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 ITO薄膜表面等离子体共振波长的可控调节

蔡昕旸 王新伟 李如雪 王登魁 方铉 房丹 张玉苹 孙秀平 王晓华 魏志鹏

[摘要]采用直流磁控溅射的方式,在浮法玻璃衬底上制备了氧化铟锡(ITO)薄膜。通过改变薄膜沉积时间,制备出不同厚度的ITO薄膜。随着膜厚由16 nm逐渐增大到271 nm,其结晶程度得到增强,对应的载流子浓度由4.79×1020 cm...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2018, 55(05):051602

 ZrO2∶Eu3+,Y3+转光膜的制备及其在蓝光危害防护中的应用

莫忠 梁立容

[摘要]采用化学溶液沉积法,在石英玻璃上制备了ZrO2∶Eu3+,Y3+(Eu-YSZ)转光膜,研究了Eu3+、Y3+掺杂浓度对薄膜的晶体结构、表面形貌和光学性能的影响。在波长为396 nm的紫外光和波长为466 nm的蓝光照射下,Eu-YSZ薄膜可发射...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2018, 55(05):053102

 金属薄膜的缺陷模对一维光子晶体滤波特性的影响

刘圆圆 李旭峰 赵亚丽 彭伟 杨雯

[摘要]采用时域有限差分(FDTD)法,对由银-氧化铟锡(ITO)薄膜构成的一维光子晶体结构在300~800 nm波段范围内的滤波特性进行了研究。仿真研究了金属缺陷层厚度、入射角度和ITO膜厚度等对光子晶体滤波特性的影响。对不同参量下...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2018, 55(05):053103

 溶剂蒸发退火对银纳米线薄膜性能的增强

万慧军 魏优 钟远聪 章勇

[摘要]利用旋涂技术制备了银纳米线(AgNW)薄膜,对该AgNW 薄膜进行了溶剂蒸发退火处理。研究了所制备的AgNW薄膜的方块电阻、光学透光率、微结构及表面形貌,分析了以退火处理的AgNW薄膜作为阳极的聚合物太阳能电池的电流-电...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2018, 55(05):053101

 多层薄膜沉积的应力仿真分析

李长安 杨明冬 全本庆 关卫林

[摘要]提出了一种薄膜本征应力的模拟方法, 数值仿真分析了多层薄膜沉积过程中的热应力和本征应力。通过引入本征应力系数, 并借助现有的热应力有限元分析程序, 模拟了薄膜的本征应力, 并从理论上证明了该方法的合理性。采用...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2018, 55(04):043101

 脉冲电流对激光熔覆层力学及耐腐蚀性能的影响

西宇辰 朱建波 刘双 唐怡荣 王勤英 白树林

[摘要]采用连续半导体激光器在Q235钢表面制备了Ni-Cr-Mo合金涂层, 在不同脉冲电流处理时间下对涂层进行了辅助热处理, 提高了涂层的质量及性能, 并研究了涂层的显微组织、相组成、力学及耐腐蚀性能。结果表明, 脉冲电流处理...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2018, 55(04):043102

 基于原子层沉积的大曲率基底表面薄膜均匀性研究

来邻 李旸晖 周辉 夏浩盛 刘小煜 夏成樑 王乐

[摘要]通过建立原子层沉积(ALD)脉冲气体流场理论模型, 分析了沉积过程中前驱体浓度的变化趋势, 得到了原子层沉积腔中的优化沉积区域。在此基础上, 开展了半球基底上Al2O3和TiO2薄膜的均匀性实验。实验结果表明, 最佳优化区...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2018, 55(03):033101

 适用于薄膜硅太阳能电池背反射面的一维衍射光栅结构

石鑫 孙诚 王晓秋

[摘要]有效提高薄膜硅太阳能电池光转换效率是清洁能源利用领域的一个重要问题。设计了一种以三角形一维衍射光栅为基础的薄膜硅太阳能电池的背部反射器结构,用以有效提高硅太阳能电池的光转换效率。利用时域有限差分(FDTD)法...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2018, 55(01):010501

 TiO2/MoO3复合薄膜的制备及其电致变色性能研究

亢嘉琪 杨继凯 杨馥瑜 陈张笑雄 王国政 端木庆铎

[摘要]在导电玻璃上水热生长TiO2纳米线, 随后利用电沉积技术涂覆MoO3薄膜, 制备出TiO2/MoO3复合薄膜.通过X射线衍射、扫描电子显微镜表征证实了TiO2/MoO3复合薄膜的形成.利用电化学测试方法, 在LiClO4/PC溶液中对Li+的注入/...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(03):0316003

 光电可调控频率选择表面

王君 孙艳军 纪雪松 王丽 王越 冷雁冰

[摘要]为实现频率选择表面(FSS)谐振频率的光电可调控特性, 提出一种光电可调控频率选择表面.利用光电导薄膜光照导电特性控制金属FSS结构尺寸变化, 实现FSS的主动可调.理论阐述了光电导及FSS选频特性原理, 采用CST软件分别仿...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(03):0324002

 基于SiO2薄膜的915 nm半导体激光器的无杂质空位诱导量子阱混合研究

王鑫 赵懿昊 朱凌妮 侯继达 马骁宇 刘素平

[摘要]为了提高915 nm半导体激光器腔面抗光学灾变的能力, 采用基于SiO2薄膜无杂质诱导量子阱混合法制备符合915 nm半导体激光器AlGaInAs单量子阱的非吸收窗口.研究了无杂质空位诱导量子阱混合理论及不同退火温度、不同退火时...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(03):0314003

 离子束溅射氧化钽薄膜光学特性的热处理效应

王利栓 杨霄 刘丹丹 姜承慧 刘华松 季一勤 张锋 樊荣伟 陈德应

[摘要]主要研究了离子束溅射制备的氧化钽薄膜在大气氛围下热处理对其光学特性的影响规律。实验中热处理温度范围的选择为150~550 ℃, 间隔为200 ℃。研究中分别采用介电常数的Cody-Lorentz色散模型和振子模型对氧化钽薄膜的...

 PDF全文红外与激光工程 | 2018, 47(03):0321004

 Sb掺杂Si3N4基Si量子点薄膜的制备与结构

莫镜辉 袁俊宝 杨培志 张志恒 王云祥 刘黎明

[摘要]基于多靶射频磁控溅射技术, 结合快速光热退火后处理制备了Sb掺杂Si3N4基Si量子点(Si-QDs)薄膜。采用透射电镜、掠入射X射线衍射、拉曼光谱和光致发光光谱等手段对薄膜的微结构和发光特性进行了研究, 分析了Sb掺杂对Si...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(02):0231003

 大口径薄膜衍射主镜面形误差仿真分析

李韬杰 吴鹏 杨正 尹韶云 杜春雷 汪岳峰

[摘要]以理想坐标面为参考面, 建立了大口径薄膜衍射主镜面形误差与波前误差的关系模型.首先建立了子镜面形误差模型; 其次根据导出的子镜波前误差与大口径薄膜衍射主镜波前误差关系式, 分别讨论了边缘褶皱面形和球面面形两种...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(02):0205002

 叠层远程荧光薄膜光谱重吸收效应及封装应用

卓宁泽 张娜 朱月华 王海波

[摘要]以无机绿色和红色荧光粉及有机硅胶为原料, 采用高温模压法制备单层和叠层远程荧光薄膜, 并结合蓝光板上多芯片光源封装出三种结构的白光LED发光器件(单层型, 绿红叠层型, 红绿叠层型).通过荧光分光光度系统、双积...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(02):0223003

 高质量钙钛矿量子点薄膜制备及性能研究

余彬海 颜才满 饶龙石 汤勇 李宗涛 陈松茂 卢汉光

[摘要]对聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)和聚苯乙烯-聚乙烯-聚丁烯-聚苯乙烯嵌段共聚物(SEBS)高分子聚合物材料包裹钙钛矿量子点进行了研究.利用一步包裹法制备了高质量的钙钛矿量子点薄膜, 在连续365 nm紫外激发下和LED远程封装时,...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(02):0231001

 钛酸镧薄膜在1 064 nm/532 nm波长激光辐照下的光学特性

徐均琪 王建 李绵 李候俊 苏俊宏

[摘要]采用热蒸发沉积技术制备了钛酸镧(H4)薄膜, 研究了1 064 nm和532 nm波长激光诱导辐照处理后的薄膜折射率、消光系数、激光损伤阈值和损伤过程变迁.结果表明:采用不同波长的激光辐照H4薄膜后, 会使其折射率升高, 但升高...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(02):0231002

 法布里-珀罗薄膜干涉的光纤温度传感器

高晓丹 彭建坤 吕大娟

[摘要]为了研制结构简单、成本低、可批量生产的微型光纤温度传感器, 分析了薄膜干涉型光纤温度传感器的原理, 选用ZrO2和Al2O3两种介质薄膜材料, 采用TFCalc膜系设计软件设计了薄膜干涉型光纤温度敏感探头的膜系, 由南光ZZS...

 PDF全文红外与激光工程 | 2018, 47(01):0122002

 表面硫钝化对GaAs材料光响应特性的影响

夏宁 方铉 容天宇 王登魁 房丹 唐吉龙 王新伟 王晓华 李永峰 姚斌 魏志鹏

[摘要]采用湿法硫钝化的方式,显著降低了砷化镓(GaAs)材料的表面态密度。钝化处理后的GaAs薄膜光致发光强度提高了约14倍,光电流和响应度均增大。从能带角度分析了样品性能提升的原因,结果表明,钝化处理有利于表面态密度...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(06):0603002

 采用TiO2薄膜增强光子晶体光纤表面等离子体共振生物传感器灵敏度的建模分析

童凯 党鹏 汪梅婷 王福成 孙家儒 王允轩

[摘要]提出一种采用TiO2膜增强双纤芯单通道光子晶体光纤表面等离子体共振生物传感器灵敏度的设计方案:在传感器银膜表面增加一层TiO2薄膜,不仅可以隔绝氧气,防止银氧化,而且可提高传感器的灵敏度;采用全矢量有限元法数...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(06):0610002

 激光辐照固态Al膜制备p型重掺杂4H-SiC

胡莉婷 季凌飞 吴燕 林真源

[摘要]通过激光辐照固态Al膜,制备了一种p型重掺杂4H-SiC,分析了Al膜厚度、激光脉冲个数对掺杂结果的影响,验证了不同工艺参数对p型掺杂层表面电学性能的调控作用。结果表明,当Al膜厚度为120 nm,脉冲个数为50时,掺杂试...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(06):0603003

 基于组分调节减小AZO表面等离子体损耗的研究

陈子男 王登魁 魏志鹏 方铉 房丹 王新伟 王晓华

[摘要]在蓝宝石衬底上制备了具有不同铝(Al)掺杂浓度的掺铝氧化锌(AZO)薄膜, 并对其进行了紫外-可见吸收光谱、霍尔效应、折射率及介电常数测试, 研究了Al组分对AZO薄膜的光电、表面等离子体性质的影响。随着Al组分浓度的逐渐...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(05):0503001

 氮δ掺杂Cu2O薄膜的生长及物性研究

李微 潘景薪 王登魁 方铉 房丹 王新伟 唐吉龙 王晓华 孙秀平

[摘要]采用等离子体增强原子层沉积(PEALD)技术, 以NH3为掺杂源, 制备了氮δ掺杂Cu2O 薄膜, 研究了N掺杂对Cu2O薄膜表面形貌、光学及电学性质的影响。研究结果表明, N掺杂引起了晶格畸变, Cu2O薄膜的表面粗糙度增大; 掺杂后C...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(01):0103003

 光刻曝光系统中新型光可变衰减器的研制

李美萱 王丽 董连和

[摘要]在超大规模集成电路中, 为满足数值孔径为1.35、波长为193 nm的光刻曝光系统45 nm的成像分辨率要求, 设计了一种新型光可变衰减器, 用于控制系统的光能透射率, 调整曝光能量。该衰减器在光入射角为20°~40°时...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(01):0103002

 8-羟基喹啉铝本征薄膜的制备与性质研究

李瑞东 刘雪凌 杨 健

[摘要]8-羟基喹啉铝属于有机半导体材料, 在太阳能电池应用领域有较为广阔的应用前景。为了研究8-羟基喹啉铝载流子输运动力学信息, 在恒温条件下制备了8-羟基喹啉铝薄膜, 采用X射线衍射分析方法对薄膜的性质进行了分析, 采用...

 PDF全文激光技术 | 2018, 42(01):78

 S-on-1测量方式下薄膜激光损伤的累积效应

李玉瑶 张婉怡 刘 喆 李美萱 付秀华

[摘要]为了研究薄膜激光损伤机理及影响因素, 基于平顶光束辐照测量的原理, 采用1064nm的Nd∶YAG激光器, 对电子束热蒸发方式镀制的HfO2薄膜在重复频率激光作用下损伤的累积效应进行了理论分析和实验验证。运用损伤阈值的测量...

 PDF全文激光技术 | 2018, 42(01):39

 超强激光驱动薄膜靶谐波辐射的模拟研究

张碧津 汪 洋 宋海英 刘海云 刘世炳

[摘要]为了研究超强激光与薄膜靶相互作用在入射光反射方向引起的高次谐波辐射, 基于在入射激光的透射方向,相干同步辐射机制会导致高次谐波的产生, 采用粒子模拟方法研究了超强激光驱动固体密度薄膜靶(即高密度薄膜靶)高次谐...

 PDF全文激光技术 | 2018, 42(01):113

 柔性衬底直流磁控溅射ZnO基高性能透明导电薄膜的制备及性能研究

张 涛 洪瑞金 张大伟 陶春先

[摘要]采用直流磁控溅射法,以柔性PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)为基底,通过参数优化以求在室温下制备高性能ZnO/Ag/ZnO 多层薄膜。实验中,使用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、紫外可见分光光度计、四探针电阻测试仪等仪...

 PDF全文光学仪器 | 2018, 40(02):77

 多层红外光学薄膜的热应力分析

蒋丽媛 刘定权 马冲 高凌山

[摘要]通常红外光学薄膜是在较高温度下制备得到的。 在低温下应用时, 其产生的热应力会显著影响其光谱性能和可靠性。利用传统桥梁弯曲理论和膜层间位移协调条件分析了多层膜中的水平应变、弯曲应变和热应力分布情况。在详细...

 PDF全文红外 | 2018, 39(05):20

 红荧烯晶体薄膜的制备及应用研究进展

任伟 张沛沛 王丽娟 孙丽晶

[摘要]红荧烯具有导电性好、吸收系数高等优良的荧光特性和半导体特性,是目前报道的单晶迁移率最高的材料,在有机光电器件中有很好的发展前景,受到科研人员的广泛关注。目前国内外主要采用真空蒸镀方法和溶液加工方法制备...

 PDF全文发光学报 | 2018, 39(04):494

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