首页 > 论文 > 标签

Hi,您目前在 全部期刊 '薄膜厚度', 共找到 50个内容。

   将选定结果: 

 外延PbZr0.4Ti0.6O3薄膜厚度对铁电储能性能的影响

董 磊 赵 磊 宋建民

[摘要]通过修正的Landau-Devonshire热力学模型构建了PbZr0.4Ti0.6O3/SrTiO3异质结的电滞回线方程, 得到了剩余极化强度Pr、矫顽电场Ec和有效储能密度Wrec的关于PbZr0.4Ti0.6O3薄膜厚度h的解析函数, 进而研究了连续厚度h对Pb...

 PDF全文人工晶体学报 | 2020, 49(06):1057

 一种测量圆柱腔内壁介质薄膜厚度的方法

张淑娥 喻星源

[摘要]针对谐振腔传感器内壁水膜和盐垢会降低湿度测量精度的问题, 文章提出一种用于测量圆柱腔内壁介质薄膜厚度的方法。此方法基于介质微扰法的原理, 使用双曲余弦开缝形谐振腔作为传感器, 工作于TE111模式来测量介质薄膜厚...

 PDF全文光通信研究 | 2020, 46(02):50

 基于柱面透镜Otto结构SPR效应的金属薄膜厚度测量方法

李桂运 谷利元 胡敬佩 朱玲琳 曾爱军 黄惠杰

[摘要]基于柱面透镜修正Otto结构产生的表面等离子体共振(SPR)效应,提出一种测量金属薄膜厚度的方法。该方法无需用s偏振光提取背景光强,可直接利用在p偏振光入射条件下得到的单幅SPR吸收图像拟合背景光强,进而得到竖直...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(02):0204010

 PET复合衬底上梯度介质薄膜厚度的椭偏表征

郭春付 张传维 李伟奇 李晓平 刘世元

[摘要]为了监控3维玻璃上聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)复合衬底介质膜膜厚, 采用将PET复合衬底等效为单层基底材料的建模分析方法, 通过椭偏测量技术实现了复杂衬底上TiO2梯度折射率材料薄膜厚度的检测。结果表明, 采用该方法测...

 PDF全文激光技术 | 2019, 43(04):585

 膜层参数对长周期光纤光栅传感灵敏度的影响

杨 颖

[摘要]基于耦合模理论, 采用三包层光纤光栅模型, 对镀有敏感薄膜的长周期光纤光栅的传感特性进行了分析。当敏感薄膜的光学参数(薄膜折射率和薄膜厚度)发生变化时, 长周期光纤光栅传输谱中谐振峰处的透射率不变, 但谐振峰会...

 PDF全文半导体光电 | 2019, 40(06):789

 基于激光外差干涉术的薄膜厚度测量方法

时 凯 苏俊宏 齐 媛

[摘要]针对光学薄膜厚度测量困难问题,提出了一种基于激光外差干涉术的薄膜厚度测量方法。采用经典迈克尔逊干涉光路,利用外差干涉原理将薄膜厚度差转换为光程差,以精密位移平台为扫描机构实现薄膜厚度的逐行扫描测量。测...

 PDF全文应用光学 | 2019, 40(03):473

 过冷度对液相外延HgCdTe薄膜厚度均匀性的影响

陆骏 李东升 吴军 万志远 宋林伟 李沛 张阳 孔金丞

[摘要]探索了一种准确测量过冷度的实验方法, 并在此基础上, 利用光学显微镜、傅里叶红外透射光谱仪、台阶仪、白光干涉仪等测试手段分析了过冷度对HgCdTe薄膜厚度均匀性的影响.研究结果表明, 过冷度小于2 ℃, 薄膜容易出现中...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2019, 38(02):165

 ITO薄膜表面等离子体共振波长的可控调节

蔡昕旸 王新伟 李如雪 王登魁 方铉 房丹 张玉苹 孙秀平 王晓华 魏志鹏

[摘要]采用直流磁控溅射的方式,在浮法玻璃衬底上制备了氧化铟锡(ITO)薄膜。通过改变薄膜沉积时间,制备出不同厚度的ITO薄膜。随着膜厚由16 nm逐渐增大到271 nm,其结晶程度得到增强,对应的载流子浓度由4.79×1020 cm...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2018, 55(05):051602

 微机电火工品薄膜结构换能元

任 炜 赵玉龙 褚恩义 张 彬 李 慧

[摘要]为了满足MEMS火工品的小型化、集成化和低能发火等要求, 本文基于MEMS技术, 设计了一种平面“蛇”形结构的薄膜换能元, 采用磁控溅射等MEMS薄膜制作技术, 完成了不同薄膜桥区电阻和基底材料薄膜换能元样品的制备, 采用...

 PDF全文光学 精密工程 | 2018, 26(09):2319

 eXTP望远镜用W/Si多层膜

齐润泽 黄秋实 杨洋 张众 王占山

[摘要]针对增强型X射线时变与偏振探测卫星(eXTP)项目中嵌套式聚焦成像望远镜对柱面镜片上W/Si多层膜的要求,在掠入射角为0.5°,工作波段为1~30 keV条件下,设计了非周期W/Si多层膜并优化了薄膜制备工艺。首先,利用分...

 PDF全文光学 精密工程 | 2017, 25(11):2796

 基于GIXRR反射率曲线的二氧化硅纳米薄膜厚度计算

马一博 王梅玲 王 海 袁 珮 范 燕 邢化朝 高思田

[摘要]为了快速、 准确得到纳米薄膜厚度, 采用Kiessig厚度干涉条纹计算薄膜厚度的线性拟合公式, 计算了不同系列厚度(10~120 nm)的二氧化硅薄膜。 薄膜样品采用热原子层沉积法(T-ALD)制备, 薄膜厚度使用掠入射X射线反射(GIX...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2016, 36(10):3265

 用α能损法测量薄膜厚度所需真空度的确定方法

许佳 徐家云 马小军 宋佳玲 黎刚 张敏超 王力

[摘要]用α能损法测量薄膜厚度及其厚度分布的均匀性是一种有效的新方法,但这种测量必须在真空室内进行,如何恰当地选择真空度对于提高测量精度和降低真空系统的建造成本都具有重要意义。通过采用SRIM软件模拟5.486 MeV α...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2016, 28(08):28084002

 TiO2薄膜的宽光谱特性椭偏法研究

唐帆斌 肖峻 马孜

[摘要]为了获得TiO2薄膜的光学常数, 采用德国SENTECH生产的SE850宽光谱反射式光谱型椭偏仪, 测量和分析了用光控自动真空镀膜机沉积在K9玻璃上的单层TiO2薄膜, 得到了TiO2薄膜在300nm~2500nm宽谱上的光学常数曲线和薄膜厚度...

 PDF全文激光技术 | 2015, 39(06):776

 一种用于厚度在线检测的光学装置

肖青 王兴龙 傅谦 张大龙 刘侠 邓剑钦 曹丁象

[摘要]设计并制作了一套基于迈克耳孙结构的光学装置,可用于利用干涉的方法对单层的透明或半透明薄膜或光学平片的厚度做在线检测,测量范围可从微米到毫米量级。该装置采用光胶工艺将不同长度和不同热特性的玻璃材料组合在...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(02):0223002

 磁控溅射法制备的五氧化二钒薄膜光电特性

张圣斌 左敦稳 卢文壮 左杨平

[摘要]利用射频磁控溅射方法,选取溅射时间为15,25,30和45 min,在蓝宝石衬底上沉积了V2O5薄膜。研究了其他实验参量不变,溅射时间不同对薄膜结构、薄膜厚度、表面形貌、电学及光学性能的影响。实验结果表明,制备出的薄膜为单...

 PDF全文光学 精密工程 | 2015, 23(09):2438

 提拉法SiO2化学膜厚度与折射率的变化规律研究

张日东 严鸿维 吕海兵 张尽力 晏良宏 赵松楠 王韬 雷洁红

[摘要]采用提拉法在硅基底上制备了多孔溶胶凝胶SiO2膜,用椭偏法测量薄膜的厚度与折射率,考察了提拉速度和胶体浓度对膜层厚度与折射率的影响。对厚度与提拉速度的关系进行线性与幂函数拟合,并比较分析两种拟合的关系及其...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2014, 26(07):072005

 鱼雷光纤制导系统低损耗滤光片的研制

唐昊龙 付秀华 刘国军 杨永亮 寇洋

[摘要]为满足鱼雷光纤制导系统的通信需要,实现鱼雷发射过程中与舰艇的信息交互,研制了一种低损耗通信滤光片.采用双离子束溅射技术作为镀膜方法,通过对几种靶材进行对比研究,依据低损耗滤光片的使用要求,选定新型合金靶...

 PDF全文光子学报 | 2013, 42(11):1289-1294

 薄膜厚度对GZO透明导电膜及其LED器件性能的影响

顾文 徐韬 石继锋 李喜峰 张建华

[摘要]采用射频磁控溅射的方法制备了GZO透明导电薄膜, 通过原子力显微镜(AFM)、X射线衍射仪(XRD)、霍尔效应测试仪及紫外-可见光分光光度计等手段研究了厚度对于GZO薄膜性能的影响, 并制备了相应的LED器件。实验结果表明: 随...

 PDF全文发光学报 | 2013, 34(08):1022-1027

 斯托克斯椭偏仪仪器矩阵在位定标方法

张勇 黄佐华 赵振堂 曾宪佑 周进朝

[摘要]斯托克斯椭偏仪可以快速测量薄膜材料的光学参数,其仪器矩阵的精确度直接影响系统对薄膜反射光线斯托克斯参量的测量,间接限制了薄膜参数的测量精度。对线偏振光与标准薄膜片产生不同偏振态的机制进行理论推导,并根...

 PDF全文光学学报 | 2013, 33(02):0212002

 积分光谱法测量塑料薄膜厚度研究

邱超 孙晓刚

[摘要]在谱带朗伯定律概念的基础上, 通过分析光束在透过塑料薄膜时光强所发生的变化, 提出了谱带积分透过率定义并建立基于谱带积分透过率的薄膜厚度测量模型。 采用不同厚度的聚丙烯薄膜作为实验对象, 使用光谱仪测量了其光...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2013, 33(01):163-166

 镀膜长周期光纤光栅耦合系数的研究

韦树贡 黄尚荣 谭祖印 杨秀增 欧启标

[摘要]给出了镀膜长周期光纤光栅芯层模式和包层模式耦合的耦合系数的详细表达式, 应用此表达式对镀膜长周期光纤光栅的耦合系数的特性进行了较为详细的研究。研究发现: 1)同次模式的耦合系数随薄膜厚度变化而变化, 在某些厚...

 PDF全文光散射学报 | 2013, 25(03):291-296

 颗粒膜厚度对表面传导电子发射的影响

盛蕾 梁海锋 蔡长龙

[摘要]制备了不同厚度下的CTi颗粒膜用作表面传导电子发射的阴极发射薄膜,研究了不同颗粒膜厚度对电子发射特性的影响。将所制备阴极器件加载不同电压幅值下的等幅三角波,对器件进行电形成,结果表明:颗粒膜厚度为69 nm的...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2013, 25(02):513-516

 薄膜厚度对镀膜长周期光纤光栅模式重组的影响

欧启标 彭宇林 曾庆科 秦子雄 李传起

[摘要]基于严格的四层模型,对镀膜长周期光纤光栅在薄膜厚度增加时出现的模式重组现象进行了详细的研究。研究发现,随着薄膜厚度的增加镀膜长周期光纤光栅出现周期性的模式重组,每次的模式重组都伴随着一对相邻的包层模式...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(s2):s205001

 测量薄膜厚度的数字叠栅技术

苏俊宏 刘奕辰

[摘要]现代干涉测试的核心是用合理的算法处理干涉图而获得所需的面形及参数。由于常见的相移法要通过移相器有规律地移动采集多幅干涉图并数字化后求取波面的相位分布,这样必然引入由于移相器的线性及非线性误差所带来的计...

 PDF全文中国激光 | 2012, 39(11):1108002

 自适应模拟退火遗传算法在薄膜厚度及光学常数反演中的应用

荆龙康 蒋玉蓉 倪婷

[摘要]准确的测量薄膜的厚度和光学常数,在薄膜的制备、研究和应用中都是十分重要的。借助Cauchy色散模型,通过薄膜透过率测量曲线,用改进的自适应模拟退火遗传算法对透过率曲线进行全光谱拟合,从而反演得到薄膜的厚度和...

 PDF全文光学技术 | 2012, 38(02):218-224

 基于光学相干层析成像技术的薄膜厚度测量

秦玉伟

[摘要]为了对薄膜厚度进行测量, 采用白光谱域光学相干层析成像的测量方法, 进行了理论分析和实验验证, 对以玻璃为基片的单层和多层薄膜样品进行了层析成像实验, 获得了样品的2维层析图像。结果表明, 该系统不仅能显示薄膜样...

 PDF全文激光技术 | 2012, 36(05):662-664

 改进的迈克尔逊干涉仪测量薄膜厚度

马成 徐磊

[摘要]为了测量未知折射率或不透明薄膜的厚度,借助力传感器对传统迈克尔逊干涉仪加以改进,并运用等倾干涉的原理结合抵消法设计了测量装置。薄膜被等厚的空气层所代替,通过间接测量,避开了机械螺旋空程差造成的影响,使用力传...

 PDF全文光学仪器 | 2012, 34(01):85-90

 基于椭偏法的火棉胶薄膜光学参数测量

王海姣 王党社 乔若飞

[摘要]火棉胶醋酸戊脂溶液常被用于医学治疗,在分析材料内部结构时,利用火棉胶醋酸戊脂溶液成膜后表现出的致密性和透光性,将其作为待分析材料的底膜,采用电子衍射的方法获得材料结构。火棉胶薄膜的厚度及材料膜厚对电子衍射...

 PDF全文光学仪器 | 2012, 34(01):91-94

 利用透射光谱与X射线反射谱精确测量溶胶凝胶TiO2薄膜厚度和光学常数

贾红宝 孙菁华 徐耀 吴东 吕海兵 晏良宏 袁晓东

[摘要]在洁净K9玻璃基底上沉积TiO2薄膜,将透射光谱和X射线反射光谱相结合分析获得膜层的厚度和光学常数。X射线反射谱拟合能精确得到膜层的厚度、电子密度及表面和界面粗糙度,其中膜层厚度的数值为透射光谱的分析提供了重...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(08):0831001

 近红外波段锑基铋掺杂薄膜厚度对光学常数与光学带隙的影响

逯鑫淼 姜来新 吴谊群 王阳

[摘要]采用磁控溅射法制备了不同厚度的锑基铋掺杂薄膜,用X射线衍射(XRD)和透射电子显微镜(TEM)研究了薄膜结构随厚度的变化。利用椭圆偏振法测定了样品薄膜在近红外波段的光学常数与光学带隙,研究了膜厚对样品薄膜光学常数...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(11):1131001

首页上一页123下一页尾页