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 基于湿法表面活化处理的InP/SOI晶片键合技术

宫可玮 孙长征 熊 兵

[摘要]为了实现集成硅基光源, 研究了基于湿法表面处理的InP/SOI直接键合技术。采用稀释的HF溶液对InP晶片进行表面活化处理, 同时采用Piranha溶液对SOI晶片进行表面活化处理, 实现了二者的低温直接键合。分别采用刀片嵌入法...

 PDF全文半导体光电 | 2018, 39(01):57

 盐浴复合热处理技术氮化盐研究与测定

武 新 李光林 温志渝

[摘要]盐浴复合热处理技术是一种新型表面处理技术, 能增强工件的耐磨性、 耐腐蚀性和耐疲劳性, 在金属表面处理中得到广泛的应用。 氮化盐中氰酸根、 氰化物和铁离子的含量对该热处理技术的质量控制十分重要, 因此需要准确测...

 PDF全文光谱学与光谱分析 | 2018, 38(11):3347

 溶液法制备氧化锡薄膜及光学特性研究

王佳良 刘贤哲 邓宇熹 袁炜键 周尚雄 张啸尘 姚日晖 宁洪龙 彭俊彪

[摘要]采用五水合氯化锡配制前驱体溶液,通过旋涂法在玻璃基底上制备了一种可见光平均透射率在90%以上的氧化锡透明薄膜。研究发现,对玻璃基底进行等离子预处理有助于改善氧化锡薄膜的表面质量。当等离子处理功率为25 W时,...

 PDF全文光学学报 | 2018, 38(10):1031001

 基于石墨烯等离子体表面处理改善pH传感特性的研究

吴冬芹 黄 翀 杨玮枫

[摘要]利用等离子体处理单层石墨烯, 并制成pH传感器, 通过接触角仪、拉曼光谱仪、X射线光电子能谱仪、原子力显微镜表征石墨烯处理前后微观结构, 探究等离子体处理对石墨烯pH传感器灵敏度的影响。随等离子体处理时间增加接触...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2017, 54(01):012401

 激光冲击强化技术原理及研究发展

李松夏 乔红超 赵吉宾 陆 莹

[摘要]激光冲击强化技术(LSP)是一种新型的激光应用表面处理技术。与传统表面改性技术相比,激光冲击强化技术能给材料带来更深的残余应力层,使材料表层晶粒细化甚至出现纳米晶,同时大幅提高材料的疲劳寿命。利用高能激光辐...

 PDF全文光电工程 | 2017, 44(06):569

 基于Al2O3中间层的InP/SOI晶片键合技术研究

宫可玮 孙长征 熊兵

[摘要]研究了基于Al2O3中间层的InP/SOI晶片键合技术。该方案利用原子层沉积技术在SOI晶片表面形成Al2O3作为InP/SOI键合中间层, 同时采用氧等离子体工艺对晶片表面进行活化处理。原子力显微镜和接触角测试结果表明, 氧等离子...

 PDF全文半导体光电 | 2017, 38(06):810

 铝合金激光冲击强化的三维数值模拟

李博民 刘新民 张晖辉 刘峰

[摘要]应用ABAQUS软件对激光冲击处理2024铝合金的残余应力场进行三维有限元数值模拟。详细讨论了激光功率密度、光斑尺寸、脉冲宽度(脉宽)以及冲击次数等参数对残余应力场的影响规律。计算结果表明, 光斑中心位置的残余压应...

 PDF全文应用激光 | 2017, 37(06):852

 激光表面处理及再制造装备市场现状与展望

曹晨 叶茂 王辉

[摘要]激光是一种受激辐射相干光源,其形成是在一定条件下,光电磁场和激光工作物质相互作用,以及光学谐振的选模作用的结果,是清洁、环保的新型能源。激光加工技术具有具有传统加工方法无可比拟的优点。围绕激光加工的特...

 PDF全文光电产品与资讯 | 2016, 7(03):22

 表面处理工艺对铝合金抗激光损伤能力的影响

时双 孙明营 郝艳飞 张燕 庞向阳 章亚男 刘志刚

[摘要]研究了表面处理工艺对铝合金表面抗激光损伤能力的影响。结果表明,在相同纳秒激光脉冲辐照下,与机械抛光相比,化学镀镍、阳极氧化黑和硬质阳极氧化处理的表面损伤阈值较低,而钝化和微弧氧化的损伤阈值较高;相同处...

 PDF全文中国激光 | 2016, 43(12):1202001

 表面处理对Au-CdZnTe 电极接触性能的影响

张大众 朱丽慧 孙士文 周昌鹤 虞慧娴 徐 超

[摘要]碲锌镉(CdZnTe)是制备X 射线、?射线探测器的一种理想半导体材料。CdZnTe 欧姆接触电极是制备CdZnTe 核辐射探测器的关键技术之一。表面加工状态是影响欧姆接触性能的重要因素,文中研究了4 种表面处理工艺对Au-CdZn...

 PDF全文红外技术 | 2016, 38(07):571

 界面状态对CFRTP/不锈钢激光连接接头强度的影响规律研究

王强 焦俊科 王飞亚 昝少平 张文武 盛立远

[摘要]为了研究界面状态对CFRTP/金属激光连接质量的影响规律, 实现二者高质量的连接。对不同界面情况下的样件进行了焊接实验、强度拉伸测试以及断面组织分析, 找到了添加树脂层厚度、不锈钢表面粗糙度对接头剪切强度的影响...

 PDF全文应用激光 | 2016, 36(05):527

 一种重复脉冲同轴馈电型陶瓷真空界面

荀涛 杨汉武 张建德

[摘要]真空界面是脉冲功率装置的薄弱环节, 对于重频运行的系统, 该问题更为突出。介绍了一种应用于重频脉冲驱动源的陶瓷绝缘子真空界面。首先依据真空沿面闪络设计原则给出了一种改进型同轴馈电陶瓷真空界面绝缘结构, 该结...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2016, 28(01):015012

 CdTe量子点功能化玻片的制备及其对Pb2+浓度的检测

孙琳 张秋艳 李珍珍 潘玉瑾 王青 赵强

[摘要]通过羟基化和氨基硅烷化处理,得到表面接枝氨基的玻片载体.水相合成巯基乙酸修饰的CdTe量子点(CdTe-TGA),采用EDC/NHS活化反应,将量子点偶联到氨基化玻片表面,制备出具有荧光性能的功能化玻片.考察了量子点与EDC的量比...

 PDF全文发光学报 | 2015, 36(03):339

 ZnO单晶和BeZnO合金的生长及其紫外探测器研究

王玉超 张权林 苏龙兴 沈正川 吴天准 汤子康

[摘要]用分子束外延(MBE)的方法在c面蓝宝石衬底上生长出了高质量的ZnO单晶薄膜和BexZn1-xO合金薄膜。X射线光电子能谱(XPS)测试结果表明,合金材料中Be元素的摩尔分数分别为1.8%、4.9%、8.0%和15.3%。在此基础上制备了ZnO基和...

 PDF全文发光学报 | 2015, 36(11):1233

 表面处理对液晶显示阵列基板中黑矩阵残留的影响

张 锋 舒 适 齐永莲 刘 震

[摘要]主要分析了黑矩阵残留程度与SiNx、SiON、SiOx等基底表面亲水特性的关系,研究了等离子体处理对基底表面亲水特性以及黑矩阵残留的影响。首先,通过原子力显微镜和扫描电子显微镜对黑矩阵在不同基底表面的残留颗粒大小...

 PDF全文液晶与显示 | 2015, 30(06):915

 表面处理对低成本多晶硅太阳电池性能的影响

张妹玉 张宁 翁铭华 陈朝

[摘要]通过沉积SiNx薄膜和H2退火表面处理工艺对低成本多晶硅太阳电池进行了处理, 对表面处理前后的电池效率进行了对比测试, 详细地研究了这两种表面处理工艺对电池的短路电流、开路电压、填充因子和转换效率的影响。实验发...

 PDF全文半导体光电 | 2014, 35(02):233-236

 用于聚四氟乙烯表面处理的重复频率高压脉冲电源

李喜 王凌云 李杰 刘宏伟 谢宇彤 李洪涛 章林文

[摘要]采用自行研制的μs级重复频率高压单极性脉冲电源,应用于聚四氟乙烯(PTFE)膜表面改性,研究脉冲放电等离子体对PTFE薄膜表面改性的作用规律。测量处理前后PTFE薄膜表面的水接触角,结果显示,在特定的脉冲参数及更严格...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2014, 26(04):045001

 水氨或/和六甲基二硅氮烷表面处理碱催化二氧化硅增透膜结果的对比研究

霍艳芳 罗荣辉 苏永钢

[摘要]针对溶胶-凝胶法制备的1/4波长二氧化硅增透膜耐环境性差的缺点,对其进行了水氨或/和六甲基二硅氮烷的表面处理,并对单一气氛处理和两种气氛联合处理后的膜层性质进行了对比研究.展现了膜层经各项表面处理后物理性质...

 PDF全文光子学报 | 2013, 42(07):823-827

 表面处理工艺对于N型HgCdTe材料和光导器件的影响

张立瑶 乔辉 李向阳

[摘要]报导了采用溴腐蚀和溴抛光两种表面处理工艺对于HgCdTe材料表面的影响,测试了材料的载流子浓度随迁移率分布曲线和迁移率变温曲线,将材料制成光导器件后测试了器件的电阻变温曲线,比较了溴腐蚀和溴抛光所得器件电阻...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2013, 32(06):498-501

 钛合金和碳纤维的粘接技术

崔永鹏 何欣 张凯

[摘要]简述了某空间遥感相机中碳纤维桁架杆与钛合金接头的粘接工艺, 通过对粘接剂的选择、粘接表面处理、胶层厚度等粘接强度影响的分析和破坏性力学试验表明, J133胶粘剂适用于钛合金和碳纤维材料的粘接; 适当提高粘接表面...

 PDF全文光学技术 | 2012, 38(01):125-128

 N2O Plasma表面处理对SiNx基IGZO-TFT性能的影响

李俊 周帆 林华平 张浩 张建华 蒋雪茵 张志林

[摘要]采用N2O plasma处理SiNx薄膜作为绝缘层,以室温下沉积的铟镓锌氧化物(IGZO)作为有源层制备了IGZO薄膜晶体管。与常规的IGZO-TFT相比,N2O plasma处理过的IGZO-TFT的迁移率由原来的4.5 cm2·V-1·s-1增加至8.1...

 PDF全文发光学报 | 2012, 33(04):400-403

 碲镉汞材料表面钝化研究的发展(下)

王忆锋 刘黎明 孙祥乐 陈燕

[摘要]碲镉汞(Hg1-x Cdx Te, MCT)材料的表面钝化被认为是光导和光伏探测器制备中的关键步骤之一。实 用的MCT器件需要稳定且可重复生产的钝化表面和符合器件性能要求的界面及表面势。通过对近年来 的部分英语文献进行归纳分...

 PDF全文红外 | 2012, 33(04):7-13

 碲镉汞材料表面钝化研究的发展(上)

王忆锋 刘黎明 孙祥乐 陈燕

[摘要]碲镉汞(Hg1-x Cdx Te, MCT)材料的表面钝化被认为是光导和光伏探测器制备中的关键步骤之一。实 用的MCT器件需要稳定且可重复生产的钝化表面和符合器件性能要求的界面及表面势。通过对近年来 的部分英语文献进行归纳分...

 PDF全文红外 | 2012, 33(03):1-8

 砷掺HgCdTe长波红外光电二极管阵列的制备与性能

李海滨 林春 陈兴国 魏彦峰 徐竟杰 何力

[摘要]采用砷(As)掺杂HgCdTe材料研制了响应截止波长为12.5 μm,规格为256×1的长波红外光电二极管阵列.实验设计了一种新的pn结测量方法,测量发现砷掺长波HgCdTe材料离子注入形成pn结深度在3.6~5.3 μm之间,而其最大...

 PDF全文红外与毫米波学报 | 2012, 31(05):403-406

 材料表面处理用强流电子回旋共振离子源

明建川 郭之虞 彭士香

[摘要]介绍一台2.45 GHz永磁强流电子回旋共振离子源,其外径160 mm,高90 mm,放电室直径70 mm,高50 mm。微波馈入采用介质耦合方式,微波窗由一块50 mm×10 mm柱形BN和两块30 mm×10 mm的柱形陶瓷构成。离子源...

 PDF全文强激光与粒子束 | 2012, 24(12):2911-2914

 显示器防护玻璃表面处理技术

王保松 张国升 谢钦

[摘要]采用酸溶液湿法腐蚀和镀制增透、保护膜层的方法,对某型仪表用显示器防护玻璃表面进行了工艺处理,使得表面反射率降低到2%以下,产品可见光波段平均透过率达到86%,表面硬度提高到7.0GPa。产品性能检测和试用情况表明...

 PDF全文现代显示 | 2012, 23(03):18-20

 燃烧法表面处理的SrAl2O4∶Eu2+,Dy3+长余辉发光材料

阳区 刘应亮 沙磊 余彩霞 雷炳富

[摘要]SrAl2O4∶Eu2+, Dy3+长余辉发光材料因耐水性差而使其应用受到极大限制。利用快速燃烧法对SrAl2O4∶Eu2+, Dy3+长余辉发光材料进行表面处理,以X射线粉末衍射、X射线光电子能谱、扫描电镜及荧光光谱等对表面处理前后Sr...

 PDF全文发光学报 | 2011, 32(09):864-868

 表面处理对AlGaN欧姆接触的影响及机理

王磊 王嘉星 汪莱 郝智彪 罗毅

[摘要]研究了溶液表面处理对AlGaN欧姆接触的影响及机理。用氟硝酸(HNO3+HF)、稀盐酸(HCl)和硫代乙酰胺(CS3CSNH2)溶液处理AlGaN表面后,Ti/Al/Ti/Au电极的比接触电阻率有显著的降低。样品表面Ga3d与O1s的X射线光电子能...

 PDF全文半导体光电 | 2011, 32(05):650-652

 LCD液晶显示器生产中液晶灌注腔体内表面处理简介

赵子龙 林波 赵乃辉

[摘要]在液晶显示器(LCD)生产中,液晶的灌注是最重要的部分,而且液晶灌注时对环境的要求很严格,必须对灌注腔体内表面进行进一步处理。通过对灌注腔体内壁采用机械抛光和电化学抛光相结合的办法,使得灌注腔体内表面形成一...

 PDF全文现代显示 | 2011, 22(01):16-19

 激光表面处理对NiAl/纳米Al2O3复合镀层组织及其耐磨性的影响

楼聃 丁庆明 楼程华 姚建华

[摘要]用化学复合镀技术在中碳钢基体上制备NiAl/纳米Al2O3镀层,并用横流CO2激光对涂层进行表面处理,采用X光能谱分析仪(EDS)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、显微硬度测试和球盘式摩擦磨损试验对涂层的成...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2010, 47(10):101405

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