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 基于离子束溅射大口径光学元件平坦化层均匀性研究

冯时 付秀华 王大森 李晓静 聂凤明 张旭

[摘要]针对大口径光学元件溅射沉积膜厚不均匀的问题, 采用离子束溅射平坦化层来改善光学元件表面粗糙度.利用膜厚检测仪测出光学元件沉积面上的中心区域以及各边缘区域的膜厚值, 计算离子束在光学元件中心与边缘驻留时间比,...

 PDF全文光子学报 | 2019, 48(01):0131002

 飞秒激光作用下金膜的微观特性变化

崔云 张晗宇 赵元安 晋云霞 朱美萍 邵建达

[摘要]用磁控溅射的方法在石英基底上制备了金(Au)膜,研究了Au膜在近激光损伤阈值(LIDT)飞秒脉冲激光辐照下的物相结构和表面形貌。结果表明:所制备的Au膜为(111)面取向生长的薄膜;近LIDT的激光辐照使辐照区的Au膜形成大晶...

 PDF全文中国激光 | 2019, 46(02):0203001

 具有超低反射率的折射率渐变封装结构

金国君 徐恺 檀珺 王玲莉 孟彦龙

[摘要]采用电感耦合等离子体增强化学气相沉积(ICP-PECVD)技术, 在室温下制备了具有折射率渐变特性的SiO2材料, 并对制备工艺与SiO2材料光学特性之间的关联性进行研究。结合椭圆偏振光谱仪拟合得到的结果, 对基于折射率渐变S...

 PDF全文光学学报 | 2019, 39(02):0231001

 光学薄膜塔姆态诱导石墨烯近红外光吸收增强

黎志文 陆华 李扬武 焦晗 赵建林

[摘要]提出了一种增强石墨烯光吸收率的布拉格光栅/石墨烯/金属薄膜光学结构。运用传输矩阵和时域有限差分法研究了其光传输特性, 发现布拉格光栅与金属薄膜之间形成的塔姆等离激元局域场可有效增强光与石墨烯的相互作用, 单...

 PDF全文光学学报 | 2019, 39(01):0131001

 Irreversible denaturation of DNA: a method to precisely control the optical and thermo-optic properties of DNA thin solid films

Hayoung Jeong Paulson Bjorn Seongjin Hong Seunguk Cheon Kyunghwan Oh

[摘要]

 PDF全文Photonics Research | 2018, 6(09):918-924

 Passively Q-switched erbium doped fiber laser using a gold nanostars based saturable absorber

Zhe Kang Mingyi Liu Zhenwei Li Siqing Li Zhixu Jia Chengzhi Liu Weiping Qin Guanshi Qin

[摘要]

 PDF全文Photonics Research | 2018, 6(06):549

 Spatially resolved measurement of plasmon dispersion using Fourier-plane spectral imaging

Amir Ohad Katherine Akulov Eran Granot Uri Rossman Fernando Patolsky Tal Schwartz

[摘要]

 PDF全文Photonics Research | 2018, 6(06):653

 Saturated absorption of different layered Bi2Se3 films in the resonance zone

Jun Zhang Tian Jiang Tong Zhou Hao Ouyang Chenxi Zhang Zheng Xin Zhenyu Wang Xiang’ai Cheng

[摘要]

 PDF全文Photonics Research | 2018, 6(10):C8

 基底温度和离子源能量对薄膜应力的影响

郝帅 崔碧峰 房天啸 王阳

[摘要]在不同的基底温度和离子源能量下, 采用电子束蒸发方法在GaAs基底上分别制备了SiO2、TiO2和Al2O3光学薄膜。测量了所制备薄膜的表面应力, 并对不同离子源能量下薄膜的折射率进行了测试。结果表明, 三种光学薄膜的表面应...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2018, 55(09):093101

 ZrO2∶Eu3+,Y3+转光膜的制备及其在蓝光危害防护中的应用

莫忠 梁立容

[摘要]采用化学溶液沉积法,在石英玻璃上制备了ZrO2∶Eu3+,Y3+(Eu-YSZ)转光膜,研究了Eu3+、Y3+掺杂浓度对薄膜的晶体结构、表面形貌和光学性能的影响。在波长为396 nm的紫外光和波长为466 nm的蓝光照射下,Eu-YSZ薄膜可发射...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2018, 55(05):053102

 金属薄膜的缺陷模对一维光子晶体滤波特性的影响

刘圆圆 李旭峰 赵亚丽 彭伟 杨雯

[摘要]采用时域有限差分(FDTD)法,对由银-氧化铟锡(ITO)薄膜构成的一维光子晶体结构在300~800 nm波段范围内的滤波特性进行了研究。仿真研究了金属缺陷层厚度、入射角度和ITO膜厚度等对光子晶体滤波特性的影响。对不同参量下...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2018, 55(05):053103

 溶剂蒸发退火对银纳米线薄膜性能的增强

万慧军 魏优 钟远聪 章勇

[摘要]利用旋涂技术制备了银纳米线(AgNW)薄膜,对该AgNW 薄膜进行了溶剂蒸发退火处理。研究了所制备的AgNW薄膜的方块电阻、光学透光率、微结构及表面形貌,分析了以退火处理的AgNW薄膜作为阳极的聚合物太阳能电池的电流-电...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2018, 55(05):053101

 多层薄膜沉积的应力仿真分析

李长安 杨明冬 全本庆 关卫林

[摘要]提出了一种薄膜本征应力的模拟方法, 数值仿真分析了多层薄膜沉积过程中的热应力和本征应力。通过引入本征应力系数, 并借助现有的热应力有限元分析程序, 模拟了薄膜的本征应力, 并从理论上证明了该方法的合理性。采用...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2018, 55(04):043101

 脉冲电流对激光熔覆层力学及耐腐蚀性能的影响

西宇辰 朱建波 刘双 唐怡荣 王勤英 白树林

[摘要]采用连续半导体激光器在Q235钢表面制备了Ni-Cr-Mo合金涂层, 在不同脉冲电流处理时间下对涂层进行了辅助热处理, 提高了涂层的质量及性能, 并研究了涂层的显微组织、相组成、力学及耐腐蚀性能。结果表明, 脉冲电流处理...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2018, 55(04):043102

 基于原子层沉积的大曲率基底表面薄膜均匀性研究

来邻 李旸晖 周辉 夏浩盛 刘小煜 夏成樑 王乐

[摘要]通过建立原子层沉积(ALD)脉冲气体流场理论模型, 分析了沉积过程中前驱体浓度的变化趋势, 得到了原子层沉积腔中的优化沉积区域。在此基础上, 开展了半球基底上Al2O3和TiO2薄膜的均匀性实验。实验结果表明, 最佳优化区...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2018, 55(03):033101

 表面杂质诱导薄膜元件的热损伤及其统计特性分析

徐娇 钟哲强 黄人帅 张彬

[摘要]基于光学薄膜元件的热力学理论, 建立了强激光连续辐照下薄膜元件的热分析模型, 分析了强激光辐照下不同种类的表面杂质诱导薄膜元件的热熔融损伤和热应力损伤的过程。统计了不同口径和不同表面洁净度等级的薄膜元件上...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2018, 55(10):103101

 光学膜厚的监控方法

庄秋慧 王三强

[摘要]提出了一种提高光电极值法中膜层厚度监控精度的新方法。通过提高判读点的精度, 避免了光学极值法中停镀时存在的随机误差; 通过算法的处理, 将监控信号和光学厚度间的非线性关系转变成了线性关系, 并推算出最佳起判时...

 PDF全文激光与光电子学进展 | 2018, 55(10):103102

 Mg掺杂量对Zn1-xMgxO缓冲层及其Cu(In,Ga)Se2太阳电池性能的影响

吴文文 沈鸿烈 陈洁仪 商慧荣 孙孪鸿 高凯 李玉芳

[摘要]采用低成本溶胶凝胶旋涂法制备了不同Mg含量的Zn1-xMgxO薄膜, 用其代替传统化学水浴法制备的CdS作为铜铟镓硒 (Cu(In,Ga)Se2, CIGS) 薄膜太阳电池的缓冲层材料.用X射线衍射仪、原子力显微镜、紫外可见吸收光谱和X射线光...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(08):0831002

 不同气压环境对飞秒激光在铬膜表面诱导周期性条纹结构的影响

刘琦 张楠 杨建军

[摘要]实验研究了蓝色飞秒激光(1 kHz, 50 fs, 400 nm)在105 Pa(标准气压)和10-3 Pa两种不同气压环境下, 在单晶硅衬底的金属铬膜表面形成亚波长(~250 nm)一维周期性条纹结构的情况, 分析比较了入射激光能流、样品扫描速度、...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(07):0714001

 柔性SrTiO3/Ag/SrTiO3复合结构透明导电薄膜的制备和性能研究

董清臣 葛磊蛟 孙永涛 于仕辉

[摘要]为获得高性能的柔性透明导电薄膜, 采用磁控溅射技术在柔性PC衬底上制备出了STO (30 nm)/Ag/STO (30 nm)复合结构透明导电薄膜.分别对不同中间Ag层厚度薄膜的结构、光学和电学性质进行了研究.研究发现:随着中间Ag层厚...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(05):0516003

 红外光学薄膜材料折射率温度特性的研究方法

王多书 李佑路 李凯朋 王济洲 董茂进

[摘要]红外光学系统中靠近探测器的光学元件通常处于低温环境中, 低温环境会使得光学元件表面薄膜的透射光谱发生漂移, 进而严重影响红外光学系统的成像质量。研究发现光谱漂移是由于系统中红外光学薄膜的折射率发生了改变。...

 PDF全文红外与激光工程 | 2018, 47(04):0404006

 TiO2/MoO3复合薄膜的制备及其电致变色性能研究

亢嘉琪 杨继凯 杨馥瑜 陈张笑雄 王国政 端木庆铎

[摘要]在导电玻璃上水热生长TiO2纳米线, 随后利用电沉积技术涂覆MoO3薄膜, 制备出TiO2/MoO3复合薄膜.通过X射线衍射、扫描电子显微镜表征证实了TiO2/MoO3复合薄膜的形成.利用电化学测试方法, 在LiClO4/PC溶液中对Li+的注入/...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(03):0316003

 掺Ge氧化硅薄膜波导制备工艺与应力研究

孙庆雨 孙喆禹 邢文超 孙德贵

[摘要]采用等离子体化学气相沉积法在硅基底上沉积氧化硅薄膜, 研究在不同工艺条件下薄膜的应力变化情况和折射率分布规律.利用应力测试仪测定晶圆在镀膜前后的形变量进而获得应力值, 并用棱镜耦合仪测试薄膜折射率.在其他条...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(12):1231003

 基于泵浦探针法研究VO2薄膜多波段红外激光相变特性

刘志伟 路远 冯云松 胡杰 刘瑞煌

[摘要]用泵浦探针法实验研究了红外激光辐照二氧化钒薄膜的相变特性.首先利用氧源-分子束外延法制备了薄膜厚度分别为20 nm、40 nm、60 nm的三组VO2单晶外延薄膜, 并且以10.6 μm的CO2连续激光作为泵浦光, 分别以1 064 nm和3...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(12):1231002

 VO2薄膜受脉冲激光辐照实验及理论计算

刘志伟 路远 冯云松 刘瑞煌 胡杰

[摘要]为了探究在脉冲激光辐照VO2薄膜过程中, 影响薄膜相变响应时间的因素, 基于COMSOL对辐照过程进行仿真计算.建立辐照VO2薄膜的物理模型, 并设置模型的边界条件, 利用红外脉冲激光辐照三组通过分子束外延法制备的VO2薄膜...

 PDF全文光子学报 | 2018, 47(10):1031001

 室温脉冲激光沉积法合成Bi3.95Er0.05Ti3O12薄膜及其介电性能研究

梁立容 魏爱香 莫忠

[摘要]采用脉冲激光沉积法, 室温条件下在透明导电玻璃衬底上制备了Bi3.95Er0.05Ti3O12(BErT)薄膜。研究结果表明, 低沉积氧气压下制备的BErT薄膜表面致密, 平整无裂缝, 且呈非晶结构; 当沉积氧气压为3 Pa时, BErT薄膜厚度约...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(09):0902002

 表面硫钝化对GaAs材料光响应特性的影响

夏宁 方铉 容天宇 王登魁 房丹 唐吉龙 王新伟 王晓华 李永峰 姚斌 魏志鹏

[摘要]采用湿法硫钝化的方式,显著降低了砷化镓(GaAs)材料的表面态密度。钝化处理后的GaAs薄膜光致发光强度提高了约14倍,光电流和响应度均增大。从能带角度分析了样品性能提升的原因,结果表明,钝化处理有利于表面态密度...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(06):0603002

 激光辐照固态Al膜制备p型重掺杂4H-SiC

胡莉婷 季凌飞 吴燕 林真源

[摘要]通过激光辐照固态Al膜,制备了一种p型重掺杂4H-SiC,分析了Al膜厚度、激光脉冲个数对掺杂结果的影响,验证了不同工艺参数对p型掺杂层表面电学性能的调控作用。结果表明,当Al膜厚度为120 nm,脉冲个数为50时,掺杂试...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(06):0603003

 基于组分调节减小AZO表面等离子体损耗的研究

陈子男 王登魁 魏志鹏 方铉 房丹 王新伟 王晓华

[摘要]在蓝宝石衬底上制备了具有不同铝(Al)掺杂浓度的掺铝氧化锌(AZO)薄膜, 并对其进行了紫外-可见吸收光谱、霍尔效应、折射率及介电常数测试, 研究了Al组分对AZO薄膜的光电、表面等离子体性质的影响。随着Al组分浓度的逐渐...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(05):0503001

 基于腔内倍频的457 nm激光器高反射腔镜的研制

刘冬梅 李五一 付秀华 张静 张功

[摘要]基于倍频反射膜的设计理论,结合膜系设计软件实现了多波段激光腔面高反射膜的设计。在制备过程中,基于最小二乘法原理建立了残余蒸镀量与膜层厚度之间的关系式,解决了膜厚控制误差累积导致薄膜光谱性能变差的问题。...

 PDF全文中国激光 | 2018, 45(11):1103001

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