现代显示, 2012, 23 (11): 34, 网络出版: 2013-01-08  

ODF真空贴合系统研究

Research on ODF Vacuum Align System
作者单位
成都京东方光电科技股份有限公司Cell技术部,四川 成都 611731
摘要
文章介绍了TFT-LCD生产中,液晶滴下(One Drop Filling,ODF)所涉及真空贴合系统(Vacuum Align System,VAS)的结构及其发展情况,概述了VAS的工艺过程,重点介绍了该系统中真空单元、基板吸附单元和基板对位单元及其发展。
Abstract
This paper showed the research and development of Vacuum Assembly System (VAS) in ODF process. Introduced the process of VAS and discussed the vacuum system, chuck system, precise alignment system and the development direction.

刘亮, 杨国波, 赵德友, 王永茂, 于翔, 龚娟. ODF真空贴合系统研究[J]. 现代显示, 2012, 23(11): 34. LIU Liang, YANG Guo-bo, ZHAO De-you, WANG Yong-mao, YU Xiang, GONG Juan. Research on ODF Vacuum Align System[J]. ADVANCED DISPLAY, 2012, 23(11): 34.

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!