应用光学, 2019, 40 (3): 399, 网络出版: 2019-06-10   

圆光栅测角系统误差分析与修正

Error analysis and correction of circular grating angle measurement system
作者单位
1 吉林工程技术师范学院 量子信息技术交叉学科研究院,吉林 长春 130052
2 吉林省量子信息技术工程实验室,吉林 长春 130052
3 长春理工大学 电子信息工程学院,吉林 长春 130022
摘要
为了提高测角系统的测量精度,基于误差的特性和表现形式,从谐波角度对测角系统中的刻划误差、光电信号误差、偏心误差、倾斜误差和变形导致的误差建立相应的数学模型,并对偏心误差和倾斜误差进行仿真分析。搭建了金属圆光栅测角系统,对系统中的误差进行了分析和修正。实验结果表明:测角系统测角误差为134.2″,修正后误差为32.23″,圆光栅测角系统误差分析为后续的误差补偿提供了理论基础。
Abstract
In order to improve the measurement accuracy of the angle measuring system, based on the characteristics and form of the error, the corresponding mathematical models of the scoring error, photoelectric signal error, eccentricity error, tilt error and the error caused by the deformation in the angle measuring system were established from the harmonic angle aspect,and the eccentricity error and tilt error were analyzed. Furthermore,a metal circular grating angle measuring system was built, and the error in the system was analyzed and corrected. The experimental results show that the angle measurement error of the angle measuring system is 134.2″, and the corrected error is 32.23″. The error analysis of the circular grating angle measurement system provides a theoretical basis for the subsequent error compensation.

张文颖, 朱浩然. 圆光栅测角系统误差分析与修正[J]. 应用光学, 2019, 40(3): 399. ZHANG Wenying, ZHU Haoran. Error analysis and correction of circular grating angle measurement system[J]. Journal of Applied Optics, 2019, 40(3): 399.

本文已被 2 篇论文引用
被引统计数据来源于中国光学期刊网
引用该论文: TXT   |   EndNote

相关论文

加载中...

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!