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叠层方式形成彩色滤光片隔垫物的研究

Forming photo spacer by layer stacking on TFT-LCD CF substrate

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摘要

本文研究了液晶显示面板彩色滤光片工艺中以叠层方式形成隔垫物的关键技术问题, 即叠层隔垫物高度控制、主-附隔垫物段差的形成和主-附隔垫物段差受后续平坦层工艺的影响变化等, 并提出了解决方案。在黑矩阵、红色、绿色、蓝色滤光层形成一定的叠层高度后, 采用形貌追随型平坦化材料对像素区平坦, 通过控制像素开口部分OC的厚度, 可以实现叠层隔垫物高度的控制。采用改变叠层图案设计的方法形成主-副隔垫物高度差(Main-sub段差), 段差达成范围是0.4~1.2 μm, 达到了灰阶曝光方式可以达到段差的水平, 但成本却大幅降低。并且验证了采用形貌追随型OC材料覆盖可以较好的保持OC工艺前形成的Main-sub段差。基于以上技术制备了4 Mask彩色滤光片原型机。

Abstract

The key issue of forming photo spacer by layer stacking on TFT-LCD CF substrate, such as height control, main-sub difference tuning and the variation of main-sub different after OC process is investigated. Corresponding solution has been proposed. A shape-following OC material is used to control PS height by tuning OC thickness, which indicates that the thickness of BM, Red, Green, Blue layer won’t has to be changed to achieve certain stacking height. The main-sub difference can be acquired by changing pattern size of each Stacking layers. The tuning range of main-sub difference is 04~12 μm, which already reaches the level of half tone mask technology, but at much lower cost. It is confirmed that the main-sub difference formed by BM/R/G/B layer stacking can be maintained after OC process. A prototype of 4 mask Color filter is fabricated, based on stacking photo spacer technology.

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补充资料

中图分类号:O472+.1

DOI:10.3788/yjyxs20173212.0956

所属栏目:材料科学

基金项目:京东方科技集团股份有限公司研发项目基金(No. 2013013)

收稿日期:2017-06-01

修改稿日期:2017-07-08

网络出版日期:--

作者单位    点击查看

舒 适:京东方科技集团股份有限公司 技术研发中心, 北京 100176
齐永莲:京东方科技集团股份有限公司 技术研发中心, 北京 100176
徐传祥:京东方科技集团股份有限公司 技术研发中心, 北京 100176
张 锋:京东方科技集团股份有限公司 技术研发中心, 北京 100176
崔承镇:京东方科技集团股份有限公司 技术研发中心, 北京 100176

联系人作者:舒适(shushi@boe.com.cn)

备注:舒适(1984-), 男, 江苏镇江人, 硕士, 主要从事液晶显示器件彩膜工艺的研发工作。

【1】王玉如.液晶显示技术的最新进展[J].现代电子技术, 2004, 27(22): 85-87.
WANG Y R. The new development of TFTLCD [J]. Modern Electronics Technique, 2004, 27(22): 85-87. (in Chinese)

【2】张家祥, 卢凯, 郭建, 等.TFT-LCD器件氧化铟锡层无退火工艺研究[J].液晶与显示, 2014, 29(1): 55-59.
ZHANG J X, LU K, GUO J,et al. Anneal skip of ITO layer in TFT-LCD [J]. Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays, 2014, 29(1): 55-59. (in Chinese)

【3】李宏彦, 杨久霞, 吕艳英, 等.TFT-LCD用彩色滤光片[J].现代显示, 2005(6): 41-44.
LI H Y, YANG J X, LV Y Y, et al. Color filter for TFT-LCD [J]. Advanced Display, 2005(6): 41-44. (in Chinese)

【4】YAMADA S, KIMURA S, SAKAI N, et al. A new production of the large size TFT-panel by “LC-Dropping Method” [J]. SID Symposium Digest of Technical Papers, 2001, 32(1): 1350-1353.

【5】杨国波, 王永茂, 赵军, 等.ODF工艺的进展[J].光机电信息, 2011, 28(1): 23-27.
YANG G B, WANG Y M, ZHAO J, et al. Development of ODF process [J]. OME Information, 2011, 28(1): 23-27. (in Chinese)

【6】ODAHARA S, YAMASHITA H, MOMOI Y,et al. Post spacer technology for TFT/LCD [J]. SID Symposium Digest of Technical Papers, 2001, 32(1): 1358-1361.

引用该论文

SHU Shi,QI Yong-lian,XU Chuan-xiang,ZHANG Feng,CUI Cheng-zhen. Forming photo spacer by layer stacking on TFT-LCD CF substrate[J]. Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays, 2017, 32(12): 956-960

舒 适,齐永莲,徐传祥,张 锋,崔承镇. 叠层方式形成彩色滤光片隔垫物的研究[J]. 液晶与显示, 2017, 32(12): 956-960

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