的界面状态(如组成)并不敏感。虽然软X射线振荡反射率曲线对膜层的结构和成分极为敏感,达到了亚纳米量级,但是在处理曲线时,过多的拟合参...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(s1):170

 不同类型色散镜的设计和分析

王胭脂 邵建达 张伟丽 魏朝阳 黄建斌 晋云霞 易葵 范正修

[摘要]分别设计和讨论了三种不同类型的色散镜。第一种是啁啾镜对,通过变化色散振荡周期,在波长550-1050nm的范围内提供光滑的群延迟色散(group delay dispersion,GDD);第二种是高色散镜,结合chirped mirrors(CM) 和 G...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(s1):18

 多模平板周期波导中的导模共振

孙天玉 晋云霞 邵建达 范正修

[摘要]利用等效折射率理论和平板波导本征值方程,我们设计了一个带有兼并态的多模平板周期波导。当以设计的波长和入射角入射时,在等效波导层内多个泄露模可以同时被激发。利用严格耦合波理论,我们求解了此入射条件下的反...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(06):557

 高性能偏振薄膜的制备

朱美萍 易葵 张伟丽 范正修 贺洪波 邵建达

[摘要]偏振薄膜的分光特性对膜层厚度非常敏感,本文对一个规整膜系偏振膜的敏感层进行了优化,在不增加总的膜层层数和厚度的情况下增加了偏振膜的带宽;建立了一套膜厚自动控制系统,并对不同的控制方法引起的误差进行了分...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(06):624

 激光预处理对HfO2单层膜缺陷的影响

李笑 赵元安 刘晓凤 邵建达 范正修

[摘要]本文利用激光诱导损伤阈值的光斑效应研究了激光预处理对电子束蒸发制备的HfO2单层膜缺陷的影响。研究表明HfO2单层膜的损伤阈值可以提高1.3~1.6倍,同时,激光预处理可以清除薄膜中低阈值缺陷,部分高阈值缺陷也可以...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(06):615

 利用损伤几率曲线拟合研究ZrO2/SiO2高反射膜的激光预处理机理

李笑 刘晓凤 赵元安 邵建达 范正修

[摘要]本文引入激光诱导损伤几率曲线拟合方法研究ZrO2/SiO2高反射膜的激光预处理机理。测得样品预处理扫描前后的损伤阈值后,利用损伤几率曲线拟合出缺陷的参数。实验表明,激光预处理的作用包括两个方面:清除薄膜中低阈值...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(06):598

 单一材料导模共振反射滤光片的设计与制作

孙天玉 麻健勇 付小勇 汪剑鹏 晋云霞 邵建达 范正修

[摘要]我们设计和制作了波导层和光栅层都由Ta2O5构成的单一材料导模共振滤光片。这种单一材料结构易于加工,并且能够避免波导层和光栅层用不同材料时交接面上的缺陷。Lambda 900光谱仪测量出TE波正入射下反射峰值在1040nm处...

 PDF全文Chinese Optics Letters | 2010, 8(05):447

 193 nm氟化物高反膜研究

薛春荣 易葵 邵建达 范正修

[摘要]为了研制低损耗、高性能的193 nm氟化物高反膜,对193 nm氟化物高反膜的设计、制备与性能分析进行了深入探讨。用挡板法和预镀层技术相结合,实现了在现有镀膜机上对193 nm薄膜的膜厚控制。在熔石英基底(JGS1)上,用热舟蒸...

 PDF全文中国激光 | 2010, 37(08):2068-2072

 HfO2薄膜的光致发光谱与激发谱

王营 赵元安 贺洪波 邵建达 范正修

[摘要]利用电子束蒸发和自动晶控技术制备了氧化铪薄膜,并对薄膜进行了退火处理。通过光致发光(PL)光谱、光致发光激发谱(PLE)和X射线衍射(XRD)等测试对HfO2薄膜进行表征,研究了退火对HfO2薄膜结构及发光特性的影响。室温下对...

 PDF全文中国激光 | 2010, 37(04):1104-1107

 电子束自动扫描SiO2材料沉积速率控制实验研究

王宁 魏朝阳 邵建达 范正修 易葵

[摘要]沉积速率是电子束蒸发制备光学薄膜的重要工艺参数之一,影响着成膜的微观结构和化学成分,从而对薄膜的光学性质和机械性质都产生很大的影响。SiO2材料是制备光学薄膜的主要低折射率材料之一,由于其导热性很弱,并且...

 PDF全文中国激光 | 2010, 37(10):2615-2619

 激光预处理ZrO2-SiO2 1064 nm高反射膜的机理

李笑 刘晓凤 单永光 赵元安 邵建达 范正修

[摘要]分析了激光预处理对ZrO2-SiO2 1064 nm 高反射膜激光损伤阈值以及引起损伤缺陷的影响。在以缺陷损伤阈值和缺陷密度表征缺陷的基础上,研究了预处理前后薄膜中引起损伤缺陷的变化情况。研究了激光预处理能量和预处理效果...

 PDF全文光学学报 | 2010, 30(08):2284-2289

 多腔诱导透射滤光片缺陷的成因分析及抑制

卢宝文 徐学科 刘光辉 胡国行 刘晓凤 范正修

[摘要]多腔诱导透射滤光片制备后出现的缺陷,严重地影响了薄膜样品的品质以及环境稳定性。实验用热蒸发的方法在室温浮法玻璃基底上制备了四腔诱导透射滤光片。用光学显微镜观测了缺陷的形貌,将缺陷分为不同类型的点状缺陷和...

 PDF全文光学学报 | 2010, 30(07):2149-2153

 双折射消偏振膜的设计和制备

王晴云 齐红基 贺洪波 邵建达 范正修

[摘要]基于倾斜沉积薄膜材料的双折射特性,采用单一TiO2设计和制备了中心波长为632 nm的双折射消偏振膜。首先以60°和70°的沉积角度镀制了TiO2单层膜,通过单层膜的透射光谱分别拟合出两种沉积角度下薄膜对s和p偏振...

 PDF全文光学学报 | 2010, 30(07):2154-2158

 基于国产啁啾镜色散补偿的近10 fs钛宝石激光器锁模特性的研究

宋有建 胡明列 王胭脂 邵建达 晋云霞 柴路 范正修 王清月

[摘要]报道了一种基于国产非成对设计的啁啾镜作为腔内色散补偿的钛宝石激光器, 在93.7 MHz的重复频率下, 得到了平均功率为120 mW的稳定的锁模脉冲输出, 经腔外色散补偿, 得到了最窄9.7 fs的脉冲宽度。通过调节腔内光楔的插...

 PDF全文光学学报 | 2010, 30(11):3215-3220

 不同沉积速率下热蒸发银膜的光学性能和结构分析

卢宝文 徐学科 余祥 范正修

[摘要]实验分别采用5种不同的沉积速率(0.44,0.30,0.18,0.08和0.04 nm/s)制备了金属银薄膜,膜系结构为基底/Al2O3/Ag/Al2O3/Air。光谱测试结果表明,沉积速率0.18 nm/s的样品具有最高的平均反射率。采用X射线衍射(XRD)仪分析了...

 PDF全文光学学报 | 2010, 30(01):283-286

 缓冲层对LiB3O5晶体上1064 nm,532 nm倍频增透膜性能的影响

谭天亚 于撼江 吴炜 郭永新 邵建达 范正修

[摘要]采用电子束蒸发方法在LiB3O5(LBO)晶体上制备了无缓冲层和具有不同缓冲层的1064 nm,532 nm倍频增透膜。利用Lambda900分光光度计、MTS Nano Indenter纳米力学综合测试系统以及调Q脉冲激光装置对样品的光学性能、附着力...

 PDF全文光学学报 | 2010, 30(01):272-276

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