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 Ag扩散对Ag/MgF2薄膜界面结构和光学性能的影响

王丽平 杨建新 韩培德

[摘要]采用密度泛函理论的第一性原理计算了不同Ag(111)/MgF2(001)薄膜界面结构的界面能,分析了薄膜界面稳定性。通过搭建Ag扩散的Ag(111)/MgF2(001)界面模型,研究了界面处Ag的扩散行为和扩散机理,分析了Ag扩散对薄膜光学性...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(06):061601

 氧化锌薄膜的准分子激光退火热效应模拟分析

邵景珍 王 玺 胡红涛 方晓东

[摘要]基于热传导方程建立了ZnO薄膜的准分子激光辐照理论模型,模拟分析了KrF准分子激光辐照ZnO薄膜的热效应。计算了薄膜的温度场分布和热流分布,讨论了激光作用过程中的温度随时间的变化关系,分析了激光能量密度对薄膜温...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(06):061401

 NbSiN薄膜的制备及光学性能研究

张易君 张粞程 栾明昱 曾 陶 黄佳木

[摘要]采用射频磁控溅射法,以铌靶和硅靶为靶材,在玻璃基片上沉积了NbSiN薄膜。研究了硅靶、铌靶功率、氮气流量以及溅射时间对薄膜光学性能的影响,得出实验室条件下的最佳制备工艺参数。测试结果表明,最佳工艺参数下制备...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(03):033101

 新型波导型准直投影系统中衍射光栅的设计

黄战华 马云飞 尤 勐 刘泽阳 蔡怀宇

[摘要]新型波导型准直投影系统利用衍射光栅,仅使用一块波导板即可完成光束的耦合、扩展和成像,更利于系统集成和小型化,具有很高的研究价值。基于严格耦合波理论建立了新型波导型准直投影系统中衍射光栅的Matlab模型,并...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(03):030501

 银饰批量处理中二氧化钛薄膜抗变色性能

杨永亮 张泓筠 岳 莉 李 娜 曾凡菊 付秀华

[摘要]采用原子层沉积技术实现了膜层厚度均匀性小于3.5%的银饰TiO2保护薄膜的制备。X射线衍射测试结果表明,沉积温度为100 ℃时薄膜为无定型结构,沉积温度为250 ℃时薄膜为锐钛矿相。腐蚀实验结果表明,30 nm和45 nm厚度的...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(03):033102

 脉冲激光沉积法合成(Bi,Er)2Ti2O7介电薄膜及其上转换发光

梁立容 王 凤 邱泽敏

[摘要]采用脉冲激光沉积法在透明导电(ITO)玻璃衬底上制备(Bi, Er)2Ti2O7介电薄膜。当沉积温度范围控制在500~600 ℃时, 均可获得纯度较高的Bi2Ti2O7薄膜。常温下, Bi2Ti2O7薄膜的介电常数的范围为166~178, 随频率和温度变...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(01):013101

 热退火处理对氧化铟锡薄膜光电特性的影响

肖和平 郭冠军 马祥柱 张双翔

[摘要]应用电子束蒸镀氧化铟锡(ITO)薄膜, 在氮气环境中对ITO膜进行不同温度下快速热退火(RTA)处理。采用X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)技术、扫描电子显微镜(SEM)、可见光分光谱仪、四探针测试仪测试了快速热退火...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(01):013102

 CMOS传感器紫外敏化膜层的厚度优化及其光电性能测试

刘琼, 马守宝 钱晓晨 阮俊 卢忠荣 陶春先

[摘要]采用真空热阻蒸方式在CMOS图像传感器感光面上镀制不同厚度性比价高的Lumogen薄膜.研究发现不同Lumogen薄膜厚度的CMOS传感器的暗电流噪声未发生明显变化,说明真空热蒸发方式对互补金属氧化物半导体器件本身未造成热损...

 PDF全文光子学报 | 2017, 46(06):0604002

 10 m大口径薄膜衍射主镜的色差校正技术研究

任智斌 胡佳盛 唐洪浪 金鑫

[摘要]分析了薄膜衍射主镜的成像性能及色散特性, 利用含有衍射面的反射式消色差光路校正了衍射主镜的强色散, 使成像系统的工作波段达到40 nm、视场达到0.02°, 设计了10 m口径、115.73 m总长的短结构合成孔径薄膜衍射成...

 PDF全文光子学报 | 2017, 46(04):0422004

 基于PET基底透明屏蔽膜的制备研究

付秀华 郭贵新 刘禹冰

[摘要]为满足光学器件透红外屏蔽电磁波的要求, 在PET柔性基底上制作了金属网栅透明屏蔽膜.分析网栅参数对其屏蔽效率及透过率的影响, 选取结构参数.针对PET基底的柔性特点及其热稳定性, 经试验研究优化光刻工艺中的提拉速度...

 PDF全文光子学报 | 2017, 46(04):0431001

 余弦光栅硅薄膜太阳能电池光吸收分析

陈科 吴睿 郑红梅 汪园园

[摘要]设计了一维双层余弦共形光栅结构的单晶硅薄膜太阳能电池.利用时域有限差分法模拟计算了双层余弦共形光栅结构和对照组结构的吸收光谱; 利用归一化光吸收密度的概念, 定量分析了300~700 nm和700~1 100 nm两个波段的光...

 PDF全文光子学报 | 2017, 46(04):0431002

 Ni/Au层对碳纳米管薄膜强流脉冲发射稳定性的影响

麻华丽 杨晓辉 曾凡光 夏连胜 谌怡 张篁

[摘要]采用酞菁铁高温裂解法在镀有镍金缓冲层的硅基底上生长了碳纳米管薄膜(Ni/Au-CNT), 并采用二极结构在相同的主Marx电压下研究了其强流脉冲发射稳定性.结果表明: 在脉冲电压峰值为1.60~1.74 MV(对应的脉冲电场峰值为11...

 PDF全文光子学报 | 2017, 46(03):0331001

 钙钛矿薄膜的微结构和光电特性优化

郭秀斌 于威 李婧 蒋昭毅

[摘要]分别以纯二甲基甲酰胺、纯二甲基亚砜以及二者不同比例的混合物作为前驱体溶剂, 制备钙钛矿薄膜样品.将薄膜样品分为两组, 分别将其置于氮气氛围中进行热退火和二甲基亚砜蒸汽氛围中进行溶剂退火, 并对薄膜样品的微观结...

 PDF全文光子学报 | 2017, 46(03):0331004

 溶液pH值对化学浴法制备的CdxZn1-xS薄膜光电性能的影响

姚函妤 沈鸿烈 焦静 张三洋 李金泽 王威

[摘要]采用氯化镉、氯化锌、硫脲、柠檬酸钠和氨水的溶液体系通过化学浴沉积法合成CdxZn1-xS薄膜, 利用X射线衍射分析、扫描电子显微镜、能谱仪和紫外可见近红外分光光度计等表征手段研究了CdxZn1-xS薄膜的形貌、相结构和光学...

 PDF全文光子学报 | 2017, 46(03):0331003

 用于电响应红外反射窗的液晶聚合物薄膜特性研究

周冠清 袁冬 刘延国 林显裕 周国富 李楠

[摘要]提出了一种红外反射器件, 通过载体液晶在电场下的转向控制胆甾型液晶聚合物粒子在器件中的排布方向, 实现红外反射与透射之间切换.其中, 胆甾型液晶聚合物粒子是实现红外反射关键.介绍了胆甾型液晶聚合物薄膜的制备方...

 PDF全文光子学报 | 2017, 46(03):0331002

 基于二氧化钒的热控制脉冲波导激光

马利男 谭杨 陈峰

[摘要]利用二氧化钒(VO2)的饱和吸收性质, 通过消逝场吸收的方式对波导激光进行调节, 实现了皮秒脉冲激光输出; 通过控制VO2的温度可对输出激光的脉冲宽度、重复频率和能量等进行调控。在VO2薄膜从绝缘相过渡到金属相期间, 通...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(07):0703010

 日盲探测宽波段低噪声滤波器件的研制

付秀华 郭凯 熊仕富 张静 孙兵 姜洪妍

[摘要]为满足日盲探测系统的技术要求, 研制了一种可以实现紫外日盲区(200~270 nm)高透射、近紫外到近红外区(300~1200 nm)深截止的光学滤光片。通过分析材料的光学特性, 结合光学薄膜理论, 优化膜系结构, 设计了介质与金属组...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(06):0603002

 均光消色散光束整形薄膜器件的研究

谢桂捷 范长江 杨鑫 邵杰

[摘要]基于亥姆霍兹-基尔霍夫衍射积分定理,从理论上推导出消色散均光薄膜微结构参量、入射光参数和透射光参数之间的关系。基于此,分析了微结构参量对透射光振幅分布和散射角度的影响。光束通过消色散均光薄膜时,散射光斑...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(05):0503001

 移动脉冲激光刻蚀金属/聚酰亚胺数值模拟

闫晓东 任妮 汤富领 薛红涛 张宏伟 杨建平 刘孝丽

[摘要]为了研究移动脉冲激光刻蚀单/双层金属/聚酰亚胺基复合材料的规律, 利用有限元方法建立了移动纳秒脉冲激光刻蚀的通用模型, 讨论了移动速度对激光刻蚀深度的影响, 分析了金属铝薄膜和双层金属膜在移动脉冲激光作用下的...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(04):0402001

 甲烷气体探测与识别系统窄带滤光膜的研制

熊仕富 付秀华 刘冬梅 张 静 范家晨

[摘要]依据光学薄膜理论及光学材料的特性,结合膜系设计软件,采用拆分技术原理,实现了双面膜系的设计,解决了单面膜层过厚、应力过大的问题。利用逆向分析法对实验测试结果进行反演,通过对膜层敏感度分布的研究,分析了...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(03):0303003

 双激光沉积锗掺杂类金刚石膜的实验研究

程 勇 陆益敏 黄国俊 郭延龙 韦尚方 初 华

[摘要]提出了双激光沉积掺杂薄膜技术,利用准分子纳秒激光和飞秒激光分别烧蚀石墨和锗靶材,保持准分子纳秒激光的参数不变,而将飞秒激光的脉冲频率逐次由0提高至500 Hz,在硅基底上获得锗含量逐次增大的掺杂类金刚石膜。实...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(03):0303001

 碳污染清洗工艺对极紫外光刻光学元件反射率的影响

王 依 卢启鹏 高云国

[摘要]极紫外光刻系统中的碳污染会降低多层膜反射率,在保证光学元件性能的前提下,如何选择碳清洗工艺是一项重要课题。通过对不同清洗工艺的原理分析,揭示了不同工艺对多层膜反射率的影响主要体现在膜层氧化、刻蚀及表面...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(03):0303004

 紫外固化系统热辐射滤光膜的研制

付秀华 范家晨 张 静 熊仕富 陈志航 杨永亮

[摘要]为了降低紫外固化系统光源的热辐射,根据光学薄膜理论,以HfO2、AlF3和Cr作为镀膜材料,采用反射与吸收相结合的结构,设计了紫外高反射、可见/近红外高吸收的滤光膜。通过在基底和膜系之间增镀Al膜作为过渡层,提高了...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(03):0303002

 金属光子晶体薄膜可见光和微波波段传输性能

赵亚丽 贾琨 张晗 马江将 雷忆三 明海

[摘要]一维金属光子晶体薄膜是由金属-介质多层结构组成的等效均匀的各向异性超构材料。相比单层金属膜层,该结构在色散调控方面具有更多的自由度。在该结构中由于表面等离子体激元(SPP)的存在,可实现倏逝波的定向传输。在...

 PDF全文光电工程 | 2017, 44(02):226

 近场显微成像法识别高功率激光镜片薄膜内部缺陷

白忠臣 黄兆岭 郝礼才 陆安江 秦水介

[摘要]采用近场显微成像法测量了高功率激光镜片薄膜表面裂纹和内部节瘤缺陷,并分析了它们的形成机制。100 nm孔径的圆锥形针尖辐射的倏逝波与薄膜中预埋的缺陷相互作用, 将倏逝波转化为辐射波后, 由物镜收集并在远场逐点成像...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(01):0103001

 光电极值法结合外差干涉法监控膜厚的研究

常敏 华博 张学典 江旻珊

[摘要]光电极值法是光学薄膜厚度监测的常用方法, 该方法在镀膜前引用块状材料的折射率设计膜系。而在实际镀制过程中, 用于镀制光学薄膜的材料折射率会发生改变, 从而给膜厚的监控带来误差。为了避免折射率变化的影响, 采用...

 PDF全文光学技术 | 2017, 43(02):184

 蓝宝石/SiO2/AlN/GaN多层结构表面热应力仿真分析

陈靖 程宏昌 吴玲玲 冯刘 苗壮

[摘要]为了研究蓝宝石/SiO2/AlN/GaN光阴极组件外延片热应力分布及影响因素, 以直径 d为φ40 mm的 GaN外延片为研究对象, 利用有限元分析法对其表面热应力分布进行了理论计算和仿真, 验证了仿真模型的合理性。分析了外延片径...

 PDF全文红外技术 | 2017, 39(05):463

 AZO薄膜理想表面形貌的制备与加工工艺优化

李晓东

[摘要]非晶硅薄膜太阳能电池主要采用掺氟氧化锡(FTO)导电玻璃作为基板, 但FTO薄膜雾度较低、表面形貌无法优化, 导致无法得到较优的陷光结构, 从而限制了太阳能电池的转换效率。为了进一步提升太阳能电池的转换效率, 探讨了...

 PDF全文光学仪器 | 2017, 39(03):90

 高世代平板显示光刻机照明系统中梯形视场的设计与仿真

曹昌智 刘悠嵘 郑继红

[摘要]针对大面积薄膜晶体管(TFT)液晶显示生产中的高世代光刻机(6代以上)照明系统改进, 设计了一种新颖的梯形拼接照明视场方案。使用设置在微透镜阵列入瞳处的视场光阑阵列实现了梯形拼接照明视场, 同时简化了系统设计。相...

 PDF全文光学仪器 | 2017, 39(03):38

 基于全光谱拟合法的VO2薄膜光学常数计算

侯典心 路远 宋福印

[摘要]为实现对 VO2薄膜光学常数的测量,本文在全光谱拟合法的基础上,首先利用导纳矩阵法推导出透射率 T与薄膜厚度 d、折射率 n以及消光系数 k的函数关系,然后利用单纯形法得到其优化函数。最后采用 Matlab编程方法对低温...

 PDF全文红外技术 | 2017, 39(03):243

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