首页 > 论文 > 标签

Hi,您目前在 全部期刊 '薄膜', 共找到 2787个内容。

   将选定结果: 

 周期阵列微纳结构金属薄膜的透射特性

秦雪 王燕 阎晓娜 张惠芳 何英

[摘要]选择周期阵列微纳结构金属银膜作为研究对象, 用有限元方法对其透射特性进行了数值模拟。研究了孔径大小、金属膜厚度、阵列周期以及入射光的偏振状态对微纳结构透射谱线的影响。结果表明, 透射谱线只对阵列周期的变化...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(08):083101

 Ag扩散对Ag/MgF2薄膜界面结构和光学性能的影响

王丽平 杨建新 韩培德

[摘要]采用密度泛函理论的第一性原理计算了不同Ag(111)/MgF2(001)薄膜界面结构的界面能,分析了薄膜界面稳定性。通过搭建Ag扩散的Ag(111)/MgF2(001)界面模型,研究了界面处Ag的扩散行为和扩散机理,分析了Ag扩散对薄膜光学性...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(06):061601

 氧化锌薄膜的准分子激光退火热效应模拟分析

邵景珍 王 玺 胡红涛 方晓东

[摘要]基于热传导方程建立了ZnO薄膜的准分子激光辐照理论模型,模拟分析了KrF准分子激光辐照ZnO薄膜的热效应。计算了薄膜的温度场分布和热流分布,讨论了激光作用过程中的温度随时间的变化关系,分析了激光能量密度对薄膜温...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(06):061401

 NbSiN薄膜的制备及光学性能研究

张易君 张粞程 栾明昱 曾 陶 黄佳木

[摘要]采用射频磁控溅射法,以铌靶和硅靶为靶材,在玻璃基片上沉积了NbSiN薄膜。研究了硅靶、铌靶功率、氮气流量以及溅射时间对薄膜光学性能的影响,得出实验室条件下的最佳制备工艺参数。测试结果表明,最佳工艺参数下制备...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(03):033101

 新型波导型准直投影系统中衍射光栅的设计

黄战华 马云飞 尤 勐 刘泽阳 蔡怀宇

[摘要]新型波导型准直投影系统利用衍射光栅,仅使用一块波导板即可完成光束的耦合、扩展和成像,更利于系统集成和小型化,具有很高的研究价值。基于严格耦合波理论建立了新型波导型准直投影系统中衍射光栅的Matlab模型,并...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(03):030501

 银饰批量处理中二氧化钛薄膜抗变色性能

杨永亮 张泓筠 岳 莉 李 娜 曾凡菊 付秀华

[摘要]采用原子层沉积技术实现了膜层厚度均匀性小于3.5%的银饰TiO2保护薄膜的制备。X射线衍射测试结果表明,沉积温度为100 ℃时薄膜为无定型结构,沉积温度为250 ℃时薄膜为锐钛矿相。腐蚀实验结果表明,30 nm和45 nm厚度的...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(03):033102

 PECVD技术在微结构表面沉积薄膜的复形性

潘永强 陈 佳

[摘要]采用光刻技术、刻蚀技术和等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术,在线阵掩模微结构表面沉积了SiO2和Si3N4薄膜,研究了线阵掩模的宽度和厚度,以及薄膜的厚度和沉积速率对SiO2和Si3N4薄膜复形性的影响,制备得到了具...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(11):113102

 P型双面单晶硅太阳电池单元宽度的优化

照日格图 夏婷婷

[摘要]在正面光照和背面光照两种条件下,利用半导体器件仿真软件分析了单元电池宽度对产业化P型双面单晶硅太阳电池电学性能的影响。为进一步提高双面太阳电池光电转换效率,对单元电池宽度进行了优化。仿真结果表明,在正、...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(11):113101

 磁控溅射法制备氧化钨薄膜的膜层微观结构对电致变色性能的影响

初文静 张喜强 施瑕玉 郑友伟 林俊良 陈明亿 林金锡 林金汉 袁宁一

[摘要]利用磁控溅射法,在不同工作压强下制备了氧化钨(WO3)薄膜,研究了工作压强对WO3膜层微观结构的调控作用,并研究了WO3膜层微观结构对其电致变色性能的影响。研究结果表明,制备的WO3薄膜属于非晶相,表面呈峰状结构;...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(11):113103

 两种液相外延模式生长GaAs0.9Sb0.1薄膜的性能

谢 浩 胡淑红 王 洋 黄田田 潘晓航 孙 艳 戴 宁

[摘要]分别采用液相外延瞬态法的两种不同模式--步冷法和超冷法生长了GaAs0.9Sb0.1薄膜。采用X射线衍射谱、扫描电镜、拉曼光谱仪研究了GaAs0.9Sb0.1薄膜的晶体结构、截面形貌和发光性能等。研究结果表明:与超冷法相比,步冷...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(11):111602

 以不同前驱体制备的TiAlC薄膜的性能对比

杨永亮 李 娜 张泓筠

[摘要]采用原子层沉积技术,以Al(CH3)3为铝的前驱体,分别以TiCl4和四(二甲基氨基)钛(TDMAT)为钛的前驱体制备了两种TiAlC薄膜,并对比分析了它们的薄膜性能。结果表明,这两种薄膜均存在不同程度的自然氧化;以TDMAT为前驱...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(11):113104

 常温下ZnO/Ag/ZnO复合薄膜的制备及其光电特性

郭 凯 于 涛 宋斌斌 李新连 赵树利

[摘要]采用射频磁控溅射与电子束蒸发的方式, 制备了ZnO/Ag/ZnO三层复合薄膜, 研究了Ag薄膜厚度以及电子束蒸发的沉积速率对复合薄膜光电性能的影响。实验结果表明, 当Ag薄膜厚度为8 nm、电子束蒸发的沉积速率为0.5 nm·...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(10):103102

 离子辅助沉积对ZnS薄膜晶体结构及光学特性的影响

冯毅东 秦 杨 于天燕

[摘要]对不同离子束密度条件下辅助沉积的ZnS薄膜进行了物理及光学特性研究。研究结果表明,在离子束辅助沉积ZnS薄膜时会出现非均匀生长现象, 且非均匀性和折射率会随着离子束密度的增加而增大, 薄膜结晶程度也增加。薄膜的非...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(10):103101

 脉冲激光沉积法合成(Bi,Er)2Ti2O7介电薄膜及其上转换发光

梁立容 王 凤 邱泽敏

[摘要]采用脉冲激光沉积法在透明导电(ITO)玻璃衬底上制备(Bi, Er)2Ti2O7介电薄膜。当沉积温度范围控制在500~600 ℃时, 均可获得纯度较高的Bi2Ti2O7薄膜。常温下, Bi2Ti2O7薄膜的介电常数的范围为166~178, 随频率和温度变...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(01):013101

 热退火处理对氧化铟锡薄膜光电特性的影响

肖和平 郭冠军 马祥柱 张双翔

[摘要]应用电子束蒸镀氧化铟锡(ITO)薄膜, 在氮气环境中对ITO膜进行不同温度下快速热退火(RTA)处理。采用X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)技术、扫描电子显微镜(SEM)、可见光分光谱仪、四探针测试仪测试了快速热退火...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(01):013102

 SiO2薄膜光学常数物理模型

刘华松 杨 霄 刘丹丹 王利栓 姜承慧 姜玉刚 季一勤 张 锋 陈德应

[摘要]SiO2薄膜是光学薄膜领域内常用的重要低折射率材料之一。在文中研究中, 通过测量薄膜的椭偏参数, 使用非线性最小二乘法反演计算获得薄膜的光学常数。采用离子束溅射和电子束蒸发两种方法制备了SiO2薄膜, 在拟合过程中...

 PDF全文红外与激光工程 | 2017, 46(09):0921003

 用于空间望远镜的大口径高衍射效率薄膜菲涅尔衍射元件

王若秋 张志宇 薛栋林 张学军

[摘要]为满足空间成像领域对大口径、轻量化、高衍射效率光学衍射元件的需求, 研究了薄膜衍射元件微结构设计及制作工艺。应用Zemax光学软件设计了320 mm口径, F/#100的四台阶薄膜菲涅尔衍射元件, 并利用Matlab软件将连续位相...

 PDF全文红外与激光工程 | 2017, 46(09):0920001

 高掺铒硅基氧化钽脊形光波导

陈朝夕 温浩康 于 浩 李 彬 胡 军 郭天娥 马小玲 华平壤

[摘要]首次提出了采用Er-Ta共溅、高温退火的方法, 在硅基二氧化硅表面制备高掺铒氧化钽(Er:Ta2O5)薄膜。利用棱镜耦合仪分析了铒掺杂浓度对Er:Ta2O5薄膜的折射率的影响, 结果表明: Er:Ta2O5薄膜的折射率随着Er掺杂浓度的增加...

 PDF全文红外与激光工程 | 2017, 46(08):0821002

 光学薄膜激光损伤阈值测量不确定度

徐均琪 苏俊宏 葛锦蔓 基玛 格拉索夫

[摘要]光学薄膜的激光损伤阈值是评价其激光耐受性能好坏的一个重要指标。对薄膜激光损伤阈值的准确评价和测定, 是判断其激光耐受性能和进行相互比对的基础。通过对激光损伤阈值测试系统误差的溯源分析和计算机模拟, 给出了...

 PDF全文红外与激光工程 | 2017, 46(08):0806007

 双离子束溅射中红外SiO2薄膜热稳定性研究

尚鹏 季一勤 赵道林 熊胜明 刘华松1, 李凌辉 田东

[摘要]通过双离子束溅射方法在蓝宝石、硅衬底上制备了单层SiO2薄膜,分析了SiO2薄膜残余应力、表面形貌、微观结构以及光学性能(可见-近红外0.4~1.2 μm和中红外3~5 μm波段)在400 ℃~1 000 ℃温度范围内的演化规律.研究结果...

 PDF全文光子学报 | 2017, 46(08):0816003

 CMOS传感器紫外敏化膜层的厚度优化及其光电性能测试

刘琼, 马守宝 钱晓晨 阮俊 卢忠荣 陶春先

[摘要]采用真空热阻蒸方式在CMOS图像传感器感光面上镀制不同厚度性比价高的Lumogen薄膜.研究发现不同Lumogen薄膜厚度的CMOS传感器的暗电流噪声未发生明显变化,说明真空热蒸发方式对互补金属氧化物半导体器件本身未造成热损...

 PDF全文光子学报 | 2017, 46(06):0604002

 10 m大口径薄膜衍射主镜的色差校正技术研究

任智斌 胡佳盛 唐洪浪 金鑫

[摘要]分析了薄膜衍射主镜的成像性能及色散特性, 利用含有衍射面的反射式消色差光路校正了衍射主镜的强色散, 使成像系统的工作波段达到40 nm、视场达到0.02°, 设计了10 m口径、115.73 m总长的短结构合成孔径薄膜衍射成...

 PDF全文光子学报 | 2017, 46(04):0422004

 基于PET基底透明屏蔽膜的制备研究

付秀华 郭贵新 刘禹冰

[摘要]为满足光学器件透红外屏蔽电磁波的要求, 在PET柔性基底上制作了金属网栅透明屏蔽膜.分析网栅参数对其屏蔽效率及透过率的影响, 选取结构参数.针对PET基底的柔性特点及其热稳定性, 经试验研究优化光刻工艺中的提拉速度...

 PDF全文光子学报 | 2017, 46(04):0431001

 余弦光栅硅薄膜太阳能电池光吸收分析

陈科 吴睿 郑红梅 汪园园

[摘要]设计了一维双层余弦共形光栅结构的单晶硅薄膜太阳能电池.利用时域有限差分法模拟计算了双层余弦共形光栅结构和对照组结构的吸收光谱; 利用归一化光吸收密度的概念, 定量分析了300~700 nm和700~1 100 nm两个波段的光...

 PDF全文光子学报 | 2017, 46(04):0431002

 Ni/Au层对碳纳米管薄膜强流脉冲发射稳定性的影响

麻华丽 杨晓辉 曾凡光 夏连胜 谌怡 张篁

[摘要]采用酞菁铁高温裂解法在镀有镍金缓冲层的硅基底上生长了碳纳米管薄膜(Ni/Au-CNT), 并采用二极结构在相同的主Marx电压下研究了其强流脉冲发射稳定性.结果表明: 在脉冲电压峰值为1.60~1.74 MV(对应的脉冲电场峰值为11...

 PDF全文光子学报 | 2017, 46(03):0331001

 钙钛矿薄膜的微结构和光电特性优化

郭秀斌 于威 李婧 蒋昭毅

[摘要]分别以纯二甲基甲酰胺、纯二甲基亚砜以及二者不同比例的混合物作为前驱体溶剂, 制备钙钛矿薄膜样品.将薄膜样品分为两组, 分别将其置于氮气氛围中进行热退火和二甲基亚砜蒸汽氛围中进行溶剂退火, 并对薄膜样品的微观结...

 PDF全文光子学报 | 2017, 46(03):0331004

 溶液pH值对化学浴法制备的CdxZn1-xS薄膜光电性能的影响

姚函妤 沈鸿烈 焦静 张三洋 李金泽 王威

[摘要]采用氯化镉、氯化锌、硫脲、柠檬酸钠和氨水的溶液体系通过化学浴沉积法合成CdxZn1-xS薄膜, 利用X射线衍射分析、扫描电子显微镜、能谱仪和紫外可见近红外分光光度计等表征手段研究了CdxZn1-xS薄膜的形貌、相结构和光学...

 PDF全文光子学报 | 2017, 46(03):0331003

 用于电响应红外反射窗的液晶聚合物薄膜特性研究

周冠清 袁冬 刘延国 林显裕 周国富 李楠

[摘要]提出了一种红外反射器件, 通过载体液晶在电场下的转向控制胆甾型液晶聚合物粒子在器件中的排布方向, 实现红外反射与透射之间切换.其中, 胆甾型液晶聚合物粒子是实现红外反射关键.介绍了胆甾型液晶聚合物薄膜的制备方...

 PDF全文光子学报 | 2017, 46(03):0331002

 基于硫系玻璃的短中波红外减反膜研制

付秀华 姜洪妍 张静 熊仕富 郭凯 孙兵

[摘要]以硫系玻璃为基底, 根据膜系设计理论, 结合软件完成了短中波红外减反膜的设计。通过对材料热应力的计算分析, 研制了一种混合材料M-11作为连接层, 优化了沉积工艺参数, 并根据其力学特性修正膜系结构, 解决了硫系玻璃...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(09):0903002

 基于表面温敏薄膜的锥形双包层光纤温度传感器

付兴虎 张江鹏 方一程 王兴国 陈 诚 王思文 付广伟 毕卫红

[摘要]提出了一种基于温敏薄膜的锥形双包层光纤(TDCF)温度传感器, 其由两段普通单模光纤(SMF)之间熔接一段TDCF组成, 呈SMF-TDCF-SMF结构。由于输入端SMF纤芯模的模场与TDCF纤芯模的模场极度不匹配, 因此由SMF传输过来的光除...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(08):0810001

首页上一页12345678910下一页尾页