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 光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法

糜小涛 于海利 于宏柱 齐向东 李晓天 万秋华

[摘要]衍射波前质量是衡量刻划光栅性能的重要指标之一, 光栅刻划机若存在阿贝误差, 将直接影响刻线位置精度, 从而影响光栅的波前质量。建立了刻划机阿贝误差与光栅衍射波前质量的物理模型, 并分析了该误差对波前质量的影响...

 PDF全文中国激光 | 2017, 44(09):0904001

 零阿贝误差的纳米三坐标测量机工作台及误差分析

黄强先 余夫领 宫二敏 王晨晨 费业泰

[摘要]为避免常规三坐标测量机(CMM)中的阿贝误差, 同时降低导轨运动误差对测量机测量不确定度的影响, 研制了一种在三维测量方向上同时符合阿贝原则的纳米CMM工作台。该工作台做三维运动, x导轨和y导轨采用共平面结构; 工作...

 PDF全文光学 精密工程 | 2013, 21(03):664-670

 丝杠精度双频激光干涉测量中的阿贝误差实时补偿

齐向东 滕丽华 于海利

[摘要]提出一种利用双频激光干涉仪检测光栅刻划机分度丝杠的新型光路结构,推导出用于阿贝误差补偿的快速修正计算式,实现了丝杠测试过程中阿贝误差的实时修正,通过修正使不满足阿贝原则的测量系统获得了较高的测量精度。...

 PDF全文中国光学 | 2010, 3(03):279-284

 导轨运动误差对CCD拼接影响分析

薛闯 高志良 颜昌翔

[摘要]对于大视场、高分辨率空间CCD相机, 多片CCD拼接技术仍是目前解决单片CCD线阵像元数目及其长度不能满足需求的主要手段, 多片CCD器件的拼接精度直接影响CCD焦平面子系统的成像质量。焦平面CCD器件的拼接是在专用工具CC...

 PDF全文光机电信息 | 2010, 27(12):162-166

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