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 基于梯形介质光栅金属薄膜结构的折射率传感器

刘啸 王正岭

[摘要]提出了一种基于梯形介质光栅金属薄膜结构的折射率传感器。利用有限元方法,研究了不同光栅厚度、梯形参数以及不同折射率下待分析液体的反射谱线。对传感器结构参数进行优化,得到了传感器的角灵敏度。考虑由反射谱线...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2019, 56(07):072401

 金属基底上金属纳米颗粒间隙内的自发辐射调控

刘孟颖 钟莹

[摘要]将聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)层置于金纳米颗粒与金基底之间,研究了金纳米颗粒对处于PMMA夹层中的分子或量子点辐射源的总辐射速率、远场辐射速率、辐射方向等的影响。与单个金纳米颗粒相比,当2,3,5,9个金纳米颗粒等...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2019, 56(05):053101

 聚合物交替多层聚碳酸酯/聚甲基丙烯酸甲酯近红外高反膜的设计

黄亮 杨卫民 林承友 焦志伟 石美浓

[摘要]提出了一种能够实现近红外区域(780~1100 nm)高反射的聚合物交替多层聚碳酸酯(PC)/聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA) 周期性光学薄膜的设计方案,验证了利用微纳层叠共挤设备制备特殊多层光学膜结构的可行性。利用遗传算法搜...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2019, 56(04):041601

 强辐照下光子晶体红外隐身薄膜的隐身特性

刘瑞煌 时家明 赵大鹏 张继魁 刘志伟

[摘要]分别将光子晶体薄膜、红外隐身涂层和普通迷彩布作为待测样品贴在60 ℃热源上, 并置于室外环境进行红外隐身实验。研究结果表明, 太阳光对光子晶体薄膜8~14 μm波段隐身效果影响较小, 在绝大部分角度范围内, 对3~5 μm...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2019, 56(03):031601

 薄膜微结构的近红外透射诱导增强特性

葛少博 刘卫国 周顺 杨鹏飞 李世杰 黄岳田 孙雪平 林大斌 张进

[摘要]在SiNx薄膜中引入微金字塔结构, 综合利用包含界面的薄膜光学微结构的折射、衍射与干涉现象, 实现透反射的调控.通过单点金刚石切削与纳米压印、等离子体各向异性刻蚀技术相结合, 将大面积、高效率、低成本的微结构制备...

 PDF全文光子学报 | 2019, 48(07):0731001

 脉冲激光沉积法制备红外光学SiC薄膜特性研究

黄国俊 陆益敏 程 勇 田方涛 米朝伟 万 强

[摘要]采用脉冲激光沉积法在锗基底制备无氢SiC薄膜, 研究了激光能量对SiC薄膜显微结构、成分和红外光学性能的影响规律。利用傅里叶红外光谱仪测量了锗基底SiC薄膜样品的红外透射光谱, 其在785 cm-1附近有一个强烈Si-C键特征...

 PDF全文红外与激光工程 | 2019, 48(07):0742003

 喷墨打印量子点薄膜的形貌控制

雷霄霄 叶芸 林楠 陈恩果 郭太良

[摘要]基于微流体理论, 对采用聚合物量子点墨水打印薄膜的干燥过程进行了研究, 并通过优化溶剂配比、聚合物含量及干燥温度克服“咖啡环”现象, 改善薄膜形貌.研究结果表明: 墨水中添加高沸点溶剂有助于延缓外向流动; 调节聚...

 PDF全文光子学报 | 2019, 48(06):0616001

 不同沉积方式SiO2薄膜的自然时效特性

姜玉刚 刘小利 刘华松 王利栓 李士达 陈 丹 刘丹丹 姜承慧 季一勤

[摘要]SiO2薄膜是光学薄膜领域内常用的重要低折射率材料之一。文中采用不同沉积技术在Si基底上制备了SiO2薄膜, 并研究了它们光学特性的自然时效特性。采用不同贮存时间的椭偏光谱表征SiO2薄膜的光学特性, 随着时间的增加, ...

 PDF全文红外与激光工程 | 2019, 48(05):0521001

 基于二氧化硅薄膜夹层式亚波长金属光栅的宽波段太赫兹偏振分束器

张晔岚 张 昆 孔伟金 李采彧 夏 峰 云茂金

[摘要]设计出一种结构新颖的宽波段太赫兹偏振分束器, 这种偏振分束器由夹层式亚波长金属光栅制成。亚波长金属光栅偏振分束器可以将入射的任意自然光分成两束偏振状态垂直的线偏振光。其中, TE模反射而TM模透射。设计的偏振...

 PDF全文红外与激光工程 | 2019, 48(05):0520003

 氮气流量对磁控溅射制备类金刚石薄膜性能的影响

王洪美 李玉芳 沈鸿烈 翟子豪 陈洁仪 杨家乐 杨艳

[摘要]采用磁控溅射法以石墨为靶材在玻璃衬底上沉积了类金刚石(DLC)薄膜, 用原子力显微镜表征了不同氮气流量条件下生长薄膜的形貌, 用拉曼光谱仪、X射线光电子能谱仪和分光光度计分析了样品的微结构、元素的价态和透光性能...

 PDF全文光子学报 | 2019, 48(04):0416003

 光学介质薄膜表面冗余节瘤粒子的散射角分布

巩蕾 吴振森 高明 王利国 李亚清 王谦

[摘要]采用时域有限差分法研究了多因素对光学介质薄膜表面冗余节瘤粒子微分散射截面随散射角的变化规律.对光学介质薄膜表面冗余节瘤粒子复合散射进行建模, 并针对典型半空间问题, 对总散射场进行分解并对相应的场相位进行求...

 PDF全文光子学报 | 2019, 48(03):0329001

 异向混合光栅薄膜太阳能电池光吸收分析

陈科 王晴晴 郑红梅 汪园园 吴睿

[摘要]为了分析混合光栅对硅薄膜太阳能电池光吸收的影响, 在硅层厚度等效一致的条件下, 设计了单一形状、同向和异向混合形状光栅单晶硅太阳能电池结构.利用时域有限差分法分别优化计算了各种混合光栅的最佳尺寸、光生电流密...

 PDF全文光子学报 | 2019, 48(03):0316002

 基于浸没式光刻光束稳定系统的反射镜

李美萱 李宏 张斯淇 郭明 付秀华

[摘要]根据浸没式光刻系统的技术要求, 设计了光束稳定系统, 通过两个反射镜消除光束的位置漂移和指向漂移.基于深紫外材料特性, 选择JGS1作为反射镜的基底, Al2O3和MgF2为高、低折射率薄膜材料.通过膜系设计软件完成了高反射...

 PDF全文光子学报 | 2019, 48(02):0222003

 基于一维周期性金属-介质薄膜多波段高效吸收体的制备及其光学特性研究

李 辉 冀 婷 王艳珊 王文艳 郝玉英 崔艳霞

[摘要]通过热蒸发和磁控溅射方法在厚金属Ag反射层上制备了由一维周期性Ag金属薄层和MoO3/SiO2介质层组成的多波段吸收体。实验结果表明: 随着周期数(N)的增加, 吸收峰的个数也相应增加, 且精确等于周期数。对于Ag薄层厚度为...

 PDF全文红外与激光工程 | 2019, 48(02):0203004

 离子束溅射宽带吸收薄膜设计与制备技术研究

姜玉刚 刘小利 刘华松 刘丹丹 王利栓 陈 丹 姜承慧 季一勤

[摘要]Si薄膜在可见光和近红外波段具有一定的吸收特性, 可用于宽带吸收薄膜的制备。采用离子束溅射技术, 在熔融石英基底上制备了不同沉积工艺参数的Si薄膜, 基于透、反射光谱和椭偏光谱的全光谱数值拟合法, 计算了Si薄膜的...

 PDF全文红外与激光工程 | 2019, 48(02):0221003

 MoS2/WSe2-PVA薄膜热光全光调制器(特邀)

王奕方 吴 侃 陈建平

[摘要]全光调制器在全光信号处理和通信等全光应用中起着重要的作用。主要研究了基于MoS2-PVA薄膜实现的全光调制器。此外, 也验证了WSe2-PVA薄膜也可实现全光调制。该器件利用热光效应, 结合偏振干涉实现了全光调制, 得到了...

 PDF全文红外与激光工程 | 2019, 48(01):0103003

 基于离子束溅射大口径光学元件平坦化层均匀性研究

冯时 付秀华 王大森 李晓静 聂凤明 张旭

[摘要]针对大口径光学元件溅射沉积膜厚不均匀的问题, 采用离子束溅射平坦化层来改善光学元件表面粗糙度.利用膜厚检测仪测出光学元件沉积面上的中心区域以及各边缘区域的膜厚值, 计算离子束在光学元件中心与边缘驻留时间比,...

 PDF全文光子学报 | 2019, 48(01):0131002

 室温微测辐射热计太赫兹探测阵列技术研究进展(特邀)

王军 蒋亚东

[摘要]在室温太赫兹探测技术领域中, 热敏微桥结构的太赫兹探测器具有探测波段宽、阵列规模大、集成度高、实时成像等显著特点。文中对室温太赫兹探测技术、基于热敏材料的太赫兹探测技术国内外发展现状进行了综述, 分析了基...

 PDF全文红外与激光工程 | 2019, 48(01):0102001

 印刷制作的双半导体底层碳纳米管薄膜阴极的稳定电子发射

李玉魁 武超 刘飞 杨娟

[摘要]应用带保护气进行烧结的方法, 制作了一种双半导体底层碳纳米管薄膜阴极.利用烧结的银浆形成条形银电极, 在条形银电极表面制作了具有相同宽度且平行排列的ZnO掺杂底层和TiO2掺杂底层, 在掺杂底层上面制备了碳纳米管膜...

 PDF全文光子学报 | 2019, 48(01):0125002

 溶胶-凝胶法制备隔板玻璃三层减反膜

熊怀 唐永兴 胡丽丽 沈斌 李海元

[摘要]以钛酸正丁酯、正硅酸乙酯为前驱体,在薄膜设计软件的辅助下,采用溶胶-凝胶法在K9光学玻璃上制备了λ/4-λ/2-λ/2膜系宽带减反膜。该膜层的光学性能良好,在500~900 nm波长范围内的平均透过率为99.25%,透过率增益随入射...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(07):0703001

 SiO2光学薄膜的吸收边特性

孔明东 李斌成 郭春 柳存定 何文彦

[摘要]二氧化硅(SiO2)是光学系统中最常用光学薄膜材料之一, 其微观结构、缺陷等信息对于研究和提高薄膜的性能具有重要作用。本文通过电子束蒸发、离子辅助、磁控溅射方法制备 SiO2薄膜并进行测试, 计算出其吸收边光谱, 对吸...

 PDF全文光电工程 | 2019, 46(04):18022010

 纳秒激光熔覆硅纳米薄膜的仿真分析及实验研究

徐龙 洪捐 汪炜

[摘要]以重掺杂硼的纳米硅浆料为硼源, 采用纳秒激光熔覆工艺, 在钝化发射极及背接触(PERC)电池背面形成了重掺杂硼的硅熔覆层。通过建立三维瞬态温度场的有限元仿真模型, 并利用单因素仿真实验, 得到了激光工艺参数对温度场...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(04):0402008

 退火温度对铝掺杂氧化锌薄膜晶体质量及光电性能的影响

郭德双 陈子男 王登魁 唐吉龙 方铉 房丹 林逢源 王新伟 魏志鹏

[摘要]研究了退火温度对原子层沉积(ALD)生长的铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜光电性能的影响, 结果发现:AZO薄膜在600 ℃退火后, X射线衍射峰的半峰全宽从未退火时的0.609°减小到0.454°, 晶体质量得到提升; 600 ℃退火后...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(04):0403002

 飞秒激光作用下金膜的微观特性变化

崔云 张晗宇 赵元安 晋云霞 朱美萍 邵建达

[摘要]用磁控溅射的方法在石英基底上制备了金(Au)膜,研究了Au膜在近激光损伤阈值(LIDT)飞秒脉冲激光辐照下的物相结构和表面形貌。结果表明:所制备的Au膜为(111)面取向生长的薄膜;近LIDT的激光辐照使辐照区的Au膜形成大晶...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(02):0203001

 高应变InxGa1-xAs薄膜的结晶质量及光学特性

亢玉彬 唐吉龙 张健 方铉 房丹 王登魁 林逢源 魏志鹏

[摘要]通过分子束外延(MBE)生长技术,在GaAs(100)基片上生长出单晶InxGa1-xAs薄膜,利用反射高能电子衍射仪(RHEED)实时监控薄膜生长情况。对InxGa1-xAs薄膜进行了X射线衍射(XRD)测试,结果显示该薄膜为高质量薄膜,且In组分...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(02):0203002

 基于柱面透镜Otto结构SPR效应的金属薄膜厚度测量方法

李桂运 谷利元 胡敬佩 朱玲琳 曾爱军 黄惠杰

[摘要]基于柱面透镜修正Otto结构产生的表面等离子体共振(SPR)效应,提出一种测量金属薄膜厚度的方法。该方法无需用s偏振光提取背景光强,可直接利用在p偏振光入射条件下得到的单幅SPR吸收图像拟合背景光强,进而得到竖直...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(02):0204010

 溶胶-凝胶法制备TiO2-SiO2混合微球腔的激发高阶回音壁模式

柯超珍 许灿华 黄衍堂 马靖

[摘要]采用电极火花放电法和溶胶-凝胶法制备了直径均为206 μm的SiO2微球腔和TiO2-SiO2混合微球腔,测得它们在1550 nm处的品质因子分别为2.15×107和1.36×106。宽带谐振透射谱显示,与相同尺寸的SiO2微球腔相比,...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(02):0213002

 PET复合衬底上梯度介质薄膜厚度的椭偏表征

郭春付 张传维 李伟奇 李晓平 刘世元

[摘要]为了监控3维玻璃上聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)复合衬底介质膜膜厚, 采用将PET复合衬底等效为单层基底材料的建模分析方法, 通过椭偏测量技术实现了复杂衬底上TiO2梯度折射率材料薄膜厚度的检测。结果表明, 采用该方法测...

 PDF全文激光技术 | 2019, 43(04):585

 两种基底对中药溶液喇曼光谱增强作用的比较

申 健 李乔敏 王宝成 张 毅

[摘要]为了对比分析TiO2-AgNPs薄膜与银胶纳米颗粒溶液两种表面增强喇曼光谱散射(SERS)基底对中药溶液样品的SERS增强效果,选取中药附子溶液作为实验样品,分别采用两种SERS基底通过喇曼散射实验取得其表面增量喇曼光谱,并进行...

 PDF全文激光技术 | 2019, 43(03):427

 异质外延碲镉汞薄膜的位错抑制技术

覃钢 李东升 夏宗泽 邸卓 陈卫业 杨晋 杨春章 李艳辉

[摘要]本文简述了 MBE异质外延碲镉汞薄膜位错形成机理、位错在外延层中的演化过程以及位错抑制理论,总结了国内外 CdTe缓冲层的位错抑制技术、HgCdTe薄膜的位错抑制技术,分析了热循环退火技术各个要素与位错密度变化之间的...

 PDF全文红外技术 | 2019, 41(05):405

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