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 光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法

糜小涛 于海利 于宏柱 齐向东 李晓天 万秋华

[摘要]衍射波前质量是衡量刻划光栅性能的重要指标之一, 光栅刻划机若存在阿贝误差, 将直接影响刻线位置精度, 从而影响光栅的波前质量。建立了刻划机阿贝误差与光栅衍射波前质量的物理模型, 并分析了该误差对波前质量的影响...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(09):0904001

 光栅刻划机直线度误差补偿的研究

黄元申 董成成 黄运柏 盛 斌 周红艳 孙 乐 杨海马 张大伟

[摘要]中阶梯光栅是一种特殊的衍射光栅, 它以高的衍射级次和大的衍射角来工作, 具有高分辨率、 全波闪耀等特性。 已广泛应用于高端光谱仪器之中, 极大地促进了航天航空、 天文、 医疗、 军事、 环境等尖端科技的发展。 但是...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2017, 37(03):946

 点衍射波前无镜头干涉测量中横向偏移误差校正方法

徐杨波 王道档 王志超 刘维 孔明 赵军 朱保华

[摘要]为了最大程度减少误差环节,点衍射球面波前精度的干涉测量中通常采用无镜头测量方式。点衍射干涉波前在大数值孔径与大横向偏移量情况下存在的结构误差将严重影响测量精度,且无法利用传统方法加以校正。针对该问题,...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(08):0812007

 基于波前法的光栅拼接误差检测及计算方法

卢禹先 齐向东 糜小涛 姜珊 于海利 李晓天 尹禄

[摘要]光栅拼接法是目前制作大尺寸平面衍射光栅的重要方法之一,而拼接误差是评价拼接光栅是否能够使用的重要指标之一。实时定量测量拼接误差,能够实现对拼接误差的自动闭环调整,通过实时指导拼接提高光栅拼接的精度。建...

 PDF全文光学学报 | 2016, 36(05):0505001

 光栅刻划机进给导轨直线度误差对光栅衍射波前及杂散光的影响

黄元申 黄运柏 杨海马 李柏承 苏仰庆 盛斌

[摘要]对光栅刻划机的进给导轨直线度误差做了系统的研究,推导了直线度误差对光栅衍射波面和杂散光的影响的计算公式,并且定义了干涉仪测量轴线到刻线始端这段距离为定位臂。得出以下结论:定位臂会放大进给导轨的直线度误...

 PDF全文光学学报 | 2015, 35(05):0506005

 点衍射干涉系统光学结构参数优化研究

邵卫红 杨甬英 陈晓钰 刘东 沈亦兵

[摘要]采用时域有限差分方法,在分析点衍射波前误差的前提下,讨论了点衍射干涉系统中物镜数值孔径、针孔尺寸、检测的数值孔径对衍射光强的影响;逐步优化光学结构参数,得到不同光学结构参数之间的匹配数值表;通过比较点...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2014, 26(05):051001

 基于单压电执行器的光栅刻线摆角修正

李晓天 齐向东 于海利 高键翔 冯树龙 巴音贺希格

[摘要]考虑机械刻划光栅刻线摆角对平面光栅衍射波前质量的影响,本文根据光栅机械刻划过程的特点,提出了一种单压电执行器调节方法。该方法可通过不断调节微定位工作台位移,实时修正工作台摆角导致的光栅刻线摆角误差。首...

 PDF全文光学 精密工程 | 2014, 22(08):2039-2046

 极小孔径衍射波前测试分析

邵晶 马冬梅 张海涛 于杰 周烽

[摘要]研制点衍射干涉仪时,小孔的形貌和装调误差会对衍射波前质量产生影响,故本文研究了采用相位复原对小孔衍射波前质量进行测评的方法。设计并搭建了衍射波前测试装置,对光纤衍射波前进行了测评实验。为了验证测试方法的有...

 PDF全文光学 精密工程 | 2014, 22(10):2639

 机械刻划光栅的刻线弯曲与位置误差对平面光栅性能影响及其修正方法

李晓天 巴音贺希格 齐向东 于海利 唐玉国

[摘要]机械刻划法是制作平面光栅的重要方法之一。深入分析了机械刻划光栅的等间距刻线弯曲和刻线位置误差对平面光栅分辨本领和杂散光等光谱性能的影响,对改善光栅质量和提高应用水平有重要的意义。根据费马原理,建立了单...

 PDF全文中国激光 | 2013, 40(03):0308009

 基于激光干涉仪的衍射光栅波前检测

钱林勇 黄元申 张大伟 倪争技 庄松林

[摘要]以往检测衍射光栅波前时,需自行搭建检测光路,且搭建过程中由于元件较多,造成系统精度难以保证,得到的测量结果不够理想。针对这些问题,本文提出基于 GPITMXP/DX型 ZYGO干涉仪搭建检测光路,并对平面衍射光栅及凹...

 PDF全文光电工程 | 2013, 40(03):67-74

 刻线误差与面型误差对平面光栅光谱性能影响的二维快速傅里叶变换分析方法

李晓天 巴音贺希格 齐向东 于海利 唐玉国

[摘要]光栅刻线误差与基底面型误差影响平面光栅衍射波前、分辨本领、鬼线、卫线及杂散光等光谱性能,研究光栅性能指标与光栅刻线误差及基底加工误差之间的因果关系,对提高光栅质量极为重要。根据光栅衍射中产生的源于刻线...

 PDF全文光学学报 | 2012, 32(11):1105001

 利用泽尼克系数求取衍射光栅的分辨本领

于海利 齐向东 巴音贺希格 唐玉国

[摘要]光栅分辨本领检测设备的焦距通常达几米甚至十几米, 采用直接测量法难度大、 成本高, 利用衍射波前间接求取光栅分辨本领是解决该问题的有效途径之一。 在光栅光谱成像傅里叶变换理论基础上, 建立了利用泽尼克多项式拟...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2012, 32(01):264-267

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