中国激光, 2017, 44 (3): 0303002, 网络出版: 2017-03-08   

紫外固化系统热辐射滤光膜的研制

Development of Heat Radiation Filter Film for Ultraviolet Curing System
作者单位
1 长春理工大学光电工程学院, 吉林 长春 130022
2 凯里学院物理与电子工程学院, 贵州 凯里 556000
摘要
为了降低紫外固化系统光源的热辐射,根据光学薄膜理论,以HfO2、AlF3和Cr作为镀膜材料,采用反射与吸收相结合的结构,设计了紫外高反射、可见/近红外高吸收的滤光膜。通过在基底和膜系之间增镀Al膜作为过渡层,提高了薄膜的牢固性。通过优化工艺参数,研制了220~400 nm波段平均反射率为90.6%、420~2000 nm波段平均吸收率为92.4%的滤光膜。
Abstract
In order to reduce the heat radiation of ultraviolet (UV) curing system, based on the optical thin-film theory, with HfO2, AlF3 and Cr as coating materials, and by use of the reflection and absorption combined structure, the filter film system with high reflection in the UV band and high absorption in visible-near infrared band is designed. The soundness of the thin film is improved by coating Al film as the transition layer between the substrate and the film system. After the optimization of process parameters, the filter film with average reflectivity of 90.6% in 220-400 nm wave band and average absorptivity of 92.4% in 420-2000 nm wave band is developed.

付秀华, 范家晨, 张静, 熊仕富, 陈志航, 杨永亮. 紫外固化系统热辐射滤光膜的研制[J]. 中国激光, 2017, 44(3): 0303002. Fu Xiuhua, Fan Jiachen, Zhang Jing, Xiong Shifu, Chen Zhihang, Yang Yongliang. Development of Heat Radiation Filter Film for Ultraviolet Curing System[J]. Chinese Journal of Lasers, 2017, 44(3): 0303002.

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